不同烧结助剂添加量AlN成瓷密度及导热率 原图定位 2)烧结工艺:引入烧结助剂是目前氮化铝陶瓷烧结普遍采用的一种方法,一方面是形成低温共熔相,实现液相烧结,促进坯体致密化;另一方面是去除氮化铝中的氧杂质,完善晶格,提高热导率。据潮州三环试验数据,随着烧结助剂含量增加,基板成瓷密度随之上升,而导热率在烧结助剂添加量为 1.5%时达到最高;随着烧结温度的升高,氮化铝成瓷密度、晶粒尺寸及导热率呈不断上升的趋势,在 1800℃时密度趋于稳定,而基板的抗折强度则是先上升,在 1750℃时达到最大值后开始下降。选择合适、合量的烧结助剂能够降低氮化铝基片达到最高热导率所需的温度,在保证基板热导率达到最高理论值的同时降低生产成本。