真空蒸镀设备结构简 原图定位 蒸发源为蒸镀机核心配件。OLED 真空蒸镀设备通常由蒸发源、真空腔体、真空抽气系统、控制系统、基板夹持装置等组件构成,其中真空抽气系统由(超)高真空泵、低真空泵、排气管道和阀门等组成,真空腔体由蒸发源、晶振片及掩膜板等组成。真空腔体内设有多个放置有机材料的蒸发源并左右移动,用来加热有机材料使之气化蒸发并沉积至基板上成薄膜。蒸发源作为进行蒸镀的核心组件,其性能决定蒸镀过程中的镀膜厚度和均匀度,可视作蒸镀设备的“心脏”。蒸发源根据形状不同可以分为点源、线源、面源,其中点源一般用于实验室制备器件,面源工艺尚未规模产业化,线源工艺是目前 OLED 面板制造的主流设备工艺。