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1、2023 年深度行业分析研究报告 正文目录正文目录 1.电子特种气体行业概述电子特种气体行业概述.51.1.电子特气属于工业气体中高纯度细分市场.5 1.2.纯度与混配精度是电子特气的两个关键指标.7 1.3.电子特气的多重行业壁垒.10 2.国产企业逐步打破全球寡头垄断局面国产企业逐步打破全球寡头垄断局面.132.1.中国电子特种气体需求高速增长.13 2.2.国内部分产品逐步打破国外寡头垄断.15 2.3.我国电子特气企业规模与产能具备较大空间.18 3.政策和需求双轮驱动我国电子特气市场发展政策和需求双轮驱动我国电子特气市场发展.213.1.集成电路发展迅速成为电子特气主要驱动力.21

2、3.2.面板和光伏稳步增长助推国产电子特气需求增长.22 3.3.国家出台多项产业扶持政策，加速推动行业发展.24 4.公司介绍公司介绍.254.1.中船特气.25 4.2.华特气体.27 4.3.金宏气体.29 3VpY0URZlVwV8O8Q6MnPrRoMpMiNnNxPkPnNoMbRrQnNvPpPtMMYsOpR图表目录图表目录 图 1 行业发展历程.5 图 2 工业气体划分.6 图 3 气体行业产业链.7 图 4 电子气体的划分.7 图 5 晶圆制造工艺流程（标红部分为使用电子特气环节）.8 图 6 2021 年电子特气半导体领域用途占比（%）.8 图 7 高纯气体产品品质检测标

3、准.8 图 8 电子特气关键生产技术.9 图 9 电子特气合成技术和纯化技术主要分类.10 图 10 气体行业壁垒.11 图 11 气体的主要销售模式.11 图 12 全球以及中国工业气体市场规模（亿元，%）.13 图 13 中国大宗气体市场规模（亿元，%）.14 图 14 2017-2026 中国特种气体市场规模（亿元，%）.14 图 15 2021 年中国特种气体市场分布（%）.14 图 16 全球电子特种气体市场规模（亿美元，%）.15 图 17 中国电子特种气体市场规模（亿元，%）.15 图 18 2021 年全球电子特气行业竞争格局（%）.16 图 19 2022 年中国电子特气行业

4、竞争格局（%）.16 图 20 国内外电子特气企业情况.17 图 21 2021 年全球市场规模 TOP10 电子特气种类.18 图 22 2020 年三氟化氮全球市场份额（%）.18 图 23 2020 年六氟化钨全球市场份额（%）.18 图 24 国内上市企业情况概述（不完全统计）.19 图 25 国内上市公司产能概况（不完全统计）.20 图 26 电子特气按照行业分类.21 图 27 全球电子特气下游需求占比（%）.21 图 28 中国电子特气下游需求占比（%）.21 图 29 中国集成电路市场供需预测（亿美元）.22 图 30 中国集成电路对电子气体需求市场规模预测（亿元）.22 图

5、31 全球分地区新建晶圆厂计划（座）.22 图 32 中国显示面板行业市场规模（百万平米，%）.23 图 33 全球光伏新增装机容量及增速（GW，%）.23 图 34 中国光伏新增装机容量及增速推算（GW，%）.23 图 35 我国行业相关政策.24 图 36 中船特气发展历程.25 图 37 公司营业收入变化情况（亿元，%）.26 图 38 公司归母净利润变化情况（亿元，%）.26 图 39 公司销售毛利率和净利率变化情况（%）.26 图 40 公司主要产品营收以及毛利变化情况（亿元，%）.26 图 41 公司费用变化情况（%）.27 图 42 公司研发投入情况（亿元，%）.27 图 43

6、华特气体发展历程.27 图 44 公司营业收入变化情况（亿元，%）.28 图 45 公司归母净利润变化情况（亿元，%）.28 图 46 公司销售毛利率和净利率变化情况（%）.28 图 47 公司费用变化情况（%）.28 图 48 公司分行业营收情况（亿元）.29 图 49 公司研发投入情况（亿元，%）.29 图 50 金宏气体发展历程.29 图 51 公司营业收入变化情况（亿元，%）.30 图 52 公司归母净利润变化情况（亿元，%）.30 图 53 公司销售毛利率和净利率变化情况（%）.30 图 54 公司分行业营收情况（亿元）.30 图 55 公司各项费用情况（%）.31 图 56 公司研

7、发投入情况（亿元，%）.31 1.电子特种气体行业概述电子特种气体行业概述 1.1.电子特气电子特气属于工业气体中高纯度细分市场属于工业气体中高纯度细分市场（1）18 世纪末空气分离技术开启了工业气体行业的发展世纪末空气分离技术开启了工业气体行业的发展，随着气体纯度与品质的需求随着气体纯度与品质的需求不断提升，特种气体细分市场逐步形成不断提升，特种气体细分市场逐步形成。电子特气技术延续于工业气体的发展进步，18 世纪末，工业气体主要被应用于医用领域，后逐步应用于商业领域；20 世纪中期，分馏加工方法的发明和使用，大大降低了工业气体的生产成本，加速了工业气体的产业化进程；20 世纪末，电子产业高

8、速发展，运用于集成电路、显示面板等电子设备的高品质、高纯度电子特气需求增大，从而诞生了特种气体行业。至今，随着电子信息等高新技术的迅速发展，特种气体规模不断扩张、技术壁垒不断提升。海外企业具备多年的技术、渠道、资源、人才的积累，在特种气体市场占据领先优势，近些年国内部分领先龙头企业实现了技术突破，打破了海外产品垄断，逐步在市场崭露头角。图图1 行业发展历程行业发展历程 资料来源：亿渡数据，东海证券研究所 （2）工业气体工业气体主要依据纯度不同主要依据纯度不同可分为大宗气体和特种气体可分为大宗气体和特种气体，而电子特种气体属于特，而电子特种气体属于特种气体中对纯度要求更高的一类应用气体种气体中对

9、纯度要求更高的一类应用气体。大宗气体主要包括空分气体（氧、氮、氩等）以及合成气体（乙炔、二氧化碳等），此类气体一般对纯度要求在 4N（99.99%，一个 N 代表1 个 9）以下，主要用于冶金、化工、机械、电力、造船等传统领域。特种气体指在部分特定领域应用的气体产品，根据纯度和用途又可以细分为标准气体、高纯气体和电子特种气体。特种气体纯度一般要求在 5N 以上，电子特种气体一般要求在 6N 以上。特种气体下游主要应用于集成电路、液晶面板、LED、光伏、生物医药、新能源等新兴产业。图图2 工业气体划分工业气体划分 资料来源：金宏气体招股说明书，东海证券研究所整理 （3）整个工业气体的产业链上下游

