公司2021年6月定增拟募投项目一览 原图定位 2)高端晶圆处理设备产业化项目(二期)项目:在一期项目基础上新增 KrF光刻工艺涂胶显影机产业化,适用于 KrF 光刻工艺制程,工艺制程等级高于一期项目研发的适用于 offline 与 I-line 光刻工艺制程的前道设备。