捷佳伟创LPCVD设备与海外厂商性能对比 原图定位 核心布局 LPCVD,设备性能已达到海外领先水平。公司持续研发 LPCVD 硼扩散等设备,自主研发的 LD-320 型号已实现量产(适用于 156 尺寸),针对 TOPCon 电池的大口径 LD-420 型 LPCVD 设备样机已完成装配,处于调试阶段。