10、较为相似，一般来说设备与原材料对气体公司的成整个工业气体的产业链上下游较为相似，一般来说设备与原材料对气体公司的成本以及产品质量影响本以及产品质量影响显著显著。如下图所示，整个工业气体产业链上游主要包括原料、设备、相关能源三个部分。其一，在原材料选择上，空分气体的原料主要为空气或者工业废气，成本较低；合成气体的原料主要为化学产品，成本较高。一般来说，特种气体的原料主要为外购的工业气体和化学原材料，成本相对较高。其二，设备主要分为气体生产设备、气体储存设备和气体运输设备。气体生产设备主要有空分设备和气体提纯设备，气体储存设备主要有钢瓶和储槽，气体运输设备主要有用液化气槽车和管道。生产、存储、运输

11、设备决定了气体公司的品质与服务，很多电子特气企业与上游形成了长期、定制的合作关系，也是电子特气企业的核心壁垒之一。其三，工业气体生产过程中需要消耗大量的水电能源和燃油资源，相关成本占据气体生产公司的 1/3 左右。产业链的中游为大宗气体和特种气体的制造、运输和储存。中游根据空气的制备方式不同、应用领域不同、纯度不同等属性影响大致分为大宗气体和特种气体。其中的电子特种气体属于专注应用在集成电路、显示面板等电子产业的细分种类，占据电子特气的较大比例。产业链下游根据用气量规模和品种大致分为大宗客户和零售客户，大宗客户用气量大，一般来自于钢铁、冶金、有色金属、石油化工、煤化工、化肥等传统行业；零售客户

12、有着小批量、多品种以及多频次的特点，一般应用于电子半导体、医药、面板、环保新能源、高端设备、光伏等领域。图图3 气体行业产业链气体行业产业链 资料来源：亿渡数据，东海证券研究所整理 1.2.纯度与混配精度是电子特气的两个关键指标纯度与混配精度是电子特气的两个关键指标（1）电子电子气体气体是晶圆制造是晶圆制造过程中占比第二大的半导体耗材，也被过程中占比第二大的半导体耗材，也被称为称为晶圆的“血液”。晶圆的“血液”。根据 SEMI 的数据，2020 年全球晶圆制造材料中，电子气体占比约为 13%，是占比仅次于硅片的半导体材料。广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是最重要原材料之一；

13、狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体，依据战略性新兴产业分类（2018）在电子专用材料制造的重点产品分类，将电子气体分为了电子特种气体和电子大宗气体。图图4 电子气体的划分电子气体的划分 资料来源：金宏气体招股说明书，东海证券研究所 （2）电子特气是贯穿晶电子特气是贯穿晶圆制造工艺流程的关键耗材，其中在刻蚀和掺杂中使用占比较圆制造工艺流程的关键耗材，其中在刻蚀和掺杂中使用占比较高。高。细分至晶圆制造的整套工艺生产过程中，使用到的电子特种气体涉及上百种，核心工段 涉及 40-50 种，贯穿外延，成膜，离子注入，掺杂、刻蚀、沉积等工艺流程。其中在刻蚀、掺杂、外延沉积以及光刻工艺

14、中使用占比较高，分别为 36%、34%、24%和 18%。图图5 晶圆制造工艺流程（标红部分为使用电子特气环节）晶圆制造工艺流程（标红部分为使用电子特气环节）图图6 2021 年电子特气半导体领域用途占比（年电子特气半导体领域用途占比（%）资料来源：华海清科招股说明书，东海证券研究所整理 资料来源：亿渡数据，东海证券研究所整理 （3）电子特气有纯度和混配精度两个核心指标，通过气体纯化和气体合成两项生产技电子特气有纯度和混配精度两个核心指标，通过气体纯化和气体合成两项生产技术来满足要求。术来满足要求。通常电子特气的纯度要求 5N 以上，晶圆制造环节中对电子特气的纯度要求更为严格，一般在 6N 以

15、上；而混配精度是混配气体的核心参数，即精准控制不同气体的混配比额，行业内一般以 ppm（百万分之一，10-6）、ppb（十亿分之一，10-9）、ppt（万亿分之一，10-12）以及百分数来表示组分配比。随着集成电路制造工艺的迭代升级，线宽越来越窄，晶体管密度越来越高，对电子特气的纯度、稳定性等指标的要求也越来越高。图图7 高纯气体产品品质检测标高纯气体产品品质检测标准准 资料来源：沃飞科技，东海证券研究所 （4）特种气体的生产技术种类较多，相对来说合成技术与纯化技术是气体产品的纯度特种气体的生产技术种类较多，相对来说合成技术与纯化技术是气体产品的纯度与混配精度的关键技术。与混配精度的关键技术。

16、特种气体行业的主要生产技术包括气体纯化、气体合成、空气分离、气体充装、气体混配、气体检测、钢瓶处理等。其中合成技术和纯化技术两个关键技术，保证了电子特气的纯度和洁净度。36%34%24%18%3.30%刻蚀用气掺杂用气外延沉积用气光刻用气其他 图图8 电子特气关键生产技术电子特气关键生产技术 资料来源：金宏气体招股说明书，东海证券研究所 （5）根据气体的特征不同，纯化与合成技术又有多种不同种类的制作方法。根据气体的特征不同，纯化与合成技术又有多种不同种类的制作方法。如下图所示，常见的气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、吸收法、膜分离法等，气体合成技术主要分为电解法、化学法和电解化学法等。图图9

17、电子特气合成技术和纯化技术主要分类电子特气合成技术和纯化技术主要分类 资料来源：电子特气的合成与纯化技术研究进展何振红等，东海证券研究所 1.3.电子特气的电子特气的多重多重行业壁垒行业壁垒（1）电子气体电子气体从生产技术角度来看从生产技术角度来看是有着多壁垒的技术密集型行业。是有着多壁垒的技术密集型行业。特种气体具有较高的技术壁垒、营销网络与服务壁垒、客户认证壁垒、资质壁垒和人才壁垒。技术壁垒：技术壁垒：特种气体在生产过程中设计气体合成、纯化、混配、充装、检测、分离、气瓶处理等多项工艺技术，客户对纯度和精度等指标的高要求，对行业进入者形成了较高的技术壁垒。客户认证壁垒：客户认证壁垒：因为特种

