中科飞测营收拆分(按产品) 原图定位 公司坚持自主研发,2017 年出厂首台无图形晶圆缺陷检测设备(130nm)、三维形貌量测设备,分别通过中芯国际、长电先进产线验证,随后在 2018 年至 2020 年先后出台图形晶圆缺陷检测设备、3D 曲面玻璃量测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备,分别通过长电先进、蓝思科技、长江存储、士兰集科产线验证。此外,公司坚持提升设备检测精度,于 2020 年推出工艺节点 28nm 及以上的无图形晶圆缺陷检测设备。2021 年,公司无图形晶圆缺陷检测设备通过国家科技重大专项验收。为打破国际厂商对国内的垄断,除了技术过硬的设备,中科飞测还为国内大客户提供建立了专属的服务团队以提供及时的驻场技术服务支持,与中芯国际等保持长期合作关系。