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1、 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 行业研究 东兴证券股份有限公司证券研究报告 电子元器件电子元器件行行业:业:复盘海外光掩膜行业龙复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?头发展之路,给我们带来哪些启示?海外硬科技龙头复盘研究系列之五海外硬科技龙头复盘研究系列之五 2023 年 9 月 28 日 看好/维持 电子元器件电子元器件 行业行业报告报告 分析师分析师 刘航 电话: 邮箱:liuhang- 执业证书编号:S01 投资摘要:行业现状:行业现状:高端掩膜版国产化率不足高端掩膜版国产化率不足 3%3%,光掩膜上游材料和
2、设备亟待突破,光掩膜上游材料和设备亟待突破。掩模版是半导体制造工艺中的关键材料,是下游产品精度和质量的决定因素之一。从成本结构来看,光掩膜约占芯片材料总成本的 13%。据 SEMI 数据显示,2018-2022 年,全球半导体掩膜版市场规模由 40.41 亿美元增长至 49 亿美元,复合年均增长率达 4.9%。半导体芯片掩膜版的主要厂商为晶圆厂自行配套的掩膜版工厂和独立第三方掩膜版生产商,独立第三方掩膜版的市场份额主要被日系厂商所占据。半导体光掩膜版的图形尺寸、精度及制造技术要求不断提高,高端光掩膜版国产化率仅为 3%。在光罩的制备上我国半导体掩膜版产业同样面临高端设备、材料被国外厂商垄断的情
3、况。掩膜版设备主要被日本、美国和德国等厂商占据,后道工艺细分设备被德国蔡司和 Lasertec 等厂商所垄断,光掩膜上游材料也基本被日系厂商占据。复盘海外光掩膜行业复盘海外光掩膜行业龙头龙头发展之路,给我们带来哪些启示?发展之路,给我们带来哪些启示?日本在产业链上游设备和材料方面具备明显的优势,特别是涂胶、CD 量测和缺陷检测设备优势较为突出,凭借这一优势,日系厂商合计占据全球独立第三方光掩膜市场份额 60%以上。在 EUV光掩膜的缺陷检验设备中,Lasertec 公司占据全球市场约 100%的份额,Lasertec 公司近年来业绩快速增长,享受行业发展红利,并不断进行抢占市场份额。日系厂商在
4、设备某些特定细分领域取得垄断地位,以及在上游材料领域的先发优势,使得日本企业占据较高的光掩膜市场份额。Toppan 公司在 1959 年开始研发平面型晶体管掩膜版,通过横向并购杜邦光掩模,并积极获取大客户订单,逐步成长为世界级龙头公司。Toppan 公司是唯一具有全球生产网络的光掩膜版制造商,生产基地遍布亚洲、北美和欧洲。Toppan 公司抓住了先进工艺的发展机遇,在 EUV 领域推动 EUV 掩膜版大规模量产。通过复盘海外龙头 Toppan 的成长之路,希望对于国内半导体光掩膜行业有一定借鉴作用。我们分析认为:我们分析认为:光掩膜厂商需要依靠大客户实现光掩膜厂商需要依靠大客户实现 knowk
5、now-howhow,在特定时期需要通过并购拓展客户;在特定时期需要通过并购拓展客户;光掩膜厂商需要同时在多元化产品(光掩膜厂商需要同时在多元化产品(90nm90nm 以上以上 KRFKRF 光掩模)以及先进制程产品(光掩模)以及先进制程产品(7nm7nm及以下及以下 EUVEUV)取得突破,才能占据较高市场份额)取得突破,才能占据较高市场份额,成为世界级的成为世界级的龙头公司龙头公司。掩膜版国产替代需求迫切,我国大陆光掩膜厂商营收规模与福尼克斯等海外龙头厂商仍有较大差距。掩膜版国产替代需求迫切,我国大陆光掩膜厂商营收规模与福尼克斯等海外龙头厂商仍有较大差距。我国掩膜版行业当前正处于发展初期,
6、市场增长潜力较大、追随者较少。我国掩膜版行业起步较晚,2017 年新注册企业数量创历史高峰,为 28 家。从掩膜版产业主要应用领域来看,中国光掩膜版领域的一级市场投资主要分布在 C 轮以下,我们认为未来光掩膜行业壁垒有望提升。投资策略:投资策略:受益于先进制程与国产替代双轮驱动,光掩膜行业有望迎来黄金发展期,建议以核心竞争力和未来布局卡位为抓手精选个股,受益标的:路维光电、清溢光电。风险提示:风险提示:下游需求不及预期、技术迭代风险、客户拓展不及预期、中美贸易摩擦加剧。行业重点公司盈利预测与评级 简称简称 EPS(EPS(元元)PEPE PBPB 评级评级 20202222A A 202023
7、23E E 20202 24 4E E 20202 25 5E E 20202222A A 20202323E E 20202 24 4E E 20202 25 5E E 路维光电 0.90 0.92 1.32 1.73 48.52 35.97 24.98 19.05 3.06-清溢科技 0.37 0.55 0.79 1.06 49.03 38.15 27.07 20.33 3.40-资料来源:同花顺iFinD、公司财报、东兴证券研究所(未覆盖公司盈利预测取自同花顺iFinD一致预测)P2 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?敬
