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1、 证券研究报告 | 行业专题研究 2020 年 02月 21日 电气设备电气设备 2020 N 型元年,新一轮光伏型元年,新一轮光伏技术技术革命在这里开始革命在这里开始 核心观点:核心观点:光伏平价在即,基于 P 型硅片的电池片技术效率提升空间有限,电 池技术有望在 N型硅片的载体上开启新一轮产业链技术周期,其中 TopCon 和 异质结两个技术路线值得重点关注。N型硅片渗透率提升带来至少 2000亿市场 空间。在设备端。技术路线升级给设备厂商带来存量市场改造+新增扩产需求的 双重空间;在制造端,技术路线革命给技术领先者和先布局者带来集中度提升 和前期技术优势的超额收益。 光伏平价在即,光伏平
2、价在即, 硅片硅片从从 P型向型向 N型型, 电池, 电池技术技术将在将在 N型硅片的载体上型硅片的载体上开启新一开启新一 轮产业链技术周期轮产业链技术周期。随着光伏行业技术革新带来的降本增效,光伏度电成本在 全球部分地区已经具备平价条件,全球光伏装机逐步走进平价市场。目前主流 的 P 型电池片的转换效率提升空间有限,技术进步速度放缓。N 型电池片更高 的转换效率和类半导体的加工工艺是光伏继续降本增效的下一个核心驱动力。 光伏技术路线从 P型向 N型跨越迎来新一轮技术周期。目前 N型电池片技术主 要包括 N-Pert、TopCon、异质结和 IBC四大技术方向,其中 TopCon和异质结 两个
3、技术路线值得关注。 TopCon:技术较为成熟,技术较为成熟,对对存量产线有更强兼容性存量产线有更强兼容性, 投资投资成本成本加速下降加速下降,利于利于 存量产线改造存量产线改造。TopCon电池基于 N型硅衬底,前表面采用叠层膜钝化工艺,背 表面采用基于超薄氧化硅和掺杂多晶硅的隧穿氧化层钝化接触结构,可双面发 电。目前 TopCon电池片量产转换效率在 23%左右,中来、天合、晶科、LG、 REC等均有布局。部分生产设备和现有 perc+se 产线兼容,现有 perc产线可升 级改造至 TopCon 产能。目前龙头厂商 perc 产线均留有一定设备空间,以便于 后期产线改造升级。 随着近年来
4、 TopCon设备国产化的加速, TopCon产能 1GW 投资成本已降至目前 22.5 亿元/GW 左右。同时 TopCon 电池技术和目前主流 的组件技术更为兼容。 TopCon技术有望成为存量产线升级改造的主要技术路线 之一。 异质结异质结:具备高转换效率和高提升空间。具备高转换效率和高提升空间。设备国产化设备国产化稳步推进,完成从实验室稳步推进,完成从实验室 到产业化第一步到产业化第一步,龙头积极布局,龙头积极布局,有望完成从设备量产到制造量产,有望完成从设备量产到制造量产,实现大规实现大规 模应用模应用。异质结通常以 N 型晶体硅作衬底,宽带隙的非晶硅做发射极,具备双 面对称结构。目
5、前异质结电池量产转换效率在 24%左右,通威、钧石、REC 等 均有布局。异质结和 perc相比,生产工艺流程简单,整个生产工艺只有制绒、 非晶硅薄膜沉积、丝网印刷四个步骤。同时转换效率后续提升空间大。目前异 质结电池已实现小规模量产。随着国产厂商的介入和大通量设备的成功研发, 设备成本有望大幅下降,降低异质结投资初期门槛。通威股份、山煤国际、东 方日升等龙头厂商积极布局新产能,有望完成从设备量产到制造量产,实现异 质结技术大规模应用。 N型渗透率提升给新技术带来至少型渗透率提升给新技术带来至少 2000 亿市场空间亿市场空间。在设备端。技术路线升在设备端。技术路线升 级级给设备厂商给设备厂商
