2023年前三季度毛利率、归母净利率有所改善 原图定位 前期产品结构影响、费用投入较多使得盈利能力有所下滑,未来随着半导体领域拓展、规模效应显现,盈利能力逐步改善。2018-2022 年公司综合毛利率由 50%+下降至40%+,主要系公司推出 PECVD、PEALD 二合一设备在 PERC 领域中推广,毛利率较低,后续公司设备拓展至半导体领域,产品结构有望持续改善;2018-2022 年公司归母净利率受毛利率及研发费用投入等影响有所波动,研发费用占营业收入比重一直保持20%+,随着公司订单陆续验收、规模效应下 2023年前三季度归母净利率已提升至 15%。