MEMS电容式压力传感器结构 原图定位 MEMS 压力传感器可以分为硅压阻式和电容式,可用于人形机器人末端。MEMS 传感器主要用于测量压力,可分为压阻式和电容式。MEMS 传感器的工作原理较为简单:1)MEMS 硅电阻式压力传感器由一个带有硅薄膜的底座和安装在其上的电阻结构组成,传感器受力时,电压与压力成比例变化从而产生测量值;2)MEMS 电容式压力传感器受到压力时,传感器横膈上部和下部之间的间距产生变化,导致隔板之间的电容变化,从而可以测算出压力大小。MEMS 压力传感器具有小型化、高精度、高灵敏度、低功耗等特点,可以用于机器人灵巧手指尖末端。