什么是溅射靶材?分类有哪些?应用领域介绍 2200 2022-01-17 15:47:34 作者:2200 2751 收藏 1、溅射靶材溅射靶材是通过磁控溅射技术、多弧离子镀膜或者其它种类的镀膜技术再利用一定工艺条件,然后通过沉积,在基底材料上会形成具有特殊功能的薄膜,被离子轰击的初始材料就被称之为溅射靶材。其组成材料主要包括各种纯金属、合金以及无机非金属材料(陶瓷),常见的几何形态为圆片状和长方体板状。2、溅射靶材分类(1)按形状分类溅射靶材按形状可分为长靶、方靶、圆靶、管靶。(2)按化学成份分类溅射靶材按化学成分可分为金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(钼铌合金、钼钛合金、钼钽合金、镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(ITO 等氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。(3)按应用领域分类溅射靶材按应用领域可分为半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、工具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材。3、溅射靶材应用领域(1)半导体芯片主要材料涉及:超高纯度铝、钛、铜、钽等主要用途:制备集成电路的关键原材料性能要求:技术要求最高、超高纯度金属、高精度尺寸、高集成度(2)平面显示器主要材料涉及:高纯度铝、铜、钼等,掺锡氧化铟(ITO)主要用途:高清晰电视、笔记本电脑等性能要求:技术要求高、高纯度材料、材料面积大、均匀性程度高(3)太阳能电池主要涉及材料:高纯度铝、铜、钼、铬等,ITO主要用途:薄膜太阳能电池性能要求:技术要求高、应用范围大(4)信息存储主要涉及材料:铬基、钴基合金等主要用途:光驱、光盘等性能要求:高储存密度、高传输速度(5)工具改性主要涉及材料:纯金属铬、铬铝合金等主要用途:工具、模具等表面强化性能要求:性能要求较高、使用寿命延长(6)电子器件主要涉及材料:镍铬合金、铬硅合金等主要用途:薄膜电阻、薄膜电容性能要求:要求电子器件尺寸小、稳定性好、电阻温度系数小(7)其他领域主要涉及材料:纯金属铬、钛、镍等主要用途:装饰镀膜、玻璃镀膜等性能要求:技术要求一般,主要用于装饰、节能等来源:《隆华科技-军民融合成效显现电子光伏材料打开成长空间-211217(32页).pdf 》《江丰电子-公司首次覆盖报告:国产溅射靶材龙头未来前景可期-20200721[22页].pdf 》 本文标签 溅射靶材 溅射靶材分类 溅射靶材应用领域 靶材行业