18、气体的产品质量对下游产业产品质量影响巨大，集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等高端领域客户对气体供应商的选择均需经过审厂、产品认证 2 轮严格的审核认证，其中光伏能源、光纤光缆领域的审核认证周期通常为 0.5-1 年，显示面板通常为 1-2 年，集成电路领域的审核认证周期长达 2-3 年。营销网络与服务壁垒：营销网络与服务壁垒：因客户对气体种类、响应速度、服务质量的高要求，气体公司需要投入大量人力物力进行铺点建设，不断扩大营销服务网络，并随着营销服务网络的完善不断促进市场开拓与客户挖掘。资质壁垒：资质壁垒：因为工业气体属于危险化学品，资质获取作为工业气体行业生产经营的前置程序，资质审核过程

19、严格，不仅需对企业的生产环境、工艺、设备等进行多次现场评估，还要求生产人员、管理人员均需通过相应测试并取得个人资质，严格的资质审核对行业新进入者形成了较高的资质壁垒。图图10 气体行业壁垒气体行业壁垒 资料来源：华特气体招股说明书，金宏气体招股说明书，东海证券研究所 （2）电子特气电子特气的运输的运输与供气方式与供气方式也是与下游客户关系绑定的重要特征之一也是与下游客户关系绑定的重要特征之一，在晶圆厂，在晶圆厂建厂时打入客户供应链会占据较强粘性建厂时打入客户供应链会占据较强粘性。电子特气分为零售供气与现场制气两种，零售供气又分为采用瓶装供气和储槽供气两种方式。特种气体的销售存在多品种、小批量、

20、高频次的特点，因此对于特种气体，根据客户的需求多采用瓶装供气模式和储槽供气两种方式。瓶装供气模式会根据客户需求随时运送产品，因为特种气体单位价值较高，基本不受运输半径影响，客户更看重产品的质量以及配送交付的稳定性。储槽供气通过低温槽车运送至客户端，将低温液体产品储存在客户现场的储槽中，根据客户规模要求可自行气化使用，运输半径一般在 200km 左右，合同期在 3-5 年，相对于瓶装气模式更要求客户关系和配送能力。而现场制气一般是满足大规模用气的运输方式，只有规模较大的晶圆厂与电子特气企业才会建立这种周期长达 5-20 年的供气方式。现场制气又分为晶圆厂近端建设供气工厂、远程管道输送供气两种方式

21、。图图11 气体的主要销售模式气体的主要销售模式 资料来源：金宏气体招股说明书，东海证券研究所（3）TGCM 模式是针对半导体行业的一种专业化供气服务模式，对于国内气体公司而模式是针对半导体行业的一种专业化供气服务模式，对于国内气体公司而言尚处于探索阶段。言尚处于探索阶段。TGCM 全称为 Total Gas and Chemical Management（全面气体及化 学品运维管理服务），由于气体属于危险化学品，气体供应及运维服务需要较强的专业性和安全管控能力，而半导体厂商对气体质量和及时性的要求极高，因此大型半导体厂商通常将整套气体及化学品的运维管理服务外包给富有经验的专业气体公司，由气体

22、公司承担其全套气体及危险化学品的调配、检测、库存管理及设备运维管理等服务。目前半导体领域的 TGCM 服务绝大部分由世界排名前几位的大型气体公司承接，如林德集团、液化空气、空气化工、大阳日酸等，国内大部分公司目前处于起步阶段，未来还有很大成长空间。2.国产企业逐步打破国产企业逐步打破全球寡头垄断局面全球寡头垄断局面 2.1.中国电子特种中国电子特种气体需求气体需求高速增长高速增长（1）全球工业气体行业逐年稳步增长，中国全球工业气体行业逐年稳步增长，中国工业工业气体行业起步较晚，但气体行业起步较晚，但复合增速快于复合增速快于全球全球 2pct 左右左右。根据亿渡数据的统计，2017 年全球工业气

23、体市场规模为 7202 亿元，2021年增长至 9432 亿元，复合增长率为 6.97%，在工业稳定发展的背景下，预计到 2026 年市场规模将增长至 13299 亿元，2021 年到 2026 年复合增长率为 7.11%。中国工业气体行业尽管起步较晚，但在国家政策的大力推动下以及以电子特种气体为代表的半导体领域新需求增长，中国工业气体市场规模将保持高增长，预计到 2026 年中国工业气体市场规模将增长至 2842 亿元，2021 年到 2026 年复合增长率为 9.63%，未来中国工业气体市场发展空间巨大。图图12 全球以及中国工业气体市场规模（亿元，全球以及中国工业气体市场规模（亿元，%）

24、资料来源：亿渡数据，华经研究院，东海证券研究所 （2）大宗气体市场规模约占工业气体市场规模的大宗气体市场规模约占工业气体市场规模的 80%，在钢铁、石油化工等传统行业，在钢铁、石油化工等传统行业发挥重要作用发挥重要作用，很多电子特气公司，很多电子特气公司发家于大宗气体业务发家于大宗气体业务。中国大宗气体市场规模从 2017 年的 1036 亿元增长至 2021 年的 1456 亿元，年复合增长率为 8.89%。在下游钢铁、石油化工等行业需求稳定增长以及工业气体设备技术提升等供需两端的推动下，预计 2026 年中国大宗气体市场规模将达 2034 亿元。7202758679638717943210

25、23825395051260728420%2%4%6%8%10%12%14%0200040006000800040002002020212022E2023E2024E2025E2026E全球市场规模（亿元）中国市场规模（亿元）全球市场规模同比增速（右轴）中国市场规模同比增速（右轴）图图13 中国大宗气体市场规模（亿元，中国大宗气体市场规模（亿元，%）资料来源：亿渡数据，东海证券研究所 （3）中国特种气体行业发展迅速，中国特种气体行业发展迅速，其中其中 63%约为电

26、子特种气体，约为电子特种气体，下游应用主要集中在下游应用主要集中在电子半导体领域。电子半导体领域。根据亿渡数据，特种气体中电子特种气体占比约为 63%。2017 年到 2021年中国特种气体行业市场规模从 175 亿元增长至 342 亿元，年复合增长率为 18%，在电子半导体下游需求持续增长和国家政策的鼓励推动下，预计 2026 年中国特种气体行业的市场规模将增长至 808 亿元，2021 年到 2026 年复合增长率为 18.76%。图图14 2017-2026 中国特种气体市场规模（亿元，中国特种气体市场规模（亿元，%）图图15 2021 年中国特种气体市场分布（年中国特种气体市场分布（%

