陶氏(罗门哈斯)在抛光垫领域的专利布局极为广泛 原图定位 中空微球体反应,其间可以添加特定的弹性粒子,材料也可以进行端基改性,材料比例的调整也会影响到最终的抛光效率。围绕着材料,海外巨头也有一系列专利布局。此外,围绕着抛光垫的多层结构、观察窗口的形成、刻槽加工的工艺也都有一系列专利限制。