半导体子系统及相应零部件产品 原图定位

半导体设备通常由八大关键子系统组成：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统及其他关键组件。半导体零部件按产品类型大致可分为：机械类、电气类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类等。