1、湿电子化学品
湿电子化学品也叫超净高纯试剂,是指主体成分纯度大于99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂,是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种电子化工材料,湿电子化学品的质量好坏直接影响电子产品的成品率、电性能和可靠性,对微电子制造技术的产业化也有着重要作用。
按照SEMI登记的分类,湿电子化学品可划分为G1-G5五个等级:
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2、湿电子化学品分类
(1)按用途分类
湿电子化学品按用途可分为通用化学品和功能性化学品。
通用化学品
硫酸:强酸性清洗、腐蚀剂,在集成电路制程应用最多
过氧化氢:清洗、腐蚀剂,可与浓硫酸、硝酸、氫氟酸、氢氧化铵等配制使用,在集成电路制程应用较多
氢氟酸:强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、过氧化氢及氢氧化铵等配制使用
盐酸:酸性清洗、腐蚀剂,可与过氧化氢配制使用,可有效降低金属杂质
硝酸:酸性清洗、腐蚀剂,可与冰乙酸、过氩化氢配制使用
磷酸:超纯磷酸为酸性腐蚀剂,主要用于超大规模集成电路工艺技术的生产
氨水:碱性清洗、腐蚀剂,可与过氧化氢、水、氢氟酸配制使用
功能性化学品
蚀刻液:用于硅、金属层蚀刻
显影液:光刻胶曝光后显影剂
剥离液:用于剥离光刻胶
(2)按应用领域湿化学品分类
按应用领域划分,湿化学品主要应用于半导体、平板显示、太阳能以及LED等领域。
半导体
主要应用于半导体制造的晶圆清洗、光刻、刻蚀等过程中;要求的纯度等级最高,技术难度最大,盈利能力最强。
平板显示
主要应用于薄膜制备中的清洗、光刻、刻蚀等环节;技术水平要求较高,盈利能力较强。
太阳能
主要应用于清洗制碱、清洗、刻蚀等;技术水平要求相对较低,盈利能力一般。
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来源:《2020中国光刻胶掩模版电子气体半导体材料产业市场行业研究报告(67页).docx》
《江化微-公司首次覆盖报告:国产湿电子化学品龙头积极扩产前景可期-20211112(21页).pdf》