6、带来存量市场改造带来存量市场改造+新增产能需求的双重空间;新增产能需求的双重空间;在制造端,技术在制造端,技术 路线革命带来技术领先者集中度提升和前期技术优势的超额收益。路线革命带来技术领先者集中度提升和前期技术优势的超额收益。随着 N型电 池片技术逐步成熟,预计到 2025年,行业有望完成从 P型向 N型的跨越。 从历 史来看,光伏是一个降本驱动需求的行业,光伏制造业市场空间在 300 亿美元 (2100亿人民币)左右,随着平价市场的到来,终端对光伏降本的需求将大幅 降低,而需求还将持续稳步上升。目前 N型技术路线渗透率不到 10%,随着后 续完成从 P型向 N型的跨越,N型技术路线市场空间
7、预计至少在 2000亿以上。 技术路线革命为设备厂商同时带来存量产能改造和新增产能建设的双重空间, 有望充分受益;对于制造业而言,技术领先者有望完成渗透率的提升并享受高 效产品的超额收益。 推荐方面:推荐方面:N 型硅片有望取代 P 型硅片成为下一代单晶光伏电池技术路线,建 议关注电池片设备生产商捷佳伟创和迈为股份捷佳伟创和迈为股份;电池片生产商通威股份通威股份、山煤、山煤 国际、东方日升、国际、东方日升、中来股份中来股份;N型硅片龙头中环股份和隆基股份中环股份和隆基股份。 风险提示风险提示:新技术推进速度不达预期;光伏需求不及预期;其他新技术兴起。 增持增持(维持维持) 行业行业走势走势 作
8、者作者 分析师分析师 王磊王磊 执业证书编号:S0680518030001 邮箱: 研究助理研究助理 杨润思杨润思 邮箱: 相关研究相关研究 1、 电气设备:通威公布未来三年发展规划,1 月高镍 动力电池占比提升2020-02-16 2、 电气设备:疫情或影响部分项目开工进度,欧洲 EV 市场 1 月强增长2020-02-09 3、电气设备: 欧洲新能源车政策梳理及核心国家复盘 2020-02-06 -16% 0% 16% 32% --02 电气设备 沪深300 2020 年 02 月 21 日 重点标的重点标的 股票股票 股票股票 投资投资 E
9、PS (元)(元) P E 代码代码 名称名称 评级评级 2018A 2019E 2020E 2021E 2018A 2019E 2020E 2021E 300724 捷佳伟创 增持 0.96 1.32 1.98 2.16 81.91 59.57 39.71 36.40 300751 迈为股份 - 3.29 4.99 7.33 9.62 36.42 44.26 30.17 22.97 600438 通威股份 增持 0.52 0.74 0.97 1.27 37.31 26.22 20.00 15.28 600546 山煤国际 增持 0.11 0.53 0.64 0.67 116.91 24.26
10、 20.09 19.19 300118 东方日升 增持 0.26 1.20 1.36 1.66 65.46 14.18 12.51 10.25 300393 中来股份 - 0.52 0.74 1.19 1.63 28.90 25.27 15.73 11.53 601012 隆基股份 增持 0.71 1.37 1.65 2.09 46.83 24.27 20.15 15.91 002129 中环股份 增持 0.23 0.40 0.60 0.92 84.04 48.33 32.22 21.01 资料来源:贝格数据,国盛证券研究所,注:中来股份和迈为股份为万得一致预测。 qRtMoOrNqNrPsQ
11、oPtMvMtM6McM8OsQmMmOpPjMrRpNiNpNtPaQnNxOuOoOtMvPrRmQ 2020 年 02 月 21 日 内容目录内容目录 一、从 P 型到 N型的跨越有望开启下一轮光伏技术革命.4 1.1 拐点之年,迎接平价 .4 1.2 技术革命驱动光伏降本,从 P 型到 N型的跨越有望开启下一轮光伏技术革命.5 二、TopCon:技术较为成熟,可在现有产线上升级改造,可延续存量产能使用寿命 .9 2.1 极限转换效率达到 28.7%,量产转换效率突破 23% . 10 2.2 产线可在 perc 产线上升级,设备投资额下降速度快. 12 三、异质结:技术逐步成熟,龙头积
