2016-2018年芯源微涂胶显影设备收入结构 原图定位 芯源微专注于研发涂胶、显影和去胶设备,收入规模约 1.12 亿,此外布局湿法刻蚀机和清洗机。目前,芯源微产品包括:(1)涂胶/显影设备:6 英寸晶圆处理设备(用于 LED、MEMS 和功率芯片等),8/12英寸(用于前道晶圆加工和后道先进封装);(2)喷胶机:8/12 英寸晶圆处理设备(用于先进封装和 MEMS);(3)去胶机:6 英寸晶圆处理设备(用于 LED、MEMS 和功率芯片等),8/12 英寸(用于后道先进封装);(4)湿法刻蚀机和清洗机。2019 年,芯源微实现涂胶显影设备销售 47 台,收入 1.12 亿,同比下滑,收入规模与 TEL 相比仍有不小差距。收入结构方面,以 6 英寸和 8/12 英寸涂胶显影设备为主,分别占比 37%和 57%,去胶机占比 7%。清洗设备已通过中芯国际深圳厂和绍兴厂的验证或小批量出货。