Lasertec公司产品覆盖光掩模基板检测、光掩模检测,特别是EUV光掩模检测全球领先 原图定位 在 EUV光掩膜的缺陷检验设备中,Lasertec 公司占据全球市场约 100%的份额。日系厂商 Lasertec 使用与EUV 光刻相同的 13.5nm 波长,用来检测 EUV 光罩缺陷,产品缺陷检测灵敏度更高。凭借这一优势,Lasertec公司在 EUV 光掩膜的缺陷检验设备中占据全球市场约 100%的份额。