2020年PVD、等离子体CVD、ALD三大细分市场竞争格局 原图定位 额 75%。据 Gartner 统计(2020 年),①溅射 PVD 设备市场:应用材料(AMAT)基本实现垄断,市场份额高达 86%;②等离子体 CVD 市场:应用材料(AMAT)全球占比约为 49%,其次为泛林半导体(Lam)的 34%,两者占据了全球 83%的市场份额;③ALD 市场:两大龙头先晶半导体(ASM)和东京电子(TEL)占据 46%和 29%的市场份额。其中 ASM 是全球唯一实现用 ALD 工艺沉积高 k 金属栅极产业化应用的厂商。