据数据显示，2021年成熟制程占Axcelis系统收入的82%，还有17%来自存储器，1%来自高级逻辑器。在存储器中，9.4%来自NAND，7.9%来自DRAM。由此可见，预计2022年Axcelis系统收入大约达到了 1.93 亿美元，环比变化-6.17%。
数据来源《电子元器件行业：中芯国际乐观展望2022年，资本开支预计同比提高11%-220213(14页)》
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