8、请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 目目 录录 1.行业现状:高端掩膜版国产化率不足行业现状:高端掩膜版国产化率不足 3%,光掩膜上游材料和设备亟待突破,光掩膜上游材料和设备亟待突破.4 1.1 光掩膜占芯片材料总成本的 13%,高端掩膜版国产化率不足 3%.4 1.2 技术不断迭代,上游材料与设备被国外厂商垄断.7 2.复复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?.10 2.1 为什么日本企业占据较高的光掩膜市场份额?.10 2.2 复盘海外龙头 Toppan 的成长之路,带给我们什么启示?.12 3.我国光掩模行业发展
9、仍处于初期,一级市场投融资较为活跃我国光掩模行业发展仍处于初期,一级市场投融资较为活跃.14 4.投资建议投资建议.15 5.风险提示风险提示.16 相关报告汇总相关报告汇总.17 插图目录插图目录 图图 1:掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”.4 图图 2:掩膜版在半导体制造生产中至关重要掩膜版在半导体制造生产中至关重要.4 图图 3:光掩膜约占芯片材料总成本的光掩膜约占芯片材料总成本的 13%,仅次于硅片,仅次于硅片.4 图图 4:半导体掩膜版产品示意图半导体掩膜版产品示意图.5 图图 5:不同制程半导体掩膜版不同制程半导体掩膜版的市场占比的市场占
10、比.5 图图 6:掩膜版产业链梳理掩膜版产业链梳理.5 图图 7:预计预计 2023 年半导体掩膜版市场规模将继续增长至年半导体掩膜版市场规模将继续增长至 50.98 亿美元亿美元.6 图图 8:晶圆厂配套的掩膜版占全球半导体市场规模的晶圆厂配套的掩膜版占全球半导体市场规模的 65%.6 图图 9:全球第三方半导体掩膜版厂商日本和中国台湾份额较高全球第三方半导体掩膜版厂商日本和中国台湾份额较高.6 图图 10:独立半导体掩膜版厂商上下游技术迭代快,对于头部厂商提出了较高要求独立半导体掩膜版厂商上下游技术迭代快,对于头部厂商提出了较高要求.7 图图 11:半导体掩膜版的半导体掩膜版的 OPC效果
11、效果.8 图图 12:PSM 半导体掩膜版消除干涉现象效果图半导体掩膜版消除干涉现象效果图.8 图图 13:半导体掩模版的套刻层数越来越多,位置半导体掩模版的套刻层数越来越多,位置/套刻精度控制难度越来越大套刻精度控制难度越来越大.9 图图 14:Lasertec 公司产品覆盖光掩模基板检测、光掩模检测,特别是公司产品覆盖光掩模基板检测、光掩模检测,特别是 EUV 光掩模检测全球领先光掩模检测全球领先.11 图图 15:晶圆制造设备市场占比较高的主要是亚太地区晶圆制造设备市场占比较高的主要是亚太地区.11 图图 16:未来未来 3nm先进制程晶圆制造设备市场快速增长先进制程晶圆制造设备市场快速
12、增长.11 图图 17:Lasertec 公司近公司近 5年年复合增速为年年复合增速为 60.37%.12 图图 18:2022年年 Lasertec 公司公司 CAPEX 为为 231.41 亿日元亿日元.12 图图 19:Toppan 公司光掩膜业务发展历程公司光掩膜业务发展历程.12 图图 20:Toppan 公司生产基地遍布全球,独立光掩模市场份额明显提升公司生产基地遍布全球,独立光掩模市场份额明显提升.13 图图 21:受益于摩尔定律和受益于摩尔定律和 EUV 光刻机迭代升级,光刻机迭代升级,Toppan 公司技术路径将不断演进公司技术路径将不断演进.13 图图 22:预计预计 20
13、28年我国掩膜版行业市场规模将达到年我国掩膜版行业市场规模将达到 360亿元亿元.14 图图 23:我国光掩膜厂商营收与海外龙头厂商仍有较大差距我国光掩膜厂商营收与海外龙头厂商仍有较大差距.14 图图 24:我国掩膜版企业主要分为三个梯队我国掩膜版企业主要分为三个梯队.14 图图 25:中国掩膜版行业企业战略集群状况中国掩膜版行业企业战略集群状况.14 PZkZuZuWaXlXtVpN8O9R9PtRnNmOsRjMnNyRlOnPvN8OmNtQwMmRmMuOrNpQ 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?P3 敬请参阅报告结
14、尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 图图 26:2017年我国新注册光掩膜企业数量达历史高峰,为年我国新注册光掩膜企业数量达历史高峰,为 28家家.15 表格目录表格目录 表表 1:掩膜版制造核心装备大多依赖进口掩膜版制造核心装备大多依赖进口.9 表表 2:国内厂商在基板研磨和镀铬方面有待突破国内厂商在基板研磨和镀铬方面有待突破.10 表表 3:日系设备在日系设备在 EUV 相关光掩膜设备占据较高市场份额相关光掩膜设备占据较高市场份额.10 表表 4:2022年中国大陆主要的光掩膜企业融资年中国大陆主要的光掩膜企业融资.15 P4 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩
15、膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 1.行业现状:行业现状:高端掩膜版国产化率高端掩膜版国产化率不足不足 3%,光,光掩膜掩膜上游上游材料和材料和设备设备亟待亟待突破突破 1.1 光掩膜占芯片材料总成本的光掩膜占芯片材料总成本的 13%,高端掩膜版国产化率高端掩膜版国产化率不足不足 3%掩模版是半导体制造工艺中的关键材料,用于半导体制造的光刻环节。掩模版是半导体制造工艺中的关键材料,用于半导体制造的光刻环节。半导体制造的光刻是指通过曝光工序,在晶圆表面的光刻胶上刻画出电路图形,然后通过显影、刻蚀等工艺流程,最终将电路图形转移到晶圆上的过程。
16、图图1:掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”资料来源:清溢光电招股书,东兴证券研究所 掩膜版掩膜版是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体,光掩膜约占芯片材料总成本的,光掩膜约占芯片材料总成本的 13%。掩膜版是下游产品精度和质量的决定因素之一。从成本结构来看,光掩膜约占芯片材料总成本的 13%。图图2:掩膜版在半导体掩膜版在半导体制造制造生产中生产中至关重要至关重要 图图3:光掩膜光掩膜约约占芯片占芯片材料材料总成本的总成本的 13%,仅次于硅片仅次于硅片 资料来源:龙图光罩招股书,东兴证券研究所 资料来
17、源:腾讯网,SEMI,东兴证券研究所 硅片硅片 38%光掩膜光掩膜 13%电子特气电子特气 13%光刻胶光刻胶 12%抛光材料抛光材料 7%湿化学品湿化学品 5%其他其他 12%东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?P5 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 按照半导体制程来划分,130nm 以上半导体掩膜版占比为 54%,28-90nm 占比为 33%,28nm 以上占比为13%。图图4:半导体半导体掩膜版掩膜版产品示意图产品示意图 图图5:不同制程半导体不同制程半导体掩膜版掩膜版的市场占比的市场占比 资料来源:SE
18、MI,冠石科技公司公告,东兴证券研究所 资料来源:SEMI,冠石科技公司公告,东兴证券研究所 目前,掩膜版目前,掩膜版产业链包括上游核心材料及设备、中游掩膜版制造和下游半导体及相关产业产业链包括上游核心材料及设备、中游掩膜版制造和下游半导体及相关产业。掩膜版产业的上游包括掩膜版核心材料及其制造设备,即掩膜版玻璃基板、掩膜版遮光膜等;中游根据产品的不同分为铬版、干版、液体凸版和凸版;根据组成成分的不同,可分为树脂/玻璃基板掩膜版、乳胶/硬质遮光膜掩膜版等。下游主要涉及半导体及相关产业市场,具体包括 IC 制造、IC 封装测试、半导体器件等。图图6:掩膜版产业链梳理掩膜版产业链梳理 资料来源:前瞻
19、产业研究院,东兴证券研究所 130nm以上以上 54%28-90nm 33%28nm以上以上 百分百分比比 P6 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 据据 SEMI 数据显示,数据显示,2018-2022 年,全球半导体掩膜版市场规模由年,全球半导体掩膜版市场规模由 40.41 亿美元增长至亿美元增长至 49 亿美元,复合年亿美元,复合年均增长率达均增长率达 4.9%,预计,预计 2023 年半导体掩膜版市场规模将继续增长至年半导体掩膜版市场规模将继续增长至 50.98 亿美元。
20、亿美元。图图7:预计预计 2023 年半导体掩膜版市场规模将继续增长至年半导体掩膜版市场规模将继续增长至 50.98 亿美元亿美元 资料来源:中商产业研究院,SEMI,东兴证券研究所 半导体芯片掩膜版的主要半导体芯片掩膜版的主要厂商厂商为晶圆厂自行配套的掩膜版工厂(为晶圆厂自行配套的掩膜版工厂(captive suppliers)和独立第三方掩膜版生)和独立第三方掩膜版生产商产商,独立第三方掩膜版独立第三方掩膜版的市场份额主要被日系厂商所占据的市场份额主要被日系厂商所占据。根据 SEMI 数据,晶圆厂自行配套的掩膜版工厂占据 65%的份额;在独立第三方掩膜版市场,半导体芯片掩膜版技术主要由美国
21、福尼克斯、日本 DNP 和 Toppan 掌握,市场集中度较高。晶圆制造厂先进制程(45nm 以下)所用的掩膜版大部分由自己的专业工厂生产,但对于 45nm 以上等比较成熟的制程所用的标准化程度更高的掩膜版,晶圆厂出于成本的考虑,更倾向于向独立第三方掩膜版厂商进行采购。图图8:晶圆厂配套的晶圆厂配套的掩膜版占掩膜版占全球半导体市场全球半导体市场规模的规模的 65%图图9:全球第三方半导体掩膜版厂商日本和中国台湾份额较高全球第三方半导体掩膜版厂商日本和中国台湾份额较高 资料来源:SEMI,龙图光罩招股书,东兴证券研究所 资料来源:SEMI,龙图光罩招股书,东兴证券研究所 半导体光掩膜版的图形尺寸