27、）资料来源：亿渡数据，东海证券研究所 资料来源：亿渡数据，东海证券研究所 （4）在集成电路以及相关下游行业需求增长的带动下，全球电子在集成电路以及相关下游行业需求增长的带动下，全球电子特种特种气体市场规模呈气体市场规模呈现逐年稳步增长态势。现逐年稳步增长态势。根据 TECHCET 数据，2017 年全球电子特种气体市场规模约为 36.91亿美元，2021 年增长至 45.38 亿美元，2017 年到 2021 年的 CAGR 为 5.30%，预计 2025年市场规模将超过 60 亿美元，2021 年到 2025 年年复合增长率预计达到 7.33%。8

28、5620349.85%7.91%9.45%8.33%6.80%7.52%7.30%6.80%6.16%0%2%4%6%8%10%12%0500025002002020212022E2023E2024E2025E2026E市场规模（亿元）增速（右轴）234240949658769180816.57%17.65%17.50%21.28%19.59%21.27%18.35%17.72%16.93%0%5%10%15%20%25%00500600700800900市场规模（亿元）同比增长（右轴

29、）电子特气,63%其他特种气体,37%电子特气其他特种气体 图图16 全球电子特种气体市场规模（亿美元，全球电子特种气体市场规模（亿美元，%）资料来源：TECHCET，东海证券研究所（5）中国电子特气市场规模逐年增长，预计中国电子特气市场规模逐年增长，预计 2025 年有望突破年有望突破 300 亿元亿元，四年，四年 CAGR约为约为 9.43%。根据 SEMI 数据预测，2016 年中国电子特气市场规模为 98 亿元，2022 年市场规模达到 220.8 亿元，预计 2025 年中国电子特气市场规模有望突破至 316.6 亿元，2022年到 2025 年复合增长率为 9.43%，增长率显著高

30、于全球电子气体增长率，未来成长空间大。图图17 中国电子特种气体市场规模（亿元，中国电子特种气体市场规模（亿元，%）资料来源：SEMI，东海证券研究所 2.2.国内部分产品国内部分产品逐步逐步打破国外打破国外寡头寡头垄断垄断（1）全球电子气体行业整体呈现垄断格局，林德、液化空气、大阳日酸和空气化工四全球电子气体行业整体呈现垄断格局，林德、液化空气、大阳日酸和空气化工四大国际巨头总计占据大国际巨头总计占据 91%以上的市场份额。以上的市场份额。根据观研天下数据，全球和中国电子特气市场均主要被海外公司占据。2021 年全球主要生产商以及占有率分别是，美国空气化工（25%）、德国林德集团（25%，林

31、德集团和普莱克斯合并）、法国液化空气（23%）和日本酸素（18%，原名大阳日酸），TOP4 大企业合计占据全球电子特气 91%的市场份额。同样，四大巨头在中国占据主导地位，据 TECHCET 的数据 2020 年外资在中国电子特气市场的合计市占率约 85%，据前瞻产业研究院预测，到 2025 年中国电子特气市场的国产化占比将提高到 25%。36.9139.1438.7541.8545.3850.0151.1755.7760.236.04%-1.00%8.00%8.43%10.20%2.32%8.99%8.00%-2%0%2%4%6%8%10%12%00702017年201

32、8年2019年2020年2021年2022E2023E2024E2025E全球电子特种气体市场规模（亿美元）同比增长率（右轴）98109.3121.6133.4173.6195.8220.8249280.8316.611.53%11.25%9.70%30.13%12.79%12.77%12.77%12.77%12.75%0%5%10%15%20%25%30%35%05003003502016年 2017年 2018年 2019年 2020年2021E2022E2023E2024E2025E中国电子气体市场规模（亿元）同比增长率（右轴）图图18 2021 年全球电子特气行业

33、竞争格局（年全球电子特气行业竞争格局（%）图图19 2022 年中国电子特气行业竞争格局（年中国电子特气行业竞争格局（%）资料来源：观研天下，东海证券研究所 资料来源：观研天下，东海证券研究所 （2）由于电子特种气体高达由于电子特种气体高达 100 多种类，在某些细分种类上也有一些知名的海外与国多种类，在某些细分种类上也有一些知名的海外与国内企业供应商内企业供应商。全球其他知名生产企业还有 SK Materials、关东电化、昭和电工、中船特气等，这些企业在总体规模上与林德、液化空气、大阳日酸和空气化工四大国际巨头存在差距，但在电子特气部分细分产品领域具备较强竞争力。国内部分企业专注少数几个产

34、品，不断深耕市场，也逐步走入全球市场。根据 Linx Consulting 数据，2021 年全球电子特气收入排名中，国内电子特种气体龙头企业中船特气位列第九，具备了一定的市场规模与影响力。25%25%23%18%9%德国林德集团美国空气化工法国液化空气日本大阳日酸其他24%22%22%16%16%美国空气化工德国林德集团法国液化空气日本大阳日酸其他 图图20 国内外电子特气企业情况国内外电子特气企业情况 资料来源：各公司官网，中船特气招股说明书，东海证券研究所整理 （3）将将 100 多种电子特气规模排列多种电子特气规模排列，前十大品种市场份额约为，前十大品种市场份额约为 58%，是电子特气

35、的主，是电子特气的主要组成部分要组成部分。根据 Linx Consulting 数据，在 2021 年全球电子特种气体市场中，三氟化氮市场规模排名第一，占比约 20%，六氟化钨市场规模排名第二，占比约 8%，六氟丁二烯市场规模排名第三，占比约为 7%，三者合计占比 35%，为市场空间大、发展前景好的产品，前十大电子特气市场规模合计约 25.37 亿美元，约占全球电子特气市场份额的 58%。图图21 2021 年全球市场规模年全球市场规模 TOP10 电子特气种类电子特气种类 资料来源：Linx Consulting，中船特气招股说明书，东海证券研究所 （4）在电子特气市场规模最大的在电子特气市

36、场规模最大的三氟化氮和六氟化钨产品三氟化氮和六氟化钨产品市场，我国中船特气市场，我国中船特气已已成为成为全球龙头供应商，具备一定的市场影响力全球龙头供应商，具备一定的市场影响力。2020 年中船特气的三氟化氮和六氟化钨产品分别在占据全球市场份额的 24%和 16%，实现了国产替代，在全球范围内都具备较强竞争力。图图22 2020 年三氟化氮全球市场份额（年三氟化氮全球市场份额（%）图图23 2020 年六氟化钨全球市场份额（年六氟化钨全球市场份额（%）资料来源：TECHCET，中船特气招股说明书，东海证券研究所 资料来源：TECHCET，中船特气招股说明书，东海证券研究所 2.3.我国电子特气

