不同技术应用情况及优劣势 原图定位 另外,由于电子束检测通常接收的是入射电子激发的二次电子,无法区分具有三维特征的深度信息,因而部分测量无法用电子束技术进行检测,主要通过光学检测技术实现,如三维形貌测量、光刻套刻测量和多层膜厚测量等应用。