22、、精度及制造技术要求不断提高,促使高精度、低线宽半导体光掩膜版的市场需半导体光掩膜版的图形尺寸、精度及制造技术要求不断提高,促使高精度、低线宽半导体光掩膜版的市场需求明显增加求明显增加,但但高端光掩膜版国产化率仅为高端光掩膜版国产化率仅为 3%。目前我国半导体掩膜版厂商主流产品制程以 350-130nm 为主,国际厂商主流产品制程以 100-50nm 为主,我国中高端半导体光掩膜版产品主要仍依赖于进口,国晶圆厂晶圆厂/IDM厂厂 65%Toppan 11%Photronics 10%DNP 8%中国台湾光中国台湾光罩罩 2%HOYA 2%其他其他 2%市场份额市场份额 Toppan 31%Ph
23、otronics 28%DNP 23%中国台湾光中国台湾光罩罩 6%HOYA 6%其他其他 6%市场份额市场份额 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?P7 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 产化率较低。根据中国电子协会数据统计,目前中国半导体光掩膜版的国产化率约为 10%,90%仍需要进口,而高端光掩膜版国产化率仅为 3%。1.2 技术不断迭代,上游材料与设备技术不断迭代,上游材料与设备被国外厂商垄断被国外厂商垄断 独立第三方半导体掩模版厂商既需要快速理解并转换上游芯片设计要求,又要充分了解下游晶圆制造工艺需独立
24、第三方半导体掩模版厂商既需要快速理解并转换上游芯片设计要求,又要充分了解下游晶圆制造工艺需求,需要有较强的上下游匹配能力。求,需要有较强的上下游匹配能力。第三方光掩膜厂商根据上游芯片设计公司(Fabless)提供的设计版图,及下游晶圆制造厂商(Foundry 和 IDM)提供的制作工艺要求,设计并制作出同时满足芯片设计公司和晶圆制造厂要求的、用于晶圆加工的半导体掩模版。第三方半导体掩模版厂商当前国内芯片设计公司使用的 EDA 软件多样,各家公司设计图档缺乏统一标准,存在大量非标准化设计;下游光刻机台二手设备流通普遍,型号众多,不同光刻机的对位要求、工艺要求不同,相应信息不全。因此,独立第三方半
25、导体掩模版厂商需要有较强的上下游匹配能力。图图10:独立独立半导体掩膜版半导体掩膜版厂商上下游技术迭代快,对于头部厂商提出了较高要求厂商上下游技术迭代快,对于头部厂商提出了较高要求 资料来源:龙图光罩招股书,东兴证券研究所 另外另外,掩膜版厂商对于光学邻近效应修正(掩膜版厂商对于光学邻近效应修正(OPC)和)和相移掩模版(相移掩模版(Phase Shift Mask,PSM)等技术提出了)等技术提出了较高要求较高要求。为了提高光刻环节曝光图形的为了提高光刻环节曝光图形的 CD 精度,精度,光掩模厂商光掩模厂商必须要对掩模图案进行光学邻近效应修正。必须要对掩模图案进行光学邻近效应修正。由于光的衍
26、射造成的图像失真及 OPC 效果对比情况如下图所示:P8 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 图图11:半导体掩膜版的半导体掩膜版的 OPC效果效果 资料来源:龙图光罩招股书,东兴证券研究所 当半导体的最小线宽小于当半导体的最小线宽小于 130nm 后,传统的二元掩模版(后,传统的二元掩模版(Binary Mask)会由于光的干涉现象而无法对晶)会由于光的干涉现象而无法对晶圆进行有效曝光,需要采用相移掩模版(圆进行有效曝光,需要采用相移掩模版(Phase Shift Mask,P
27、SM)来消除曝光光束中的干涉现象,提升)来消除曝光光束中的干涉现象,提升 CD 精度水平。精度水平。图图12:PSM 半导体掩膜版半导体掩膜版消除干涉现象消除干涉现象效果图效果图 资料来源:龙图光罩招股书,东兴证券研究所 随着半导体制程能力的不断提升,晶圆表面需要光刻的图案由传统的二维电路图像发展成含有多层结构的三维电路图像,这也导致半导体掩模版的层数不断增加,对掩模版的套刻精度也提出了更高的要求。东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?P9 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 图图13:半导体掩模版的套刻层数越来越多
28、,位置半导体掩模版的套刻层数越来越多,位置/套刻精度控制难度越来越大套刻精度控制难度越来越大 资料来源:龙图光罩招股书,东兴证券研究所 在光罩的制备上在光罩的制备上我国半导体掩膜版产业我国半导体掩膜版产业同样面临高端设备、材料同样面临高端设备、材料被被国外垄断的情况。国外垄断的情况。中国半导体掩膜版的产业起步较晚,在设备、材料领域众多技术处于“卡脖子”状态,例如掩膜版制造装备光刻机、检测机、测量机、修复机和贴膜机等都依赖进口,严重制约中国半导体产业的发展。掩膜版掩膜版设备的供应商相比于晶圆厂垄断程度更高,设备的供应商相比于晶圆厂垄断程度更高,主要被日本、美国和德国等厂商占据,后道工艺细分设备主
29、要被日本、美国和德国等厂商占据,后道工艺细分设备被德国蔡司和被德国蔡司和 Lasertec 等厂商所垄断等厂商所垄断。目前激光直写的主要供应商为美国应用材料和瑞典迈康尼(Mycronics),电子束直写设备则主要是日本电子(JEOL)和 NuFlare 提供,而位置精度量测的供应商是美国的KLA 和德国的蔡司。光罩制作的后道工艺主要是验证和修复,验证工艺是模拟真实光刻的光学照明条件进行空间成像检测,而修复则是使用化学或物理方法对缺陷进行去除的工艺。后道供应商的垄断程度较前端设备更高,例如验证的设备供应商仅有德国蔡司,修复设备主要是日立和 V Technology,高端电子束修复仅有德国蔡司。表