37、企业规模与产能我国电子特气企业规模与产能具备具备较大空间较大空间（1）国内各厂商拓展策略略有不同，国内各厂商拓展策略略有不同，产品产品整体呈现错位竞争格局。整体呈现错位竞争格局。从我国主要的上市企业数据来看，其一，我国上市企业的电子特气 2022 年收入规模均在 15 亿元以下，与海外企业存在较大差距；其二，我国上市企业的总营收结构较为复杂，多数企业经营电子特气外，还生产关联性较强的工业气体、航空材料、半导体材料、化工材料等，企业的多元化经营是行业特征决定的；其三，整体电子特气的毛利率在 27%-55%之间，相对较高，电子特气属于高价值业务板块。通过我们对部分上市公司的梳理，国内目前厂商们的主

38、打产品并不重叠，整体呈现多点开花错位竞争的格局。28%24%21%11%8%3%5%SK Materials中船特气韩国晓星德国默克日本关东电化日本三井其他20%17%17%16%12%2%16%SK Materials日本关东电化韩国厚成化工中船特气德国默克大阳日酸其他 图图24 国内上市企业情况概述（不完全统计）国内上市企业情况概述（不完全统计）资料来源：各公司公告，东海证券研究所整理（注：中船特气和凯美特气的财务数据引用 2021 年的）（2）我国我国龙头龙头企业现有产能企业现有产能布局各有所长，未来规划布局来看也少有重叠。布局各有所长，未来规划布局来看也少有重叠。从我国企业现有产能与规

39、划产能来看，各家企业的布局均由自己的特色，各家企业没有形成鲜明的企业竞争局面，这也说明我国的电子特气国产化空间巨大、电子特气种类繁多、长期空间发展良好。图图25 国内上市公司产能概况（不完全统计）国内上市公司产能概况（不完全统计）资料来源：各公司公告，东海证券研究所整理 3.政策和需求双轮驱动政策和需求双轮驱动我国我国电子特气市场发展电子特气市场发展 3.1.集成电路发展迅速集成电路发展迅速成为成为电子特气电子特气主要驱动力主要驱动力（1）电子特种气体下游应用电子特种气体下游应用广泛，广泛，集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等泛半导集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等泛半导体领域均由应用体

40、领域均由应用。在集成电路行业中，电子特气主要用于成膜、光刻、刻蚀、清洗、离子注入等环节；在面板行业中应用于成膜、清洗等环节；在光伏行业中应用于沉积、刻蚀、扩散等环节。图图26 电子特气按照行业分类电子特气按照行业分类 资料来源：中船特气招股说明书，东海证券研究所（2）全球集成电路占据电子特气的全球集成电路占据电子特气的 71%下游应用，而下游应用，而我国集成电路用电子特气占比我国集成电路用电子特气占比只只有有 42%，主要是我国集成电路产业发展落后于全球水平，主要是我国集成电路产业发展落后于全球水平。根据前瞻产业研究院数据显示，从全球来看，电子特种气体应用于集成电路行业的需求占市场总需求的 7

41、1%，应用于显示面板行业的需求占市场总需求的 18%；从我国来看，电子特种气体应用于集成电路行业的需求占市场总需求的 42%，应用于显示面板行业的需求占市场总需求的 37%。我国集成电路行业电子特种气体的需求相对较低，主要原因为我国的集成电路产业技术水平和产业规模与世界先进国家和地区还存在一定差距，而显示面板产业经过多年持续发展，我国已成为全球最大的产业基地。图图27 全球电子特气下游需求占比（全球电子特气下游需求占比（%）图图28 中国电子特气下游需求占比中国电子特气下游需求占比（%）资料来源：前瞻产业研究院，中船特气招股说明书，东海证券研究所 资料来源：前瞻产业研究院，中船特气招股说明书，

42、东海证券研究所 71%18%8%3%集成电路显示面板LED光伏42%37%13%8%集成电路显示面板光伏LED （3）我我国集成电路产业规模持续扩大，将引领电子特种气体市场进入快速发展时期。国集成电路产业规模持续扩大，将引领电子特种气体市场进入快速发展时期。根据 IC Insights 数据，我国集成电路市场需求 2020 年为 1430 亿美元，2025 年预计达到 2230 亿美元，复合增长率 9.29%，我国集成电路市场需求持续攀升。中国集成电路制造 2020 年产值为 227 亿美元，自给率为 15.87%，预计 2025 年产值将达到 432 亿美元，自给率将进一步提高到 19.37

43、%，复合增长率达到 13.73%。图图29 中国集成电路市场供需预测（亿美元）中国集成电路市场供需预测（亿美元）图图30 中国集成电路对电子气体需求市场规模预测（亿元）中国集成电路对电子气体需求市场规模预测（亿元）资料来源：IC Insights，中船特气招股说明书，东海证券研究所 资料来源：观研天下，东海证券研究所 （4）中中国晶圆厂国晶圆厂近些年不断近些年不断扩产，扩产，电子特气渗透率有望加速提升电子特气渗透率有望加速提升。根据集邦咨询数据，全球晶圆厂不断扩建，近期计划的 24 座晶圆厂分布来看，中国占据了 6 座，在全球占比第一。一方面，因内资晶圆产能增加而新增的半导体材料需求，为国产半

44、导体材料供给商提供很大的市场开拓空间；另一方面，在以美国、荷兰、日本为主的经济体不断管制中国大陆半导体产业发展背景下，自主可控势在必行，新建晶圆厂可以重塑供应链体系，国内企业有望获得更多的订单份额，加速电子特气国产渗透率。图图31 全球分地区新建晶圆厂计划全球分地区新建晶圆厂计划（座座）资料来源：集邦咨询，东海证券研究所 3.2.面板和光伏稳步增长面板和光伏稳步增长助推国产助推国产电子特气电子特气需求增长需求增长（1）我国显示面板产能占全球约六成，面板行业市场规模不断扩大将加速带动电子特我国显示面板产能占全球约六成，面板行业市场规模不断扩大将加速带动电子特气行业迅速发展。气行业迅速发展。电子特