12、极布局 . 13 3.1 海外异质结设备成熟,量产转换效率达到 24%. 16 3.2 设备国产化加速,行业龙头进入加快产业化进程 . 18 四、投资建议 . 20 4.1 市场空间 . 20 4.2 电池片设备生产厂商 . 20 4.3 电池片生产制造商. 21 4.4 N型硅片龙头 . 21 风险提示 . 22 图表目录图表目录 图表 1:光伏度电成本下降幅度,单位:美元/mwh .4 图表 2:成本优势分析.6 图表 3:N型硅片、N型组件优势及应用.7 图表 4:P 型 perc 与不同结构的 N型电池性能对比 .7 图表 5:N型硅片渗透率提升有望带来下半程超额收益 .8 图表 6:
13、TopCon 电池片结构 .9 图表 7:异质膜与 SiO2/SiNx 减反射性能对比 . 10 图表 8:异质膜与 SiO2/SiNx 钝化性能比较 . 10 图表 9:TopCon 电池理论极限转换效率更高 . 11 图表 10:TopCon 现有产能情况 . 11 图表 11:TopCon 量产和实验转换效率情况 . 12 图表 12:PERC+SE vs TopCon 工艺流程. 12 图表 13:各厂商 TopCon LPCVD设备对比 . 13 图表 14:异质结电池片结构示意. 14 图表 15:电池片技术路线对比 . 14 图表 16:当前实验中最佳转换效率图 . 15 图表
14、17:异质结及 Perc 电池片生产流程 . 15 图表 18:各个技术路线受温度影响情况. 16 图表 19:异质结工艺 . 16 图表 20:当前不同厂家 PECVD 设备的特点. 17 图表 21:当前 TCO 沉积环节各厂商产品情况. 17 图表 22:国内外异质结太阳能电池产业化具体情况 . 18 图表 23:目前不同 HJT 厂商的最高电池效率 . 18 图表 24:异质结产业链进程 . 19 图表 25:产能提升助力非硅成本下降 . 19 图表 26:光伏历史市场空间 . 20 2020 年 02 月 21 日 一、一、从从 P 型到型到 N 型的跨越有望开启下一轮光伏技术革命型
15、的跨越有望开启下一轮光伏技术革命 1.1 拐点之年,迎接平价拐点之年,迎接平价 全球光伏成本大幅降低, 光伏度电竞争力突显全球光伏成本大幅降低, 光伏度电竞争力突显。在经历了光伏组件成本和 BOS 大幅下降 之后,光伏度电成本在全球部分地区已经具备平价条件。组件降价会提升存量已锁定电 价项目经济性,推动业主装机意愿。根据 Lazard 的度电成本分析,2019 年全球光伏度 电成本已经降至 40 美元/MWH。 图表 1:光伏度电成本下降幅度,单位:美元/mwh 资料来源:Lazard,国盛证券研究所 国内补贴逐步退坡,国内补贴逐步退坡,行业成长行业成长逐步告别逐步告别政策依赖。政策依赖。根据
16、国家能源局发布的国家能源局 关于 2020 年风电、光伏发电项目建设有关事项的通知(征求意见稿) ,2020 年度新建 光伏发电项目补贴预算总额度为 15 亿元,同比 2019 年下降 50%,其中补贴竞价项目 (包括集中式光伏电站和工商业分布式光伏项目)补贴总额为 10 亿元。预计 2021 年, 国内光伏行业将彻底告别补贴,完成化石能源革命周期第一步,走入平价时代。 2020 年 02 月 21 日 图表 2:光伏行业正在步入平价大周期 资料来源:国盛证券研究所 1.2 技术技术革命驱动光伏革命驱动光伏降本,降本, 从从 P 型到型到 N型的跨越有望型的跨越有望开启开启下一轮光伏下一轮光伏
17、技术技术 革命革命 技术创新驱动光伏技术创新驱动光伏行业行业降本增效,创造行业龙头。降本增效,创造行业龙头。20092011 年,随着改良西门子法的 推出,多晶硅料生产成本大幅降低,保利协鑫凭借自身技术优势成为行业龙头。 20132017 年,隆基股份率先在单晶硅片上使用金刚线切割技术,单晶硅片成本大幅降 低,后续单晶硅片在电池端的转换效率优势逐步体现。2018 年以来,随着 PERC 电池片 技术的推出, 单晶硅片转换效率优势更为明显, 电池片厂商主动向单晶 PERC 产线转移, 单晶逐步完成对多晶的替代。 2020 年 02 月 21 日 图表 2:光伏技术革命推动行业降本增效 资料来源:
18、Lazard,BP 国盛证券研究所 提高转换效率有望持续提高转换效率有望持续降低度电成本,提高制造业核心竞争力。降低度电成本,提高制造业核心竞争力。光伏发电最终以实现平 价上网为目标,产业降本是必经之路。成本优势的主要来源包括: 1)设备或辅材、能源等设备的价格优势:主要依赖于设备国产化进程、厂商布局选址和 产业化进程中经验的积累和沉淀; 2)规模效用所产生的成本优势:主要得益于产能的有序扩张和产能利用率的稳定; 3)技术革新从而提高光电转换效率而带来的单瓦成本的降低: 主要得益于新技术的研发 和产业化生产,提高效率的同时减少辅材的用量。 其中转换效率的提升是其中转换效率的提升是制造业降本的核
19、心,也是主要竞争力。制造业降本的核心,也是主要竞争力。 图表 2:成本优势分析 资料来源:国盛证券研究所 N 型硅片型硅片少子寿命更高,少子寿命更高,光衰率更低,有望接替光衰率更低,有望接替 P 型成为下一代技术方向。型成为下一代技术方向。相较于 P 型 单晶硅,N 型单晶硅主要单晶硅中掺磷,N 型材料中的杂质对少子空穴的捕获能力低于 P 型材料中的杂质对少子电子的捕获能力,相同电阻率的 N 型硅片的少子寿命比 P 型硅 片的高出 12 个数量级,达到毫秒级。由于 N 型硅片掺磷元素,磷与硅相溶性差,拉棒 时磷分布不均,N 型硅片生产工艺和 P 型硅片相比难度较大。通过 N 型单晶硅片生产的
20、0 20 40 60 80 100 120 140 0 50 100 150 200 250 300 350 400 20092000019 全球光伏新增装机(GW) 光伏度电成本(美元/MWH) 改良西门子法降 低多晶硅料成本 单晶趋势兴起 PERC加速单晶对 多晶替代 2020 年 02 月 21 日 N 型电池组件在发电转换效率和后期衰减上都优于 P 型电池组件。 图表 3:N型硅片、N型组件优势及应用 序号序号 项目项目 优势优势特性特性 应用应用 1 N型硅片 少子寿命高。少子寿命高。N型材料中的杂质对少子空穴的捕 获
21、能力低于 P 型材料中的杂质对少子电子的捕获 能力,相同电阻率的 N型 CZ 硅片的少子寿命比 P 型硅片的高出 12 个数量级。 PERT 电池,PERL电池,异质结电池, IBC 电池,HBC 电池。 PERT 电池根据其发射结的位臵,分为 正结型和背结型;根据其受光面不同 分为单面受光型和双面受光型。 PERL分为单面受光型和双面受光型。 金属污染的容忍度高。金属污染的容忍度高。Fe、Cr、Co、W、Cu、Ni 等带正电荷的金属元素对于少子空穴的捕获能 力比较弱,对少子为空穴的 N型硅片影响较小。 光致衰减小。光致衰减小。光致衰减来源于硅片中的硼和氧形 成的硼氧复合中心, 掺磷的 N型晶
22、体硅中硼含量 极低,消除了硼氧复合中心对电性能的影响。 2 N型组件 弱光响应好。弱光响应好。由于 N型硅片少子寿命高,N型晶 硅组件在光强小于 600W/m2 的弱光情况下,相 对发电效率明显高于 P 型晶硅组件。 分布式电站,屋顶式电站 双面电池组件输出功率高双面电池组件输出功率高。组件的反面能够将周 围环境的反射光与折射光转换成电能,大幅提升 了光伏电池的综合转换效率,组件输出功率高。 资料来源:北极星太阳能光伏网,国盛证券研究所 以以 N 型型硅片为基础,有望演化出多条硅片为基础,有望演化出多条 N 型型电池发展方向电池发展方向,光伏电池片制备工艺向半导,光伏电池片制备工艺向半导 体升
23、级体升级。从技术路线发展来看,由于 P 型电池片的转换效率提升存在瓶颈,P 型电池片 向 N 型电池片转型或势在必行。目前 N 型电池片技术主要包括 N-Pert、TopCon、异质 结和 IBC 四大技术方向。光伏发电基于光生伏特原因,机理和半导体接近,随着电池制 备技术的升级,光伏电池工艺逐步向半导体工艺升级。 图表 4:P型perc与不同结构的N型电池性能对比 PERC N-Pert TopCon 异质结异质结 IBC 优点 从现有产线升 级简单 可从现有产线升 级 可从现有产线再升级 工序少 效率高 现 状 对 比 技术难 度 容易 较容易 难度高 难度高 难度极高 工序 少 较少 多
24、 最少 非常多 设备投 资 少 设备投资较少 设备贵 设备较贵 非常贵 与现有 产线兼 容性 已有许多现有 产线 可用现有设备升 级 可从现有产线再升级 完全不兼容 几乎不兼容 当前产 业趋势 转换效率提升 遇到瓶颈 与双面 P-PERC 相比没有性价 比,转换效率一 般 量产转换效率提高到 23%左右,设备投资 成本出现明显下降 量产转换效率在 24%左右,设备国 产化进程逐步推 进,后续降本可以 期待 难度高,成本也远高 于前述技术路线 资料来源:PVinfolink,国盛证券研究所 单晶替代多晶推动光伏完成平价上网进程,单晶替代多晶推动光伏完成平价上网进程,从从 P 型向型向 N 型型跨
25、越迎来下一次光伏技术革跨越迎来下一次光伏技术革 命。命。从历史来看,得益于单晶硅片取代多晶硅片的大趋势,单晶硅片厂商过去几年的产 能和销量增长远高于行业新增装机增长。从当前产能布局来看,单晶产品渗透率或即将 2020 年 02 月 21 日 达到瓶颈,后续单晶硅片渗透率提升所带来的超额收益或将减少。但是随着 N 型硅片技 术路线的逐步确认,N 型产品渗透率提升或将带来下一轮新的超额收益。积极布局 N 型 硅片,并实现 N 型硅片的降本增效或是当前硅片厂商的当务之急。 图表 5:N型硅片渗透率提升有望带来下半程超额收益 资料来源:国盛证券研究所 2020 年 02 月 21 日 二、二、TopC
26、on:技术较为成熟,可在现有产线上升级改造技术较为成熟,可在现有产线上升级改造,可,可 延续存量产能延续存量产能使用寿命使用寿命 TopCon 电池电池:基于 N 型硅衬底,前表面采用叠层膜钝化工艺,背表面采用基于超薄氧 化硅和掺杂多晶硅的隧穿氧化层钝化接触结构,可双面发电。得益于超薄氧化硅和掺杂 多晶硅的隧穿氧化层钝化接触结构的应用,两者形成接触钝化结构,可以大幅提升 N 型 电池片的 VOC 和转换效率。 图表 6:TopCon电池片结构 资料来源:中来股份,国盛证券研究所 另外根据中来股份 N 型单晶双面 TopCon 技术与产业先进性介绍 ,TopCon 电池片具 备以下技术特点: 1
27、) 离子注入掺杂多晶硅钝化技术离子注入掺杂多晶硅钝化技术 通过离子注入进行掺杂, 可以控制掺杂原子的剂量和在非晶硅中的分布, 避免常 规扩散掺杂长时间的高温过程对隧穿氧化层及硅片寿命的损伤; 2) 低压硼低压硼扩选择性掺杂技术扩选择性掺杂技术 硼源在炉管内及硅片表面分布更加均匀, 扩散后方阻均匀性好。 另外沉积时间短, 可将工艺时间缩短至 90 分钟以内,显著降低高温对硅片寿命的损伤; 3) 化学回蚀清洗技术化学回蚀清洗技术 采用缓冲型化学回蚀体系, 反应速度精确可控, 同时化学回蚀溶液具有差异化刻 蚀功能,可有效保持重掺杂和轻掺杂区域的方阻梯度; 4) 异质膜钝化减反技术异质膜钝化减反技术
28、电池正表面减反膜采用多层介质膜组成的异质膜, 异质膜与常规 SiO2/SiNx 叠层 2020 年 02 月 21 日 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 膜相比具有更加好的减反射性能和钝化性能。 异质膜可以将电池前表面的反射率 降低到1%, SiO2/SiNx 叠层膜反射率为3%, 异质膜技术可以降低电池的电流 损失;此外,采用异质膜技术钝化的 n 型硅片的有效少子寿命可以达到7 ms, 而采用SiO2/SiNx 叠层膜钝化的相同电阻率n型硅片的有效少子寿命为0.7 ms, 异质膜技术可以显著降低电池表面的复合损失。 图表 7:异质膜与SiO2/SiNx 减反射性能对比 图表
29、8:异质膜与SiO2/SiNx 钝化性能比较 资料来源:中来股份 N型单晶双面 TopCon技术与产业先进性介绍, 国盛证券研究所 资料来源:中来股份 N型单晶双面 TopCon技术与产业先进性介绍, 国盛证券研究所 5) 低损伤金属化接触技术低损伤金属化接触技术 优化的金属浆料体系, 减少金属对多晶硅层的破坏, 最大限度发挥多晶硅钝化结 构的优点;改善金属浆料与多晶硅介面电流传输机制,降低接触电阻;优化的烧 结曲线, 保持填充因子(FF)的同时最大限度提升电池开路电压(Voc); 采用双层金 属电极结构, 下层采用点接触式烧穿型浆料, 保证接触电阻的同时有效降低金属 -半导体复合,上层浆料采
30、用线式非烧穿型浆料,提供优良的线电阻。 2.1 极限转换效率达到极限转换效率达到 28.7%,量产转换效率突破,量产转换效率突破 23% TopCon 电池电池理论极限效率为理论极限效率为 28.7%,高于,高于异质结异质结和和 PERC。ISFH 的研究结果表明, 基于载流子选择性的概念对太阳能电池的理论效率进行分析,采用钝化接触电池结构, 如TopCon此类电池的极限效率是28.2%28.7%, 高于异质结 (27.5%) 和perc (24.5%) , 非常接近晶体硅太阳能电池的极限效率,29.43%。 2020 年 02 月 21 日 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明
31、图表 9:TopCon电池理论极限转换效率更高 资料来源:无锡赛瑞达,光伏行研,国盛证券研究所 制造业积极布局,制造业积极布局,量产转换效率突破量产转换效率突破 23%。从海外来看,LG 和 REC 在 TopCon 技术均 有量产产能。 国内方面, 中来股份已实现 2.4GW 的电池产能, 最高量产效率达 23.4%。 2019 年中旬,天合光能的 N 型 i-TopCon 太阳能电池实验室转换效率达到 24.58%,量 产平均转换效率在 23%。 天合光能在 2019 年发布了 N型 i-TOPCon 双面双玻高效组件, 实现大规模量产。 图表 10:TopCon 现有产能情况 资料来源:
32、Pvinfolink,国盛证券研究所 1600 2400 150 500 40 100 50 50 30 100 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 LGE中来 REC天合 林洋 晶科 晶澳 隆基 茂迪 Others 2019年topcon电池产能(MW) 2020 年 02 月 21 日 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 图表 11:TopCon 量产和实验转换效率情况 资料来源:TaiyangNews,国盛证券研究所,注:数据为2019 年年中数据,现在可能有差距 2.2 产线产线可在可在 perc 产线上升级,产线上升级,设备投资额下降速度快设备
33、投资额下降速度快 部分生产设备部分生产设备和现有和现有 perc+se产线兼容,产线兼容, 现有产线现有产线可升级改造至可升级改造至 TopCon产能。产能。 TopCon 生产流程分为 9 步,分别为硅片制绒清洗、扩散制结、湿法刻蚀、隧道结制备、离子注 入、退火和湿化学清洗、ALD 沉积氧化铝、PECVD 沉积氮化硅膜、丝网印刷等工序。其 中大部分设备可以和 perc+se 产线共用,只需要额外增加硼扩散、LPCVD 沉积(隧道结 制备环节) 、 离子注入 (或者扩散装备) 和去绕镀清洗环节设备, 便可以实现设备的升级。 目前龙头厂商 perc 产线均留有一定设备空间,有助于产线改造升级。 图表 12:PERC+SE vs TopCon 工艺流程 PERC+SE TopCon 1 清洗制绒 清洗制绒 2 磷扩 前面硼扩 3 激光掺杂制备 SE 4 湿法去背结+PSG 湿法去背结 5 氧化退火 LPCVD沉积 SiO2+多晶硅 6 背面磷扩 7 去绕镀清洗 8 ALD+PECVD镀 AL2O3+SiNx 前表面镀 SiO2+Al2O3+SiNx(三合