30、表1:掩膜版制造核心装备掩膜版制造核心装备大多依赖进口大多依赖进口 掩膜版掩膜版制造制造工艺工艺 主要工艺主要工艺流程流程 主要主要设备厂商设备厂商 前道 涂胶 TEL,AMAT 等 烘烤 SUSS 刻蚀 AMAT 等 光罩写入 激光直写:AMAT,Mycronic 电子束直写:Nuflare,IMS,JEOL 关键尺寸(CD)量测 Holon,Advantest 位置精度(OVL)量测 KLA,Zeiss 清洗 SUSS 后道 缺陷检测 KLA,Nuflare,Lasertec 缺陷修复 Hitachi,V Technology,高端电子束修复仅有德国蔡司 验证设备 Zeiss 资料来源:半
31、导体行业观察,公司官网,东兴证券研究所 P10 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 另外,光掩膜上游材料也基本被日系厂商占据,为降低原材料采购成本和控制终端产品质量,国际领先的掩另外,光掩膜上游材料也基本被日系厂商占据,为降低原材料采购成本和控制终端产品质量,国际领先的掩膜版企业陆续向上游原材料行业延伸。膜版企业陆续向上游原材料行业延伸。掩膜版的主要原材料为掩膜基板,即涂有光阻和镀铬的玻璃基板。掩膜基板的质量,对掩膜版产品最终品质具有重大影响。部分企业已经具备研磨、抛光、镀铬、光
32、阻涂布等掩膜版全产业链技术能力。表表2:国内厂商在基板国内厂商在基板研磨和镀铬方面有待突破研磨和镀铬方面有待突破 原材料技原材料技术术 日本日本HOYA 韩国韩国LG-IT 日本日本DNP 韩国韩国PKL 日本日本Toppan 日本日本SKE 清溢光清溢光电电 路维路维光电光电 基板研磨/抛光 镀铬 光阻涂布 资料来源:路维光电招股书、东兴证券研究所 2.复盘海外光掩膜行业复盘海外光掩膜行业龙头龙头发展之路,给我们带来哪些启示?发展之路,给我们带来哪些启示?2.1 为什么日本企业占据较高的为什么日本企业占据较高的光掩膜光掩膜市场份额?市场份额?日本在产业链上游设备和材料方面具备明显的优势日本在
33、产业链上游设备和材料方面具备明显的优势,特别是涂胶、特别是涂胶、CD 量测和缺陷检测设备优势较为突出量测和缺陷检测设备优势较为突出,凭借这一优势凭借这一优势,日日系系厂商合计占据全球独立第三方光掩膜市场份额厂商合计占据全球独立第三方光掩膜市场份额 60%以上以上。根据 CINNO 数据,在极紫外光刻曝光相关工序中,荷兰 ASML 垄断关键曝光设备市场,日本企业则在检测、感光材料涂布、成像等相关设备方面占有较高的市场份额。表表3:日系设备在日系设备在 EUV 相关光掩膜设备占据较高市场份额相关光掩膜设备占据较高市场份额 EUV 相关光掩膜设备相关光掩膜设备 主要主要设备厂商设备厂商 曝光设备 A
34、SML 市场份额近 100%光掩膜缺陷检测设备 Lasertec 市场份额近 100%光罩检测设备 Lasertec 公司、美国 KLA 光掩模坯(mask blanks)缺陷检测设备 Lasertec 市场份额近 100%涂覆显影设备 东京电子市场份额近 100%资料来源:CINNO,雅虎,东兴证券研究所 在在 EUV光光掩膜掩膜的缺陷检验设备的缺陷检验设备中中,Lasertec 公司公司占据占据全球市场全球市场约约 100%的份额。的份额。日系厂商 Lasertec 使用与EUV 光刻相同的 13.5nm 波长,用来检测 EUV 光罩缺陷,产品缺陷检测灵敏度更高。凭借这一优势,Lasert
35、ec公司在 EUV 光掩膜的缺陷检验设备中占据全球市场约 100%的份额。东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?P11 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 图图14:Lasertec 公司产品覆盖光掩模基板检测、光掩模检测公司产品覆盖光掩模基板检测、光掩模检测,特别是特别是 EUV 光掩模检测全球领先光掩模检测全球领先 资料来源:Lasertec公司官网,东兴证券研究所 全球全球晶圆产能向亚太地区转移晶圆产能向亚太地区转移和先进制程晶圆制造设备市场快速增长为和先进制程晶圆制造设备市场快速增长为 Lasertec 公司
36、公司的发展提供了有利条的发展提供了有利条件件。得益于全球晶圆产能向亚太地区转移,中国、中国台湾、韩国和日本已成为晶圆制造设备主要购买市场,凭借亚太地区快速响应服务优势,Lasertec 公司的设备获得客户认可。此外,3nm 先进制程晶圆制造设备市场快速增长,预计 2023 年 3nm 制程晶圆制造设备市场将突破 20 亿美金,Lasertec 公司的 EUV 检测设备市场预计也将快速增长。图图15:晶圆制造设备市场晶圆制造设备市场占比占比较高的主要是亚太地区较高的主要是亚太地区 图图16:未来未来 3nm 先进制程晶圆制造设备市场快速增长先进制程晶圆制造设备市场快速增长 资料来源:Lasert