45、气主要用于显示面板制造过程中的成膜以及刻蚀工艺，涉及硅烷、氟化物、稀有气体和氨气等产品，显示面板在全球特气下游需求中占比约为 19%，在中国特570620 6306907708309400988103 112 132 3227432050002500市场需求（亿美元）产值（亿美元）768596040608002020年 2021年 2022年2023E2024E2025E市场规模（亿元）6554401234567中国大陆中国台湾美国欧洲日韩及新加坡 气下游需求中占

46、比约为 37%。近年来全球面板产业向中国转移，我国显示面板行业形成了以京东方、TCL 科技、深天马、惠科、维信诺等重点企业领衔的产业集群，全球产能占比超过六成，是全球第一大显示面板产业集中地。根据 Forst&Sullivan 资料显示，2020 年至 2024年中国显示面板市场规模复合增长率为 6.34%，行业持续稳定发展，市场规模扩大将带进一步带动电子特种气体市场稳健发展。图图32 中国显示面板行业市场规模（百万平米，中国显示面板行业市场规模（百万平米，%）资料来源：Forst&Sullivan，中船特气招股说明书，东海证券研究所 （2）光伏行业快速发展，电子特气市场光伏行业快速发展，电子

47、特气市场需求需求也也将进一步扩大。将进一步扩大。电子特气在太阳能电池片的生产过程中主要被应用于扩散、刻蚀、沉积等工序，涉及氟化物、硅烷、氨气等产品。根据集邦咨询的数据，2022 年全球新增光伏装机量为 228.5GW，预计 2023 年全球新增光伏装机量为 350.6GW，同比增长 53.40%，我国 2022 年的新增光伏装机量为 87.41GW，预计 2023 年新增光伏装机量为 148.9GW，同比增长 70.35%，增速快于全球。光伏新装机量快速增长也将驱动电子特种气体需求不断增长。图图33 全球光伏新增装机容量及增速（全球光伏新增装机容量及增速（GW，%）图图34 中国光伏新增装机容

48、量及增速推算（中国光伏新增装机容量及增速推算（GW，%）资料来源：集邦咨询，东海证券研究所 资料来源：中电联，集邦咨询，东海证券研究所 30.643.656.271.484.391.1100.2106.6112116.542.48%28.90%27.05%18.07%8.07%9.99%6.39%5.07%4.02%0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%02040608015年 2016年 2017年 2018年 2019年 2020年 2021年 2022E2023E2024E中国显示面板行业出货面积（百万平米）同比增速（右轴）28.10%0.90%1

49、1.90%25.90%18.00%38.70%53.40%0%10%20%30%40%50%60%0500300350400全球新增装机量（GW）同比增速（右轴）68.43%-15.28%-41.39%81.75%13.96%59.13%70.35%-100%-50%0%50%100%050100150200中国新增光伏装机容量（GW）同比增速（右轴）3.3.国家出台多项产业扶持政策，加速推动行业发展国家出台多项产业扶持政策，加速推动行业发展 国家出台多项电子特气产业国家出台多项电子特气产业扶持政策，加速推动特种气体行业发展。扶持政策，加速推动特种气体行业发展。2016

50、年以来，国家发改委、科技部、工信部等连续出台了 国家重点支持的高新技术领域目录（2016）、战略性新兴产业重点产品和服务指导目录 新材料产业发展指南 重点新材料首批次产业应用示范指导目录（2017 年版）等多部战略新兴产业相关政策，将特种气体列入新材料产业，大力支持和推动特种气体产业的发展。2022 年中又发布了 “十四五”原材料工业发展规划以及原材料工业“三品”实施法案，在国家对“卡脖子”环节的持续出台产业政策大力扶持下，将加速推动特种气体行业发展。图图35 我国行业相关政策我国行业相关政策 资料来源：公司公告，各政府部门官网，东海证券研究所 4.公司介绍公司介绍 4.1.中船特气中船特气（

51、1）中船中船(邯郸邯郸)派瑞特种气体股份有限公司位于河北省邯郸市，是派瑞特种气体股份有限公司位于河北省邯郸市，是国内领先国内领先、世界知名世界知名的的电子特种气体和三氟甲磺酸系列产品供应商电子特种气体和三氟甲磺酸系列产品供应商。2000 年，七一八所成立特气工程部，开始从事电子特种气体的研发和产业化，是国内最早从事电子特种气体研发和产业化的经营主体。2002 年，特气工程部成功研发出纯度高达 99.9%的三氟化氮气体，填补了国内空白，打破了国外技术垄断，标志着技术从 0 到 1 的跨越。自此，特气工程部揭开了电子特种气体国产化替代的序幕。2007 年，特气工程部首创以三氟化氮为原材料的合成技术

52、，成功研发了电子级六氟化钨，此后，特气工程部攻克大批量生产关键工艺，具备了规模化的生产能力。2008 年和 2010 年，七一八所特气工程部分别建成了年产 300 吨高纯三氟化氮和年产 30 吨高纯六氟化钨生产线，标志着规模化成果转化正式落地，开启电子特种气体国产化新征程。经过多年发展和积累，公司目前已经具备电子特种气体及含氟新材料等 50 余种产品的生产能力，现已成为电子特种气体收入规模最大的国内企业，位列全球第九名，是国内唯一进入前十的企业，国际影响力逐渐提升。图图36 中船特气发展历程中船特气发展历程 资料来源：公司公告，公司官网，东海证券研究所 （2）下游客户需求增加叠加大客户深度绑定

53、，营业收入逐年稳步增长。下游客户需求增加叠加大客户深度绑定，营业收入逐年稳步增长。2022 年公司营业收入 19.56 亿元，较 2021 年同比增长了 12.90%，主要系下游客户需求增长显著、大客户深度绑定基础稳固以及在国家产业政策的大力推动下导致。公司 2022 年净利润为 3.83 亿元，较 2021 年小幅增长 7.87%，尽管受到 2022 上半年原材料涨价导致增速有所放缓，但增长势头良好。图图37 公司营业收入变化情况（亿元，公司营业收入变化情况（亿元，%）图图38 公司归母净利润变化情况（亿元，公司归母净利润变化情况（亿元，%）资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 资料

