至纯科技主要发展历史 原图定位 上海至纯洁净系统科技股份有限公司成立于 2000 年,公司业务是主要为高端先进制造业企业,特别是半导体晶圆厂,提供高纯工艺系统的解决方案。2017 年开始,利用已有的技术优势,重点发展半导体制造中的清洗设备,正式进入半导体装备行业。2018 年公司的清洗设备通过客户的质量认证,并批量出货。