TCO薄膜沉积环节靶材成本（单位：g/cm3、元/kg、元/pcs、m2/v.s） 原图定位

TCO 薄膜沉积环节：IWO 靶材成本高于 ITO，国产靶材降本空间大。对于 PVD 设备结合 ITO 靶材的工艺，靶材密度大于 7.1g/cm3，靶材成本约为 2700 元/kg，电池片的靶材成本约 0.4~0.5 元/片。对于 RPD 设备结合 IWO 靶材的工艺，进口 IWO 的靶材密度约4~4.5g/cm3，靶材成本约为 3200 元/kg，电池片的靶材成本约 0.6~0.7 元/片；若使用国产 IWO 靶材，靶材成本可降至 2000 元/kg，电池片的靶材成本约 0.2~0.3 元/片。