37、ec公司官网,东兴证券研究所 资料来源:Lasertec公司官网,东兴证券研究所 0204060800222023E2024E晶圆制造设备市场(十亿美元)东南亚 日本 韩国 欧洲&中东 北美 中国台湾 中国 0204060800222023E2024E晶圆制造设备市场(十亿美元)47nm-46nm-20nm-16nm-10nm-7nm-5nm-3nmP12 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 通过通过垄断垄断 EUV检测市场检测市场,L
38、asertec 公司近年来业绩快速增长公司近年来业绩快速增长,享受行业发展红利享受行业发展红利,并不断进行抢占市场份并不断进行抢占市场份额额。2019-2022 年 Lasertec 公司 5 年年复合增速为 60.37%,同时公司持续加大投入,2022 年 Lasertec 公司 CAPEX为 231.41 亿日元。图图17:Lasertec 公司近公司近 5年年复合增速为年年复合增速为 60.37%图图18:2022 年年 Lasertec 公司公司 CAPEX 为为 231.41 亿日元亿日元 资料来源:Lasertec公司官网,东兴证券研究所 资料来源:Lasertec公司官网,东兴证
39、券研究所 日系厂商在设备某些特定细分领域取得垄断地位,以及日系厂商在设备某些特定细分领域取得垄断地位,以及在在上游材料上游材料领域领域的先发优势,使得日本企业占据较高的先发优势,使得日本企业占据较高的光掩膜市场份额。的光掩膜市场份额。我们对于光掩膜上游 EUV 缺陷检测设备龙头厂商 Lasertec 公司进行分析,可以看出光掩膜的产业升级与技术突破需要上游设备支持,特别是光检测设备的进步。因此半导体掩膜版的突破跟光检测设备密切相关,而日系厂商在设备某些特定细分领域取得垄断地位,以及上游材料的先发优势,使得日本企业占据较高的光掩膜市场份额。2.2 复盘海外龙头复盘海外龙头 Toppan 的成长之
40、路的成长之路,带给我们什么启示带给我们什么启示?Toppan 公司公司在在 1959 年开始研发平面型晶体管掩膜版年开始研发平面型晶体管掩膜版,通过横向并购杜邦光掩模通过横向并购杜邦光掩模,并并积极获取大客户订单积极获取大客户订单,逐步成长为世界级龙头公司逐步成长为世界级龙头公司。Toppan 公司于 1900 年成立,1959 年开始研发平面型晶体管掩膜版。Toppan公司于 2005 年完成对美国杜邦光掩模公司的收购,Toppan Photomasks 公司正式动工,并于同年与美国 IBM公司签订共同开发尖端光掩模的合同。图图19:Toppan 公司光掩膜业务发展历程公司光掩膜业务发展历程
41、 资料来源:Toppan公司官网,21ic,东兴证券研究所 0%10%20%30%40%50%60%70%80%02000040000600008000000022收入(百万日元)YOY-100%0%100%200%300%400%500%05000000025000200212022CAPEX(百万日元)YOY 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?P13 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 Toppan
42、公司是唯一具有全球生产网公司是唯一具有全球生产网络的光掩膜版制造商,生产基地遍布亚洲、北美和欧洲,另外还有其他络的光掩膜版制造商,生产基地遍布亚洲、北美和欧洲,另外还有其他备选生产基地,并在高端掩膜版领域备选生产基地,并在高端掩膜版领域与与客户客户建立较好的关系建立较好的关系。图图20:Toppan 公司公司生产生产基地遍布全球基地遍布全球,独立光掩模市场独立光掩模市场份额份额明显提升明显提升 资料来源:Toppan公司官网,东兴证券研究所 Toppan公司抓住了先进工艺的技术机遇公司抓住了先进工艺的技术机遇,在在 EUV领域推动领域推动 EUV掩膜版大规模量产掩膜版大规模量产。受益于摩尔定律
43、和 EUV技术迭代升级,Toppan 公司技术路径不断演进。公司与下游客户积极推进 EUV 技术进步,推动多电子束写入光刻机的导入,同时推动 EUV 掩膜版大规模量产。图图21:受益于摩尔定律和受益于摩尔定律和 EUV 光刻机迭代升级光刻机迭代升级,Toppan 公司技术路径将不断演进公司技术路径将不断演进 资料来源:Toppan公司官网,东兴证券研究所 通过通过复盘海外龙头复盘海外龙头 Toppan 的成长之路的成长之路,希望对于国内半导体光掩膜行业有希望对于国内半导体光掩膜行业有一定一定借鉴作用借鉴作用,我们分析认为:,我们分析认为:光掩膜厂商需要依靠大客户实现光掩膜厂商需要依靠大客户实现
44、 know-how,在特定时期需要在特定时期需要通过通过并购拓展客户并购拓展客户;另外,;另外,光掩膜厂商光掩膜厂商需要同需要同时在多元化产品(时在多元化产品(90nm以上以上 KRF 光掩模光掩模)以及先进制程产品()以及先进制程产品(7nm及以下及以下 EUV)取得突破,才能占据较)取得突破,才能占据较高市场份额。高市场份额。P14 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 3.我国光掩模行业发展仍处于初期我国光掩模行业发展仍处于初期,一级市场投融资较为活跃一级市场投融资较为活跃