54、来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 （3）公司毛利率呈小幅下降趋势，但整体维持在较高水平。公司毛利率呈小幅下降趋势，但整体维持在较高水平。报告期内，公司毛利率分别为 43.01%、41.64%、40.35%、37.86%、36.86%，主要系公司主要产品三氟化氮、六氟化钨的市场竞争更加激烈，公司为了提升市占率主动调低产品销售价格导致。三氟甲硫酸系列产品的毛利率从 2019 年的 38.75%下降至 2022 年年中的 33.21%。图图39 公司销售毛利率和净利率变化情况（公司销售毛利率和净利率变化情况（%）图图40 公司主要产品营收以及毛利变化情况（亿元，公司主要产品营收以及毛利变化情

55、况（亿元，%）资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所（4）公司期间费用率呈下降趋势，高度重视技术研发投入逐年增加。公司期间费用率呈下降趋势，高度重视技术研发投入逐年增加。公司高度重视技术创新，研发投入不断增长，从 2019 年的 0.52 亿元扩大至 2022 年的 1.57 亿元，年复合增长率为 44.53%，研发投入占比也从 2019 年的 5.02%提升至 8.03%。费用端方面，公司期间费用率整体呈现下降趋势，从 2019 年的 20.83%下降到 2022 年的 17.59%，其中财务费用率转正为负，现金流良好；销售费用率从 201

56、9 年的 9.74%下降至 2022 年的 6.34%，主要系公司营业收入增长较快导致。17.69%42%12.90%0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%059年2020年2021年2022年营业收入（亿元）同比增长率（右轴）21.45%49.46%7.87%0%10%20%30%40%50%60%0123452019年2020年2021年2022年归母净利润（亿元）同比增长率（右轴）18.87%19.47%20.49%19.59%21.25%43.01%41.64%40.35%37.86%36.86%0%10%20%30%40%50%2019年202

57、0年2021年2022年2023Q1净利率（%）毛利率（%）42.89%40.98%40.33%40.63%38.75%37.66%35.58%33.21%0%10%20%30%40%50%051015202019年2020年2021年2022H电子特种气体（亿元）三氟甲磺酸系列（亿元）电子特种气体毛利率（右轴）三氟甲磺酸产品毛利率（右轴）图图41 公司费用变化情况（公司费用变化情况（%）图图42 公司研发投入情况（亿元，公司研发投入情况（亿元，%）资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所（5）公司公司主要主要关注要素：关注要素：1）预计年内年

58、产 3250 吨三氟化氮项目将开始投产，缓解公司产能不足的瓶颈，进一步巩固龙头地位；2）年产 500 吨双（三氟甲磺酸）亚胺锂项目将有助于公司在锂电池新能源领域的布局，有望成为公司新的增长点；3）高纯电子气体项目和高纯氯化氢项目将丰富公司产品结构有效满足客户多样化需求，未来市占率有望进一步扩大，营收与净利润进一步增长。4.2.华特气体华特气体（1）华特气体成立于华特气体成立于 1999 年，公司的主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核年，公司的主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务。心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务。公司成为国内首家打

59、破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、Ar/F/Ne 混合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气等产品进口制约的气体公司。其中，Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/Ne 等 4 种混合气于 2017 年通过全球最大的光刻机供应商ASML 公司的产品认证。目前，公司是我国唯一通过 ASML 公司认证的气体公司，亦是全球上述 4 个产品全部通过其认证的四家气体公司之一，并实现了近 20 个产品的进口替代，是中国特种气体国产化的先行者。图图43 华特气体发展历程华特气体发展历程 资料来源：公司公告，公司官网

60、，东海证券研究所（2）特气业务开拓发展迅速，公司业绩保持高增长水平。特气业务开拓发展迅速，公司业绩保持高增长水平。2022 年营业收入 18.03 亿元，较2021年同比增长了33.84%，2022年归母净利润2.06亿元，较2021年同比增长59.48%，公司业绩增长较快，主要系下游应用领域市场规模持续扩大带来的需求上升，拥有较高毛利率的特种气体产品销售量升高以及客户端的持续开拓导致。20.83%19.18%18.35%17.59%-5%0%5%10%15%20%25%2019年2020年2021年2022年销售费用率（%）管理费用率（%）研发费用率（%）财务费用率（%）期间费用率（%）5.

61、02%7.18%7.16%8.03%9.22%0%1%2%3%4%5%6%7%8%9%10%00.20.40.60.811.21.41.61.82019年2020年2021年2022年2023Q1研发投入总额（亿元）研发投入总额占营收比（右轴）图图44 公司营业收入变化情况（亿元，公司营业收入变化情况（亿元，%）图图45 公司归母净利润变化情况（亿元，公司归母净利润变化情况（亿元，%）资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所（3）公司销售净利率保持上升态势，期间费用率呈下降趋势。公司销售净利率保持上升态势，期间费用率呈下降趋势。2019 到 2

62、020 年年公司整体毛利率从 35.38%降低至 25.98%，主要系公司下游客户对特种气体的需求种类多，产品验证周期长，公司为了快速打入供应链，采取了积极的市场策略。2021 年到 2022 年毛利率提升了 2.69pct，总体呈现出企稳回升的态势。公司净利率总体呈现逐年稳步上升的态势，受益于公司有效的成本管控，期间费用率也从2019年的25.12%下降到了2022年的12.70%，总体呈现下降趋势。图图46 公司销售毛利率和净利率变化情况（公司销售毛利率和净利率变化情况（%）图图47 公司费用变化情况（公司费用变化情况（%）资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 资料来源：同花顺 i

63、Find，东海证券研究所 （4）公司以特种气体作为核心收入来源，研发投入水平逐年提升。公司以特种气体作为核心收入来源，研发投入水平逐年提升。2022 年公司特种气体业务实现营收 13.22 亿元，占总营收的 73%，毛利率达 30.89%，气体设备工程和工业气体方面表现稳定，分别实现营收 2.34 亿元和 2.2 亿元。公司多年来持续保证高水平的研发投入，2022年研发投入总额达0.11亿元，未来公司将以高技术壁垒的特种气体为发展核心，随着技术和人才的不断积累，有望形成较强竞争力。3.90%3.23%18.44%34.78%33.84%2.50%0%5%10%15%20%25%30%35%40

64、%051015202018年 2019年 2020年 2021年 2022年2023Q1营业收入（亿元）同比增长率（右轴）39.86%7%46.67%21.46%59.48%2.16%0%10%20%30%40%50%60%70%00.511.522.52018年 2019年 2020年 2021年 2022年2023Q1归母净利润（亿元）同比增长率（右轴）32.91%35.38%25.98%24.19%26.88%8.30%8.60%10.65%9.59%11.46%0%5%10%15%20%25%30%35%40%2018年2019年2020年2021年2022年毛利率（%）净利率（%）2

65、2.98%25.12%15.20%14.11%12.70%-5%0%5%10%15%20%25%30%2018年2019年2020年2021年2022年销售费用率（%）管理费用率（%）研发费用率（%）财务费用率（%）期间费用率（%）图图48 公司分行业营收情况（亿元）公司分行业营收情况（亿元）图图49 公司研发投入情况（亿元，公司研发投入情况（亿元，%）资料来源：Wind，东海证券研究所 资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所（5）公司公司主要主要关注关注要素：要素：1）未来有望在 2-3 年陆续投产年产 15 吨乙硅烷项目、年产1764 吨半导体材料建设项目、锗烷扩建项目、江苏如东电子

66、化学品项目以及四川自贡西南总部建设项目，预计将为公司丰富多种特气产品；2）公司和邦普合作项目预计 2023 年内投产，公司普通工业气体业务远期毛利率有望进一步提升；3）延伸布局合成气，预计未来高毛利占比有望进一步提升；4）海外布局有望改善销售结构提升毛利率。4.3.金宏气体金宏气体（1）金宏气体成立于金宏气体成立于 1999 年，是一家专业从事气体研发、生产、销售和服务的环保集年，是一家专业从事气体研发、生产、销售和服务的环保集约型综合气体供应商。约型综合气体供应商。公司的产品线较广，既生产超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、干冰、硅烷、其他超高纯气体、混合气等特种气体，又生产应用于半导体行业的电子

67、大宗气体和应用于其他工业领域的大宗气体及天然气，能够为客户提供大宗气体、特种气体和天然气三大类 100 多个气体品种。图图50 金宏气体发展历程金宏气体发展历程 资料来源：公司公告，公司官网，东海证券研究所（2）公司业绩呈现持续增长态势，预计公司业绩呈现持续增长态势，预计 2023 年稳步上升。年稳步上升。公司的营业收入从 2021 年的 17.41 亿元增长至 2022 年的 19.67 亿元，同比增长 12.97%，主要系公司积极把握市场机遇，加大市场开发力度，产品竞争力不断提升，收入规模持续增长所致。2022 年公司归母净利润 2.29 亿元，同比增长 37.14%，主要系原材料价格回落

68、，营业成本相对降低，公司对部分产品提价，从而提振利润水平。4.485.487.9713.222.272.692.342.192.142.662.2051015202019年2020年2021年2022年特种气体气体设备与工程普通工业气体其他业务3.02%3.04%3.50%3.33%2.96%2.60%2.70%2.80%2.90%3.00%3.10%3.20%3.30%3.40%3.50%3.60%00.10.20.30.40.50.60.72019年2020年2021年2022年2023Q1研发投入总额（亿元）研发投入比例（右轴）图图51 公司营业收入变化情况（亿元，公司营业收入变化情况（

69、亿元，%）图图52 公司归母净利润变化情况（亿元，公司归母净利润变化情况（亿元，%）资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 （3）特气占比逐步特气占比逐步提升与大宗气体业务持平，毛利率受益于高毛利产品投产放量得以提升与大宗气体业务持平，毛利率受益于高毛利产品投产放量得以修复。修复。2022 年公司特种气体实现营收 7.44 亿元占比为 37.84%，大宗气体业务实现营收 7.92亿元占比约为 40.28%，两者基本持平；毛利率方面，整体毛利率在 2020 年有所下降，主要系公司执行新收入准则调整导致，2021 年气源价格抬升导致营业成本升高，

70、毛利率下降；2022 年原材料价格回落，加上特气新品种投产放量，毛利率上升至 35.97%。图图53 公司销售毛利率和净利率变化情况（公司销售毛利率和净利率变化情况（%）图图54 公司分行业营收情况（亿元）公司分行业营收情况（亿元）资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 资料来源：Wind，东海证券研究所 （4）公司积极扩张费用率略有上升，研发投入持续稳步增长。公司积极扩张费用率略有上升，研发投入持续稳步增长。公司 2020 年到 2022 年，期间费用率上升了 3.74pct，主要系销售人员增加、职工薪酬增加、汇兑损益影响、研发投入加大和研发人员薪酬提升等因素导致。公司重视研发投入，2

71、022 年研发费用为 8465.80万元，研发投入占营业收入的 4.30%，截至 2022 年 12 月 31 日公司共取得各项专利 287项，其中发明专利 61 项。8.49%7.13%40.05%12.97%16.25%0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%059年2020年2021年2022年 2023年Q1营业收入（亿元）同比增长率（右轴）27.43%11.43%-15.34%37.14%55.46%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%00.511.522.52019年2020年2021年2022年2023年Q1归母净利润（亿

72、元）同比增长率（右轴）48.59%36.47%29.96%35.97%38.11%15.78%16.26%9.57%12.23%12.34%0%10%20%30%40%50%60%2019年2020年2021年2022年2023Q1毛利率（%）净利率（%）4.184.654.826.997.923.844.64.486.597.44058年2019年2020年2021年2022年大宗气体特种气体清洁能源其他业务 图图55 公司各项费用情况（公司各项费用情况（%）图图56 公司研发投入情况（亿元，公司研发投入情况（亿元，%）资料来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 资料

73、来源：同花顺 iFind，东海证券研究所 （5）公司关注要素：公司关注要素：1）公司眉山超纯氨、氢气、嘉兴二氧化碳项目预计今年投产释放部分产能；2）高纯二氧化碳和硅烷等产品持续导入；3）公司与北方集成（12 亿元）、芯粤能（10 亿元）、广东光大、厦门天马（7.3 亿元）等签订电子大宗供气合同，北方集成和芯粤能订单已开始供气；公司与 SK 海力士、亨通光电、乾照光电、聚灿光电、三星电子、中电熊猫等签订 TGM 服务合同，提升用户粘性；4）公司与嘉兴氢能签订全面合作协议，与中车国创轨道科技有限公司签署氢能推广应用合作协议，公司持续布局氢能业务，总计规划了四个氢能工厂，预计公司未来将持续受益。29.20%19.39%20.05%23.13%23.55%-5%0%5%10%15%20%25%30%35%2019年2020年2021年2022年2023年Q1销售费用率（%）管理费用率（%）研发费用率（%）财务费用率（%）期间费用率（%）3.44%3.73%4.01%4.30%4.71%0%1%2%3%4%5%00.10.20.30.40.50.60.70.80.92019年2020年2021年2022年2023Q1研发投入总额（亿元）占营收比（右轴）