激光器芯片分类 原图定位 按照谐振腔制造工艺差异,激光器光芯片可分为边发射激光器芯片(EEL)与面发射激光器芯片(VCSEL)两类。EEL 在芯片两侧镀光学膜形成谐振腔,光子经谐振腔选模放大后,将沿平行于衬底表面的方向形成激光;VCSEL 在芯片上下两面镀光学膜形成谐振腔,由于谐振腔与衬底垂直,光子经选模放大后将垂直于芯片表面形成激光。EEL与 VCSEL 各具优势,EEL 的输出功率、电光转化效率更高,而 VCSEL 具有阈值电流低、单波长工作稳定、可高效调制、易二维集成、无腔面阈值损伤、制造成本低等优点。