45、掩膜版国产替代需求迫切,我国大陆光掩膜厂商营收规模与福尼克斯等海外龙头厂商仍有较大差距掩膜版国产替代需求迫切,我国大陆光掩膜厂商营收规模与福尼克斯等海外龙头厂商仍有较大差距。预计到2028 年,我国掩膜版市场规模将达到 360 亿元。我国大陆光掩膜厂商营收规模与福尼克斯等海外龙头厂商仍有较大差距,2022 年福尼克斯营业收入为 56.87 亿元,而路维光电 2022 年收入为 6.4 亿元,而清溢光电收入为 7.62 亿元。图图22:预计预计 2028年我国掩膜版行业市场规模将达到年我国掩膜版行业市场规模将达到360亿元亿元 图图23:我国光掩膜厂商营收与海外龙头厂商仍有较大差距我国光掩膜厂商
46、营收与海外龙头厂商仍有较大差距 资料来源:前瞻产业研究院,东兴证券研究所 资料来源:同花顺,东兴证券研究所 我国掩膜版行业当前正处于发展初期,市场增长潜力较大、追随者较少。我国掩膜版行业当前正处于发展初期,市场增长潜力较大、追随者较少。根据中国掩膜版行业企业发展来看,我国掩膜版行业主要分为三个梯队,第一梯队企业主要包括清溢光电、路维光电、台湾光罩及中芯国际;第二梯队企业主要包括华虹半导体、华润微等。台湾光罩、清溢光电和路维光电以其强大的市场竞争力及战略执行力占据了掩膜版市场的领导者象限;挑战者象限则分布了华润微、中芯国际、华虹半导体等众多公司;追随者象限则包括仕元光电、中微掩模等。图图24:我
47、国掩膜版企业主要分为三个梯队我国掩膜版企业主要分为三个梯队 图图25:中国掩膜版行业企业战略集群状况中国掩膜版行业企业战略集群状况 资料来源:前瞻产业研究院,东兴证券研究所 资料来源:前瞻产业研究院,东兴证券研究所 00.050.10.150.20.2505003003504002023E2024E2025E2026E2027E2028E中国掩膜版行业市场前景预测(亿元)YOY00400050006000200212022收入(百万元)福尼克斯 路维光电 清溢光电 龙图光罩 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘
48、海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?P15 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 我国掩膜版行业起步较晚,我国掩膜版行业起步较晚,2017 年新注册企业数量创历史高峰,为年新注册企业数量创历史高峰,为 28 家家。截至 2023 年 1 月 3 日,中国掩膜版行业注册企业累计共有 282 家,其中 2017 年新注册企业数量创历史高峰,为 28 家。2021 年,我国掩膜版行业新注册企业数量为 8 家。2022 年,我国掩膜版行业新注册企业数量 1 家。图图26:2017 年年我国我国新注册新注册光掩膜光掩膜企业数量企业数量达达历史高峰,为历史高峰,为 28 家家 资料
49、来源:前瞻产业研究院,企查猫,东兴证券研究所 从掩膜版产业主要应用领域来看,中国从掩膜版产业主要应用领域来看,中国光光掩膜版掩膜版领域的一级市场投资主要分布在领域的一级市场投资主要分布在 C 轮以下轮以下,我们认为我们认为未来未来光光掩膜行业掩膜行业壁垒壁垒有望提升有望提升。表表4:2022 年中国年中国大陆主要大陆主要的的光掩膜企业融资光掩膜企业融资 时间时间 公司公司 投资轮次投资轮次 融资金额融资金额 投资机构投资机构 2022/12/13 龙图光罩 战略投资/士兰创投(士兰控股)、华虹虹芯等 2022/12/5 威迈芯材 战略投资 1 亿人民币 超越摩尔基金等 2022/11/8 埃芯
50、半导体 A 轮/深创投 2022/10/28 迪视泰光电 天使轮/江宁经开高新创投 2022/8/2 国科天骥 A 轮 1 亿人民币 中信建投资本(领投)2022/7/14 宇微光学 A 轮 数千万人民币 致道资本、光谷烽火创投等 2022/6/1 强一半导体 D 轮 数亿人民币 国发创投、海达投资、君桐资本等 2022/4/24 浚漪科技 C 轮/深圳高新投 2022/3/23 容微精密电子 A 轮 数千万人民币 华强资本、安芯投资 资料来源:IT桔子,前瞻产业研究院,东兴证券研究所 4.投资建议投资建议 受益于先进制程演进与国产替代双轮驱动,光掩膜行业有望迎来黄金发展期,建议以核心竞争力和
51、未来布局卡位为抓手精选个股,受益标的:路维光电、清溢光电。050002002200420062008200022我国掩膜版行业新注册企业数量 P16 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 5.风险提示风险提示 下游需求不及预期、技术迭代风险、客户拓展不及预期、中美贸易摩擦加剧。东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?P17 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东
52、方财智 兴盛之源 相关报告汇总相关报告汇总 报告类型报告类型 标题标题 日期日期 行业深度报告 电子行业 2023 年中期投资策略:从模式创新到技术创新,拥抱硬件创新浪潮 2023-07-03 行业深度报告 导电胶行业:封测材料替代进行时,看好导电胶领域 2023-05-26 行业普通报告 电子行业点评:三星显示携手 eMagin 公司布局硅基 OLED 领域,助力 XR 行业发展 2023-05-22 行业深度报告 海外硬科技龙头复盘研究系列之四:论国产半导体量测设备行业发展之天时地利人和 2023-05-17 行业普通报告 电子元器件行业:HBM芯片量价齐升,看好存储芯片与 PCB 领域
53、2023-02-17 行业普通报告【东兴电子】半导体行业动态跟踪点评:晶圆厂 wafer bank 居于高位,FOUP 供应紧张,静待行业花开 2022-12-30 行业深度报告 电子元器件行业:复盘电子行业十年牛股,“曲棍球战略”带来哪些启示?2022-12-20 行业深度报告【东兴电子】半导体行业专题:长坡厚雪,国产替代成主旋律 2022-12-09 行业深度报告 电子行业 2023 年投资策略:否极泰来,国产替代与产品升级将贯穿全年 2022-11-25 公司普通报告 统联精密(688210):Q1 业绩承压,折叠屏铰链产品陆续导入量产 2023-05-05 公司普通报告 统联精密(68
54、8210):业绩快速增长,积极拓展下游领域 2023-04-24 资料来源:东兴证券研究所 P18 东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财智 兴盛之源 分析师简介分析师简介 刘航刘航 复旦大学工学硕士,2022 年 6 月加入东兴证券研究所,现任电子行业首席分析师。曾就职于 Foundry厂、研究所和券商资管,分别担任工艺集成工程师、研究员和投资经理。证书编号:S01。分析师承诺分析师承诺 负责本研究报告全部或部分内容的每一位证券分析师,在此申明,本报告的观点、逻辑和论据均
55、为分析师本人研究成果,引用的相关信息和文字均已注明出处。本报告依据公开的信息来源,力求清晰、准确地反映分析师本人的研究观点。本人薪酬的任何部分过去不曾与、现在不与,未来也将不会与本报告中的具体推荐或观点直接或间接相关。风险提示风险提示 本证券研究报告所载的信息、观点、结论等内容仅供投资者决策参考。在任何情况下,本公司证券研究报告均不构成对任何机构和个人的投资建议,市场有风险,投资者在决定投资前,务必要审慎。投资者应自主作出投资决策,自行承担投资风险。东兴证券深度报告东兴证券深度报告 电子元器件行业:复盘海外光掩膜行业龙头发展之路,给我们带来哪些启示?P19 敬请参阅报告结尾处的免责声明 东方财
56、智 兴盛之源 免责声明免责声明 本研究报告由东兴证券股份有限公司研究所撰写,东兴证券股份有限公司是具有合法证券投资咨询业务资格的机构。本研究报告中所引用信息均来源于公开资料,我公司对这些信息的准确性和完整性不作任何保证,也不保证所包含的信息和建议不会发生任何变更。我们已力求报告内容的客观、公正,但文中的观点、结论和建议仅供参考,报告中的信息或意见并不构成所述证券的买卖出价或征价,投资者据此做出的任何投资决策与本公司和作者无关。我公司及报告作者在自身所知情的范围内,与本报告所评价或推荐的证券或投资标的不存在法律禁止的利害关系。在法律许可的情况下,我公司及其所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所
57、发行的证券头寸并进行交易,也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务。本报告版权仅为我公司所有,未经书面许可,任何机构和个人不得以任何形式翻版、复制和发布。如引用、刊发,需注明出处为东兴证券研究所,且不得对本报告进行有悖原意的引用、删节和修改。本研究报告仅供东兴证券股份有限公司客户和经本公司授权刊载机构的客户使用,未经授权私自刊载研究报告的机构以及其阅读和使用者应慎重使用报告、防止被误导,本公司不承担由于非授权机构私自刊发和非授权客户使用该报告所产生的相关风险和责任。行业评级体系行业评级体系 公司投资评级(A 股市场基准为沪深 300 指数,香港市场基准为恒生指数
58、,美国市场基准为标普500 指数):以报告日后的 6 个月内,公司股价相对于同期市场基准指数的表现为标准定义:强烈推荐:相对强于市场基准指数收益率 15以上;推荐:相对强于市场基准指数收益率515之间;中性:相对于市场基准指数收益率介于-5+5之间;回避:相对弱于市场基准指数收益率5以上。行业投资评级(A 股市场基准为沪深 300 指数,香港市场基准为恒生指数,美国市场基准为标普500 指数):以报告日后的 6 个月内,行业指数相对于同期市场基准指数的表现为标准定义:看好:相对强于市场基准指数收益率5以上;中性:相对于市场基准指数收益率介于-5+5之间;看淡:相对弱于市场基准指数收益率5以上。东兴东兴证券研究所证券研究所 北京 上海 深圳 西城区金融大街 5 号新盛大厦 B座 16 层 虹口区杨树浦路 248 号瑞丰国际大厦 5 层 福田区益田路6009号新世界中心46F 邮编:100033 电话: 传真: 邮编:200082 电话: 传真: 邮编:518038 电话: 传真: