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1、 1|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 公司深度研究公司深度研究|精测电子精测电子 国内半导体检测设备领军企业,乘势而上扬帆起航 精测电子(300567.SZ)首次覆盖 核心结论核心结论 公司评级公司评级 增持增持 股票代码 300567.SZ 前次评级-评级变动 首次 当前价格 87.62 近一年股价走势近一年股价走势 分析师分析师 贺茂飞贺茂飞 S0800521110001 相关研究相关研究 半导体前道量检测设备在控制芯片良率中发挥核心作用,产品技术壁垒高、国半导体前道量检测设备在控制芯片良率中发挥核心作用,产品技术壁垒高、国产化率极低,产化率极低,KLA
2、 等国外厂商长期垄断中国市场,等国外厂商长期垄断中国市场,2021 年国产化率仅年国产化率仅 2.4%,国产替代前景广阔。国产替代前景广阔。前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成部分,其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积、光刻、刻蚀设备。据 SEMI,前道量检测设备约占半导体设备市场规模的 13%。随着国内晶圆厂产能规模不断扩大,中国大陆前道量检测设备市场规模迅速增长。根据 VLSI Research,中国大陆已成为全球最大的量检测市场,2017-2021 年市场规模年复合增长率为 31.74%,预计 2023 年中国大陆半导体前道量检测设备市场规模有望达到 33.7 亿美元。精测电子为
3、国内半导体检测设备领军企业,产品覆盖度不断提升,在手订单充精测电子为国内半导体检测设备领军企业,产品覆盖度不断提升,在手订单充足,随着国足,随着国内晶圆厂扩产推进,叠加国产化需求提升,公司半导体量检测设备内晶圆厂扩产推进,叠加国产化需求提升,公司半导体量检测设备业务有望保持高速增长。业务有望保持高速增长。精测目前产品涵盖膜厚量测、关键尺寸量测、硅片应力量测、电子束缺陷检测、半导体硅片应力测量设备、明场光学缺陷检测设备和自动检测设备(ATE)等,其中明场设备已完成首台套交付。客户方面,公司与中芯国际、长江存储、合肥长鑫、华虹集团、广州粤芯等厂商建立了良好合作关系,今年以来公司半导体订单表现亮眼,
4、截至 2023 年三季报披露日,公司半导体领域在手订单为 14.89 亿元,占公司在手订单总额的比例提升到 46%,订单饱满。平板平板显示检测显示检测是公司传统优势领域是公司传统优势领域。目前平板显示行业从 LCD 向 OLED 及Mini/Micro-LED 发展的趋势确立,随着京东方等国内面板厂对高世代线投入持续增加,平板显示检测行业迎来新一轮发展机遇。新能源新能源锂电池锂电池设备业务,设备业务,公司公司与与战略客户战略客户中创新航中创新航深度合作深度合作,近几年近几年收入规模发展迅速收入规模发展迅速。投资建议投资建议:预计 2023-2025 公司营收分别为 23.88/32.31/42
5、.96 亿元,归母净利润为 1.58/2.51/4.19 亿元。公司半导体在手订单饱满,随着国内晶圆厂扩产推进,叠加国产化需求提升,公司半导体前道量检测设备业务有望保持高速增长,首次覆盖,给予“增持”评级。风险提示风险提示:客户集中风险,下游客户资本支出波动风险,客户验证风险 核心数据核心数据 2021 2022 2023E 2024E 2025E 营业收入(百万元)2,409 2,731 2,388 3,231 4,296 增长率 16.0%13.4%-12.6%35.3%33.0%归母净利润(百万元)192 272 158 251 419 增长率-20.9%41.4%-41.7%58.2%
6、67.2%每股收益(EPS)0.69 0.98 0.57 0.90 1.51 市盈率(P/E)126.7 89.7 153.9 97.3 58.2 市净率(P/B)7.4 7.6 6.8 6.4 5.7 数据来源:公司财务报表,西部证券研发中心 -23%-2%19%40%61%82%103%--12精测电子仪器仪表创业板指证券研究报告证券研究报告 2023 年 12 月 29 日 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 2|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 索引 内容目录 投资要点.5 关键假设
7、.5 区别于市场的观点.5 股价上涨催化剂.5 估值与目标价.5 精测电子核心指标概览.6 一、立足平板显示检测领域,开拓半导体与新能源市场.7 1.1 立足平板显示检测领域,形成平板显示+半导体+新能源三大行业布局.7 1.2 产品:产品矩阵丰富,覆盖头部客户构筑竞争优势.9 1.3 财务:半导体、新能源业务营收占比提升,高研发投入提升产品竞争力.11 二、半导体:国内半导体检测设备领军企业,快速成长.14 2.1 前道量检测:设备国产化率极低.14 2.1.1 前道量检测可分为量测与检测两大环节,主要通过光学检测原理实现质量控制.14 2.1.2 市场规模:2023 年中国大陆市场规模有望
8、达到 33.7 亿美元.16 2.1.3 竞争格局:前道量检测设备国产化率极低,市场被国外厂商垄断.18 2.2 后道测试:半导体制造的重要环节,本土企业市占率有望持续提升.19 2.3 公司:国产替代快速推进,半导体业务成长加速.23 三、平板显示检测:公司传统优势领域,新型显示领域有望迎来新一轮发展机遇.25 3.1 检测贯穿面板制造三大制程.25 3.2 市场空间:检测设备约占面板产线设备投资额 20%,24 年面板厂资本开支有望恢复.26 3.3 竞争格局:Array 制程市场由国外厂商垄断,Cell/Module 制程国产化逐步取得突破29 四、新能源:与中创新航深度合作,近几年业务
9、规模发展迅速.31 五、盈利预测与投资建议.33 5.1 盈利预测.33 5.2 相对估值.34 六、风险提示.35 图表目录 图 1:精测电子核心指标概览图.6 图 2:精测电子主要发展历程.7 图 3:公司股权结构(截至 2023 年 9 月 30 日).8 nWaXuZiVwV9UhZfWwUpNpNtRaQaO9PnPnNtRnRlOmMrQjMmMtPbRqRqQwMrRpPvPoNtR 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 3|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 4:公司半导体前道和后道设备布局.10 图 5:公司主要客户.1
10、1 图 6:公司营业收入与增速.11 图 7:公司各业务营收占比.11 图 8:公司归母净利润与增速.12 图 9:公司扣非归母净利润与增速.12 图 10:公司毛利率与净利率情况.12 图 11:公司各业务毛利率.12 图 12:公司期间费用率情况.13 图 13:公司研发费用与增速.13 图 14:质量控制是半导体制造工艺的重要组成部分.14 图 15:前道量检测设备约占半导体设备市场规模的 13%.17 图 16:2016-2022E 全球半导体量检测设备市场规模.17 图 17:2017-2023E 中国大陆半导体量检测设备市场规模.17 图 18:2016-2020 前道量检测设备国
11、产化率.18 图 19:2020 年中国半导体量检测设备市场格局.18 图 20:测试机、分选机与探针台的应用.20 图 21:晶圆测试系统.20 图 22:晶圆老化可以识别由缺陷引起的早期失效.21 图 23:全球半导体测试设备市场规模.21 图 24:中国大陆半导体测试设备市场规模.21 图 25:2021 年全球半导体测试设备市场结构.22 图 26:2020 年全球半导体测试机市场结构.22 图 27:2021 年全球半导体测试设备竞争格局.22 图 28:2021 年中国半导体测试机竞争格局.22 图 29:公司半导体板块收入快速增长.24 图 30:LCD 和 OLED 工艺流程.
12、25 图 31:不同制程所对应的面板显示检测设备.25 图 32:全球 AMOLED 产能及区域占比.26 图 33:Micro-LED 等新一代显示技术应用前景广阔.27 图 34:中国大陆新型显示器件产线设备市场规模.27 图 35:全球面板显示设备资本开支(十亿美元).28 图 36:中国大陆新型显示器件检测设备市场规模(亿元).29 图 37:2021 年中国大陆 Array 制程 AMOLED 检测设备市场份额.30 图 38:2021 年中国大陆 Cell/Module 制程 AMOLED 检测设备市场份额.30 图 39:锂电池生产工艺与所对应设备.31 图 40:2020 年中
13、国锂电设备价值占比.32 图 41:2018-2023 年中国锂电设备市场规模.32 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 4|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 42:公司新能源业务收入及增速.32 表 1:公司主要子公司布局.8 表 2:公司平板显示检测设备.9 表 3:公司在新能源领域主要产品.10 表 4:前道量检测主要工序介绍.14 表 5:光学检测技术在半导体质量控制领域得到了广泛应用.15 表 6:前道制程和先进封装的质量控制设备分为检测设备与量测设备.16 表 7:2016-2022 年中国大陆半导体量检测设备市场具体设备
14、市场规模测算.17 表 8:中国半导体量检测市场主要参与者简介.18 表 9:国内外前道量检测设备厂商产品覆盖情况.19 表 10:后道测试设备国产化率与主要厂商.22 表 11:公司在半导体领域产品进展.23 表 12:公司半导体在手订单不断增长.24 表 13:公司 2023 年与单一客户签订多份半导体前道量检测设备合同.24 表 14:Array、Cell 和 Module 制程三大制程所对应检测情况.25 表 15:主要新型显示器件性能对比.26 表 16:部分检测设备需求量与产能对应情况.28 表 17:新型显示器件检测设备行业主要企业简介.30 表 18:公司收入预测.33 表 1
15、9:可比公司估值.34 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 5|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 投资要点投资要点 关键假设关键假设 半导体:半导体:膜厚系列产品、OCD 设备、电子束设备已取得国内多家客户的批量订单,半导体硅片应力测量设备也取得客户重复订单;明场光学缺陷检测设备已完成首台套交付,且已取得更先进制程订单;有图形暗场缺陷检测设备等其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。后道测试设备国内本土企业近年来成长迅速,国产化空间广阔。随着国内晶圆厂扩产推进,叠加国产化需求,公司半导体前道量检测设备业务有望保持高速增长。截至
16、 2023 年三季报披露日,公司半导体领域在手订单为 14.89 亿元,订单饱满。预计 2023-2025 年公司半导体业务营收分别为 3.40/6.61/13.27 亿元,对应的收入增速为85.94%/94.62%/100.87%,毛利率为 55.00%/54.00%/53.00%。平板平板显示显示:公司在 Module 制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平,Cell 制程检测系统的收入规模快速增长,Array 制程领域公司已开始涉足。京东方等国内面板厂对高世代线投入增加,中尺寸 OLED 开始加速渗透,平板显示检测行业迎来新一轮发展机遇。此外,公司在 AR/VR/MR 等头显设备配套检
17、测的布局也在持续推进。2023 年由于全球经济波动、终端消费电子产品市场景气度等影响,平板显示资本开支下滑,2024 年随着主要面板厂商扩产推进,面板制造设备市场有望迎来回升。预计 2023-2025 年公司平板显示业务营收分别为 16.39/20.77/23.81 亿元,对应的收入增速为-24.42%/26.70%/14.63%,毛利率为 47.50%/47.00%/46.00%。新能源新能源:公司化成分容自动测试系统核心部件电源柜已实现量产并批量销售,切叠一体机已获得中创新航认证通过。在行业周期的影响下,当前电池厂扩产节奏有所放缓,但公司在锂电设备领域与中创新航深度合作,此外公司还在积极开
18、拓与国内外知名电池厂商的合作关系。预计 2023-2025 年公司新能源业务营收分别为 3.69/4.50/5.40 亿元,对应的收入增速为 7.57%/21.95%/20.00%,毛利率为 27.00%/26.00%/25.00%。区别于市场的观点区别于市场的观点 市场认为市场认为:公司半导体业务营收目前占比较小,KLA 等国外厂商凭借经营规模大、产品覆盖广等优势长期垄断中国市场,国产半导体量检测设备厂商突破具有较大不确定性。我们认为我们认为:公司半导体领域在手订单充足,当前国产替代已成为行业共识,国产化率提升趋势明确,公司产品覆盖度也在不断提升,未来半导体前道量检测设备有望成为公司业绩新的
19、增长引擎。股价上涨催化剂股价上涨催化剂 半导体领域前道量检测设备国产化加速与相关设备放量;显示检测领域面板厂客户资本开始回升。估值与目标价估值与目标价 预计 2023-2025 公司营收分别为 23.88/32.31/42.96 亿元,归母净利润为 1.58/2.51/4.19亿元。公司半导体在手订单饱满,随着国内晶圆厂扩产推进,叠加国产化需求提升,公司半导体前道量检测设备业务有望保持高速增长,首次覆盖,给予“增持”评级。公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 6|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 精测电子精测电子核心指标概览核心指标概览 图
20、 1:精测电子核心指标概览图 资料来源:wind,精测电子 2023 年半年报,精测电子可转债募集说明书,西部证券研发中心 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 7|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 一、一、立足平板立足平板显示检测领域显示检测领域,开拓半导体与新能源市场,开拓半导体与新能源市场 1.1 立足平板显示检测领域,形成立足平板显示检测领域,形成平板平板显示显示+半导体半导体+新能源三大行业布局新能源三大行业布局 显示检测领域领跑者,布局半导体与新能源显示检测领域领跑者,布局半导体与新能源市场市场。公司成立于 2006 年 4 月
21、并于 2016 年11 月于深交所创业板上市,主要从事显示、半导体及新能源三大领域检测系统的研发、生产与销售。公司自成立以来深耕平板显示检测系统领域,并于 2018 年获评“国家制造业单项冠军示范企业”,成为国家认可的细分市场龙头企业。同年公司正式进入半导体和新能源领域,致力于实现泛半导体检测领域的国产替代:在半导体检测领域,目前公司已经成为国内半导体检测设备领域领军企业之一,已基本形成半导体检测前道、后道全领域的布局,研发的膜厚 OCD 量测设备、电子束量测设备基本填补了国内空白,产品已进入广州粤芯、长江存储、中芯国际等知名半导体厂商;在新能源锂电池设备领域,公司与核心战略客户中创新航在锂电
22、设备领域开展深度合作。图 2:精测电子主要发展历程 资料来源:精测电子官网,西部证券研发中心 公司股权结构稳定,公司股权结构稳定,平板显示、半导体、新能源市场平板显示、半导体、新能源市场布局布局有序推进有序推进。截至 2023 年 9 月 30日,公司董事长兼总经理彭骞直接持有公司 25.21%的股份,是公司的实际控制人与控股股东。公司目前已基本完成半导体、显示、新能源三大行业的产业布局:武汉精立、苏州精濑、武汉精毅通等开展平板显示检测业务;上海精测、上海精积微、深圳精积微、北京精测、武汉精鸿等开展半导体业务;武汉精能与常州精测则聚焦新能源市场。公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 202
23、3 年年 12 月月 29 日日 8|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 3:公司股权结构(截至 2023 年 9 月 30 日)资料来源:wind,西部证券研发中心 表 1:公司主要子公司布局 业务业务 控股控股/持股持股子公子公司司 成立时间成立时间 公司持股公司持股 简介简介 平板显平板显示示 武汉精立 2013 年 直接持股 100%主要从事新型显示面板检测研发、生产及技术服务等,重点攻克人工智能测试应用、OLED 测试、Mini LED 和 Micro LED 测试等技术难题,产品逐渐打破了韩国、日本在新型显示检测领域的技术垄断,已与京东方、华星光电、天马、维信诺、和辉光
24、电等知名企业展开合作 武汉精毅通 2018 年 直接持股 63%JIG 治具生产、销售 苏州精濑 2014 年 直接持股 100%产品涵盖宏观检查机、微观检查机、框胶检查机、边缘检查机、Cell-Gap 检查机等,覆盖平板显示制程中的 Array 段、Cell 段及 Module 段等各制程,是目前国内具有最多种类面板检测成套设备的企业之一。半导体半导体 上海精测 2018 年 直接持股 67.14%聚焦半导体前道检测设备领域 上海精积微 2021 年 通过上海精测间接持股27.22%2022 年上海精积微获得 2 台明场检测设备订单 深圳精积微 2023 年 直接持股 30%,上海精积微持股
25、 50%2023 年 8 月深圳精积微与客户签订半导体前道检测设备订单 北京精测 2020 年 直接持股 100%半导体器件专用设备制造 武汉精鸿 2018 年 直接持股 65%,通过韩国 IT&T 间接持股 6.30%聚焦半导体自动测试设备(ATE)领域,主要产品是存储芯片测试设备,老化(Burn-In)产品线在国内一线客户实现批量重复订单,CP/FT(晶片探测/最终测试)测试机产品取得相应订单并完成交付 新能源新能源 武汉精能 2018 年 直接持股 54.55%为新能源产业提供测试系统成套方案 常州精测 2021 年 直接持股 87.50%,通过上海精测间接持股 8.39%核心产品包括切
26、叠一体机、化成分容系统等;常州精测参与中创新航港股发行,进一步推进双方在锂电设备领域开展深度合作 资料来源:精测电子可转债募集说明书,精测电子微信公众号,精测电子官网,西部证券研发中心 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 9|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 1.2 产品:产品矩阵丰富,产品:产品矩阵丰富,覆盖覆盖头部头部客户客户构筑竞争构筑竞争优势优势 公司主要从事显示、半导体及新能源检测系统的研发、生产与销售。公司主要从事显示、半导体及新能源检测系统的研发、生产与销售。显示领域显示领域:公司是行业内少数几家能够提供平板显示三大制程检测
27、系统的企业,目前主营产品涵盖 LCD、OLED、Mini-LED、Micro-OLED、Micro-LED 等各类显示器件的检测设备,包括电测及调试系统设备、前制程 AOI 设备、自动化装备集成产品、微显示缺陷检测、AR/VR 制程设备、AI 检测软件与系统以及智能和精密光学仪器等。表 2:公司平板显示检测设备 产品类型产品类型 具体产品具体产品 产品用途产品用途 信号检测系信号检测系统统 LCD 模组信号检测系统、LCD CELL 信号检测系统、Touch panel 检测系统、LED 点灯检测设备、EDP 信号转换盒等 信号检测系统可提供多种信号接口并支持通道配置,通过灵活简易的 UI 控
28、制,为显示模组提供信号、图像、高精度电源,驱动模组在被测环境工作,便于快速检查出被测品缺陷。可针对显示面板、显示模组的显示效果和电气参数等进行多功能检测,适用于显示面板和模组的研发、生产、信赖性试验等环节的全面测试需求 AOI 光学检光学检测系统测系统 2.5D CG 素玻璃外观检测系统、中大尺寸 OC API 检测系统、LCD 在线 AOI 检测系统、大尺寸 LCD Demura 设备、宏观检查机、微观检查机等 通过单个或多个高清 CCD 摄像头自动扫描被测品采集图像,运用系统软件进行图形采集识别等处理,自动检查并显示出被测品缺陷,并修复 Mura 类缺陷。可针对模组、面板、背光、OLED
29、显示屏的光学、图像、外观等进行多功能自动检测,适用于被测品的产线测试需求 OLED 调测调测系统系统 OLED 模组检测系统、OLED CELL 图形信号检测系统、OLED 光学检测系统、OLED gamma 调测系统、OLED Mura 补偿系统、OLED 寿命检测系统、OLED IVL 检测系统等 主机采用可编程逻辑阵列完成信号生成、电源管理等功能,运用系统软件可灵活配置多种信号接口及通道,以灵活简易的 UI 控制 OLED 调测系统为被测品提供视频信号、微安级超高精度电源,便于快速检查出被测品缺陷,配备 AOI 模块及算法可实现 OLED 光学自动检测。可针对OLED CELL、模组、触
30、控效果、显示效果、电气特性进行多功能检测,适用于产品研发、生产、信赖性试验等完整测试需求 平板显示自平板显示自动化设备动化设备 框胶检查机、膜厚测量机、Open cell 线体、PCBI 检查机、清洗机、自动包装机等 通过单个和多个机械模组、运动单元、控制系统以及影像系统实现面板的清洁、吸附、移载、旋转、精密定位、自动压接、点亮、检测、打标、扫码、量测、老化测试、自动包装、自动堆栈等功能,可用于平板显示生产全制程 资料来源:精测电子 2022 年报,西部证券研发中心 半导体领域:半导体领域:目前公司已基本形成在半导体检测前道、后道全领域的布局,主营产品分为前道和后道测试设备,包括膜厚量测系统、
31、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、半导体硅片应力测量设备、明场光学缺陷检测设备和自动检测设备(ATE)等。公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 10|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 4:公司半导体前道和后道设备布局 资料来源:精测电子 2023 年半年报、2022 年报,西部证券研发中心 新能源领域新能源领域:公司主要产品为锂电池生产及检测设备,主要用于锂电池电芯装配和检测环节等,包括锂电池化成分容系统、切叠一体机、锂电池视觉检测系统和 BMS 检测系统等。表 3:公司在新能源领域主要产品 主要产品主要产品 产品简介产品简介
32、公司业务进展公司业务进展 锂电池化成分容系统 软包化成分容自动线应用于电池生产的重要环节,实现电池化成前(静置货架)、化成后(静置)及二封后分容到自动拆盘工艺段之间生产环节之间的物料转运及过渡 公司化成分容自动测试系统核心部件电源柜已实现量产并批量销售 切叠一体机 该产品为锂电池中段核心工艺设备,将正极片、隔膜、负极片按照顺序叠成电芯 公司切叠一体机已获得客户中创新航认证通过 BMS 检测系统 BMS 测试系统是针对新能源汽车及电池储能系统中的动力电池管理系统(BMS)开发的一个可灵活配置的测试平台,它适用于电池管理系统(BMS)从研发、设计到生产各阶段的测试验证 支持 BMS 中电池采样模块
33、、电流采样模块、绝缘监测模块、主/从控制器模块等产品的测试,也支持各产品组成系统的联调测试,在生产中支持 FCT、EOL、老化和HASS/HASA 应力筛选测试 资料来源:精测电子官网,精测电子 2023 年半年报,精测电子可转债募集说明书,西部证券研发中心 公司客户资源公司客户资源优质优质。在显示领域在显示领域,公司自设立以来一直致力于平板显示检测设备的研发、生产和销售,积累了丰富的行业客户资源和品牌知名度,客户已全面覆盖 LCD、OLED 主要厂商如京东方、惠科股份、华星光电、天马微、Apple、维信诺、群创光电、中国电子 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月
34、月 29 日日 11|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 和明基友达等;在半导体领域在半导体领域,公司与中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、广州粤芯等众多客户建立了良好的合作关系;在新能源领域在新能源领域,公司与中创新航在锂电设备领域开展深度合作。图 5:公司主要客户 资料来源:各公司官网,精测电子可转债募集说明书,精测电子 2022 年报,西部证券研发中心 1.3 财务:财务:半导体、新能源业务营收半导体、新能源业务营收占比占比提升提升,高研发投入提升产品竞争力高研发投入提升产品竞争力 收入端:公司收入端:公司 2018-2022 年营业收入稳步年营业收入稳步增长增长,半导体、新
35、能源业务营收半导体、新能源业务营收占比占比提升提升。公司的营业收入由 2018 年的 13.90 亿元增长至 2022 年的 27.31 亿元,CAGR 为 18.40%。2023 年前三季度公司实现营业收入 15.45 亿元,同比下降 15.13%,营业收入下滑主要受全球经济影响,终端消费需求复苏缓慢,显示行业仍未走出周期性底部。分业务看,公司的半导体与新能源业务营收占比呈不断提升趋势,2023 年前三季度公司显示板块实现销售收入 10.52 亿元,同比减少 27.87%;半导体板块实现销售收入 2.09 亿元,同比增长86.10%;新能源板块实现销售收入 2.53 亿元,同比增长 13.5
36、5%。图 6:公司营业收入与增速 图 7:公司各业务营收占比 资料来源:wind,西部证券研发中心 资料来源:wind,西部证券研发中心 利润端:利润端:2023 年前三季度公司实现归母净利润-0.13 亿元,同比下降 108.77%;实现扣非归母净利润-0.81 亿元,同比下降 196.49%。净利润同比有较大的幅度的下滑主要系显示面板行业仍处于底部,叠加公司持续加大研发投入所致。13.90 19.51 20.77 24.09 27.31 15.45-20%-10%0%10%20%30%40%50%05002120222023Q1-Q3营业收入(亿
37、元)YoY0%20%40%60%80%100%200212022其他业务新能源行业半导体行业显示行业 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 12|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 8:公司归母净利润与增速 图 9:公司扣非归母净利润与增速 资料来源:wind,西部证券研发中心 资料来源:wind,西部证券研发中心 近 年 来 公 司 毛 利 率 保 持近 年 来 公 司 毛 利 率 保 持 相 对相 对 稳 定稳 定。2019-2022 年 公 司 综 合 毛 利 率 分 别 为47.32%/47.39%/43.3
38、4%/44.39%,2023 年前三季度公司毛利率为 45.11%,同比提高0.8pct,毛利率相对较高的半导体业务快速增长拉高了综合毛利率。分业务看,2022 年公司显示/半导体/新能源毛利率分别为 45.46%/51.14%/31.37%。图 10:公司毛利率与净利率情况 图 11:公司各业务毛利率 资料来源:wind,西部证券研发中心 资料来源:wind,西部证券研发中心 费用端:费用端:坚持研发驱动,坚持研发驱动,高研发投入不断提升竞争力高研发投入不断提升竞争力。根据公司投资者关系纪要,23Q1-Q3公司研发投入 4.51 亿元,同比增长 6373.96 万元;23H1 公司研发投入
39、2.93 亿元,同比增长 22.78%,占营业收入 26.41%。其中,23H1 显示检测领域研发投入 1.45 亿元,同比增长 6.22%;半导体检测领域研发投入 1.02 亿元,同比增长 26.10%;新能源领域研发投入 4.589.86 万元,同比增长 117.53%。2.892.72.431.922.72-0.13-120%-100%-80%-60%-40%-20%0%20%40%60%-0.500.511.522.533.52002120222023Q1-Q3归母净利润(亿元)YoY2.652.432.371.161.21-0.81-250%-200%-150%
40、-100%-50%0%50%-1-0.500.511.522.532002120222023Q1-Q3扣非归母净利润(亿元)YoY-10%0%10%20%30%40%50%60%2002120222023Q1-Q3销售毛利率销售净利率0%10%20%30%40%50%60%200212022AOI光学检测系统半导体OLED检测系统平板显示自动化设备新能源信号检测系统 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 13|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 12:公司期间费用率情况 图
41、 13:公司研发费用与增速 资料来源:wind,西部证券研发中心 资料来源:wind,西部证券研发中心 0%5%10%15%20%25%30%2002120222023Q1-Q3销售费用率管理费用率研发费用率财务费用率0%10%20%30%40%50%60%020202022研发费用(亿元)YoY 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 14|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 二、二、半导体:半导体:国内半导体检测设备领军企业,快速成长国内半导体检测设备领军企业,快速成长 半导体质量控制是控制芯片良
42、率的关键,可分为前道量检测和后道测试两个环节半导体质量控制是控制芯片良率的关键,可分为前道量检测和后道测试两个环节。半导体制造工艺主要包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、质量控制、清洗、CMP、离子注入、氧化等,其中质量控制作为半导体制造工艺的重要组成部分,是控制芯片良率的关键。质量控制按生产环节的不同可进一步分为前道量检测和后道测试。前道量检测前道量检测:主要用于晶圆加工环节,是一种物理性、功能性的测试,用以检测每一步工艺后产品的加工参数是否达到设计的要求,并查看晶圆表面上是否存在影响良率的缺陷等,确保将加工产线的良率控制在规定的水平之上。后道测试后道测试:用于晶圆加工前的设计验证环节和晶圆加工后的封
43、测环节,主要包括测试机、分选机、探针台等。其中,测试机用于检测芯片功能和性能,探针台与分选机实现被测芯片与测试机功能模块的连接。后道测试设备用于分析测试具体失效原因,并改进设计及生产工艺,以提高良率及产品质量,属于电性能的检测。图 14:质量控制是半导体制造工艺的重要组成部分 资料来源:KLA 官网,西部证券研发中心 2.1 前道量检测:前道量检测:设备国产化率极低设备国产化率极低 2.1.1 前道量检测可分为量测与检测两大环节,前道量检测可分为量测与检测两大环节,主要通过光学检测原理实现质量控制主要通过光学检测原理实现质量控制 应用于前道制程和先进封装的质量控制可分为检测和量测两大环节应用于
44、前道制程和先进封装的质量控制可分为检测和量测两大环节。检测(检测(Inspection)指在晶圆表面上或电路结构中,检测其是否出现异质情况,如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷,主要包括光罩掩模检测、无图形晶圆检测、图形化晶圆检测、缺陷复查检测等工序;量测(量测(Metrology)指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述,如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测等,主要包括关键尺寸量测、薄膜厚度量测与套刻对准量测等。表 4:前道量检测主要工序介绍 工序工序 描述描述 检测类检测类 光罩、掩模检测光罩、掩模检测 由于光罩上的
45、缺陷或图案位置错误会被复制到产品晶圆上的芯片中,零缺陷光罩(也称为 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 15|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 工序工序 描述描述 光掩模或掩模)是实现芯片制造高良率的关键因素之一 无图形晶圆检测无图形晶圆检测 无图形化检测指在开始生产之前,裸晶圆在晶圆制造商处获得认证,半导体晶圆厂收到后再次认证的检测过程,设备制造商使用光学检测系统检查晶圆和掩模板有无颗粒和其他类型的缺陷,并确定这些缺陷在晶圆上的位置 图形化晶圆检测图形化晶圆检测 模纹晶圆检测系统将晶圆上的测试芯片图像与相邻芯片(或已知无缺陷的金模片)的
46、图像进行比较。图形化晶圆检测需要精确且可重复的运动控制,测试系统的晶圆级和光学元件同时移动 缺陷复查检测缺陷复查检测 使用扫描电子显微镜检查晶圆上的缺陷。使用缺陷复查将半导体晶圆缺陷检测系统检测到的缺陷放大为高放大倍率图像,以便对该图像进行检阅和分类。在缺陷检测系统中,将缺陷图像与相邻的模子进行比较,由于图像差异而检测缺陷 量测类量测类 关键尺寸量测关键尺寸量测 半导体制程中最小线宽一般称之为关键尺寸,其变化是半导体制造工艺中的关键。随着关键尺寸越来越小,容错率也越小,因此必须要尽可能的量测所有产品的线宽,可见关键尺寸的量测重要性越发关键 薄膜厚度量测薄膜厚度量测 在整个制造工艺中硅片表面有多
47、种不同类型的薄膜,包含金属绝缘体、多晶硅、氮化硅等材质。在晶圆厂生产可靠性较高的芯片时,薄膜的质量成为提高成品率的关键,其中薄膜的厚度、反射率、密度等都须要进行精准的量测 套刻对准量测套刻对准量测 套刻对准量测应用在光刻工艺后,主要是用于量测光刻机、掩模版和硅片的对准能力。量测系统检查覆盖物的准确性,(叠加工具)测量用于检查传输到晶圆上的第一层和第二层图案的覆盖精度 资料来源:沙利文研究,威达智招股说明书,西部证券研发中心 技术路线上,检测和量测原理包括光学检测技术、电子束检测技术和技术路线上,检测和量测原理包括光学检测技术、电子束检测技术和 X 光量测技术等,光量测技术等,当前半导体质量控制
48、主要依赖光学检测技术。当前半导体质量控制主要依赖光学检测技术。光学检测技术是指基于光学原理,通过对光信号进行计算分析以获得晶圆表面的检测结果,具有速度快、精度高、无损伤的特点。与电子束检测技术相比,光学检测技术在精度相同的条件下,检测速度更具有优势;与 X 光量测技术相比,光学检测技术的适用范围更广,而 X 光量测技术适用场景相对较窄。因此半导体质量控制领域采用光学检测技术设备占多数,根据 VLSI Research 和 QY Research的报告,2020 年全球半导体检测和量测设备市场中,应用光学检测技术、电子束检测技术及 X 光量测技术的设备市场份额占比分别为 75.2%、18.7%及
49、 2.2%。光学检测技术又可以分为明场(Bright Filed,BF)与暗场(Dark Filed,DF)检测,其中暗场直接检测散射光,而明场则聚焦于反射光束的强度损失。表 5:光学检测技术在半导体质量控制领域得到了广泛应用 光学检测技术光学检测技术 分类分类 可分为明场(Bright Filed,BF)与暗场(Dark Filed,DF)检测技术 技术原理技术原理 基于光学原理,通过对光信号进行计算分析以获得检测结果,具有速度快、精度高,无损伤的特点 优势优势 精度高,速度快,能够满足全部先进制程的检测需求,符合规模化生产的速度要求,并且能够满足其他技术所不能实现的功能,如三维形貌测量、光
50、刻套刻测量和多层膜厚测量等应用 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 16|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 光学检测技术光学检测技术 未来发展未来发展(1)先进制程方面,光学检测技术因其特点,目前广泛应用于晶圆制造环节,可应用于 28nm 及以下的全部先进制程。(2)未来通过提高光学分辨率,并结合图像信号处理算法,进一步提高检测精度 资料来源:中科飞测招股说明书,MKS 官网,西部证券研发中心 前道前道量量检检测设备品类众多,贯穿晶圆制造全过程测设备品类众多,贯穿晶圆制造全过程。前道制程与先进封装量检测设备品类众多,其中检测设备包括无图形
51、晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、掩膜检测设备等;量测设备包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备(晶圆介质薄膜量测设备)、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。表 6:前道制程和先进封装的质量控制设备分为检测设备与量测设备 主要产品主要产品 前道制程前道制程 先进封装先进封装 薄膜沉积 光刻 掩膜 刻蚀 离子注入 CMP 清洗 光刻 刻蚀 电镀 镀合 检检测测设设备备 掩膜版缺陷检测设备-无图形晶圆缺陷检测设备 -图形晶圆缺陷检测设备-纳米图形晶圆缺陷检测设备-电子束缺陷检测设备-电子束缺陷复查设备-量量测测设设备备 关键尺寸量测设备-电子束关键尺寸量测设备-套刻精度量测设
52、备-晶圆介质薄膜量测设备 -X 光量测设备 -掩膜版关键尺寸量测设备-三维形貌量测设备-晶圆金属薄膜量测设备 -合计 4 8 2 7 6 7 4 5 5 5 4 资料来源:VLSI Research,中国集成电路检测和测试产业技术创新路线图,中科飞测招股说明书问询回复函,西部证券研发中心 2.1.2 市场规模:市场规模:2023年年中国大陆中国大陆市场规模市场规模有望达到有望达到33.7亿美元亿美元 前道量检测设备约占半导体设备市场规模的前道量检测设备约占半导体设备市场规模的 13%。前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成部分,其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积设备、光刻、刻蚀设备。据
53、SEMI 数据统计,前道量检测设备约占半导体设备市场规模的 13%。细分细分设备占比方面设备占比方面,根据 VLSI Research,2020 年半导体检测设备占比为 62.6%,量测设备占比 33.5%;纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩膜版缺陷检测设备与关键尺寸量测设备销售额占据前三,占比分别为 24.7%/11.3%/10.2%。公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 17|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 15:前道量检测设备约占半导体设备市场规模的 13%资料来源:SEMI,VLSI Research,卓海科技招股说明书,中科飞测招
54、股说明书,西部证券研发中心 晶圆厂扩产带动半导体前道量检测设备市场规模扩张晶圆厂扩产带动半导体前道量检测设备市场规模扩张,2023 年年中国大陆中国大陆市场规模市场规模有望达有望达到到 33.7 亿美元。亿美元。根据 VLSI Research 数据,2022 年全球半导体量检测市场规模有望达到92.1 亿美元。国内方面,在国内晶圆厂持续扩产的带动下,中国半导体量检测设备市场稳步增长。根据中科飞测招股说明书,以中芯天津T3集成电路12寸成熟制程晶圆产线为例,月产 1 万片晶圆产线需配置约 50 台质量控制设备,国内晶圆代工厂扩产有望带动前道量检测设备需求增长。根据 VLSI Research
55、数据,中国大陆已成为全球最大的量检测市场,市场规模由 2017 年的 8.4 亿美元上涨至 2021 年 25.3 亿美元,年复合增长率为 31.74%;预计 2023 年中国大陆半导体前道量检测设备市场规模有望达到 33.7 亿美元。图 16:2016-2022E 全球半导体量检测设备市场规模 图 17:2017-2023E 中国大陆半导体量检测设备市场规模 资料来源:VLSI Research,中商产业研究院,西部证券研发中心 资料来源:VLSI Research,中商产业研究院,西部证券研发中心 表 7:2016-2022 年中国大陆半导体量检测设备市场具体设备市场规模测算 2017 2
56、018 2019 2020 2021 2022E 中国大陆前道量检测设备市场规模(亿美元)8.4 12.5 16.9 21.0 25.3 29.5 检 测 设 掩膜版缺陷检测设备(11.3%)0.95 1.41 1.91 2.37 2.86 3.33 无图形晶圆缺陷检测设备(9.7%)0.81 1.21 1.64 2.04 2.45 2.86 图形晶圆缺陷检测设备(6.3%)0.53 0.79 1.06 1.32 1.59 1.86 47.656.166.263.776.584.492.1-5%0%5%10%15%20%25%007080902018
57、20022E市场规模(亿美元)YoY8.412.516.92125.329.533.70%10%20%30%40%50%60%055402002020212022E 2023E中国大陆前道量检测设备市场规模(亿美元)YoY 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 18|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 备 纳米图形晶圆缺陷检测设备(24.7%)2.07 3.09 4.17 5.19 6.25 7.29 电子束缺陷检测设备(5.7%)0.48 0.71 0.96 1.20 1.4
58、4 1.68 电子束缺陷复查设备(4.9%)0.41 0.61 0.83 1.03 1.24 1.45 量 测 设 备 关键尺寸量测设备(10.2%)0.86 1.28 1.72 2.14 2.58 3.01 电子束关键尺寸量测设备(8.1%)0.68 1.01 1.37 1.70 2.05 2.39 套刻精度量测设备(7.3%)0.61 0.91 1.23 1.53 1.85 2.15 晶圆介质薄膜量测设备(3.0%)0.25 0.38 0.51 0.63 0.76 0.89 X 光量测设备(2.2%)0.18 0.28 0.37 0.46 0.56 0.65 掩膜版关键尺寸量测设备(1.3
59、%)0.11 0.16 0.22 0.27 0.33 0.38 三维形貌量测设备(0.9%)0.08 0.11 0.15 0.19 0.23 0.27 晶圆金属薄膜量测设备(0.5%)0.04 0.06 0.08 0.11 0.13 0.15 其他设备 其他(3.9%)0.33 0.49 0.66 0.82 0.99 1.15 资料来源:VLSI Research,中商产业研究院,中科飞测招股说明书,西部证券研发中心 2.1.3 竞争格局:前道量检测设备国产化率极低,竞争格局:前道量检测设备国产化率极低,市场被国外厂商垄断市场被国外厂商垄断 半导体前道半导体前道量量检测设备检测设备 2021
60、年国产化率仅年国产化率仅 2%左右左右,市场被国外厂商高度垄断市场被国外厂商高度垄断。由于我国半导体产业起步相对较晚,目前仍处于发展初期,前道量检测设备的国产化率较低,国产替代空间广阔。根据沙利文数据,2020 年前道量检测设备国产化率仅为 2%;根据中国电子专用设备工业协会数据,2021 年我国前道量检测设备国产率仅为 2.4%。竞争格局方竞争格局方面面,目前中国半导体量检测设备市场中,科磊、应用材料、日立等垄断全球市场的国外企业占据主导地位,科磊一家独大。根据 VLSI Research,2020 年科磊半导体在中国半导体检测和量测市场的市占率达 54.8%,科磊、应用材料、日立前三家合计
61、占比超过 70%,呈现高度集中的竞争格局。图 18:2016-2020 前道量检测设备国产化率 图 19:2020 年中国半导体量检测设备市场格局 资料来源:中国电子专用设备工业协会,沙利文,卓海科技招股说明书,西部证券研发中心 资料来源:VLSI Research,QY Research,中科飞测招股说明书,西部证券研发中心 表 8:中国半导体量检测市场主要参与者简介 公司公司 简介简介 科磊半导体科磊半导体 科磊半导体科磊半导体于 1997 年由 KLA Instruments 和 Tencor Instruments 两家公司合并成立,总部位于美国硅谷。该公司聚焦于检测设备的研发、生产和
62、销售,其产品线涵盖了质量控制全系列设备其产品线涵盖了质量控制全系列设备。应用材料应用材料 应用材料应用材料成立于 1967 年,总部位于美国硅谷。该公司主要提供刻蚀设备、离子注入机、化学气相沉积设备(CVD)、物理气相沉积设备(PVD)、化学机械抛光设备(CMP)、晶圆检测和测量设备晶圆检测和测量设备等各类半导体设备。0.66%0.71%1.04%1.65%2.00%0.0%0.5%1.0%1.5%2.0%2.5%200192020前道量检测设备国产率54.80%9.00%7.10%4.30%2.90%1.90%0.50%19.50%科磊半导体应用材料日立雷泰光学阿斯麦康
63、特科技迪恩士其他 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 19|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 公司公司 简介简介 创新科技创新科技 创新科技创新科技由 Rudolph Technologies,Inc.和 Nanometrics Incorporated 于 2019 年合并成立,该公司主要产品与服务公司主要产品与服务涵盖关键尺寸量测设备、薄膜膜厚量测设备、三维形貌量测设备、缺陷检测设备涵盖关键尺寸量测设备、薄膜膜厚量测设备、三维形貌量测设备、缺陷检测设备,以及半导体制程控制软件等产品。日立日立 日立日立成立于 1910 年,是一家涉及电
64、力、能源、产业、流通、水、城市建设、金融、医疗健康等领域的全球 500 强企业。在半导体设备领域,日立是全球主要前道量检测设备供应商之一日立是全球主要前道量检测设备供应商之一。新星测量仪器新星测量仪器 新星测量仪器新星测量仪器成立于 1993 年,总部位于以色列雷霍沃特。公司主要产品包括关键尺寸测量、薄膜膜厚测量、材料公司主要产品包括关键尺寸测量、薄膜膜厚测量、材料性能测量等性能测量等,通过综合应用 X 射线、光学技术、软件建模等技术,为半导体制造企业提供专业的过程控制解决方案。康特科技康特科技 康特科技康特科技成立于 1987 年,总部位于以色列米格达勒埃梅克。该公司是半导体行业高端检测和量
65、测设备的制造商,其产品应用于前道、先进封装等领域,为众多行业内领先的全球 IDM、OSAT 和代工厂提供服务。帕克公司帕克公司 帕克公司帕克公司成立于 1988 年,总部位于韩国水原。该公司主要致力于纳米领域的形貌、力学量测和半导体先进制程领纳米领域的形貌、力学量测和半导体先进制程领域的检测域的检测,原子力显微镜(AFM)可以满足纳米级电学特性表征的要求,并可提供全自动晶圆缺陷检测和识别服务。上海睿励上海睿励 上海睿励上海睿励成立于 2005 年,总部位于中国上海。该公司致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产,产产品主要为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备,以及硅片厚度及翘曲测量设备
66、等品主要为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备,以及硅片厚度及翘曲测量设备等。中科飞测中科飞测 中科飞测中科飞测成立于 2014 年 12 月,专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售,产品主要包括产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等。精测精测电子电子 精测电子子公司上海精测上海精测成立于 2018 年,总部位于中国上海。该公司主要聚焦半导体前道检测设备领域,以椭圆偏振技术为核心开发了适用于半导体工业应用的膜厚
67、测量以及光学关键尺寸量测系统的产品膜厚测量以及光学关键尺寸量测系统的产品 资料来源:中科飞测招股说明书,卓海科技招股说明书,西部证券研发中心 表 9:国内外前道量检测设备厂商产品覆盖情况 主要产品主要产品 科磊半导体科磊半导体 应用材料应用材料 创新科技创新科技 新星测量仪器新星测量仪器 康特科技康特科技 帕克公司帕克公司 上海睿励上海睿励 中科飞测中科飞测 精测电子精测电子 检检测测设设备备 掩膜版缺陷检测设备 无图形晶圆缺陷检测设备 图形晶圆缺陷检测设备 纳米图形晶圆缺陷检测设备 电子束缺陷检测设备 电子束缺陷复查设备 量量测测设设备备 关键尺寸量测设备 电子束关键尺寸量测设备 套刻精度量
68、测设备 晶圆介质薄膜量测设备 X 光量测设备 掩膜版关键尺寸量测设备 三维形貌量测设备 晶圆金属薄膜量测设备 合计 11 4 6 2 1 1 3 6 6 资料来源:中科飞测招股说明书,精测电子 2023 年半年报,西部证券研发中心 2.2 后道测试:后道测试:半导体制造的重要环节半导体制造的重要环节,本土企业市占率有望,本土企业市占率有望持续持续提升提升 晶圆测试是半导体制造的重要环节,晶圆测试是半导体制造的重要环节,对应对应设备主要包括探针台、设备主要包括探针台、ATE 测试机测试机、分选机、分选机等等。晶圆后道测试主要测试晶圆的电性能和功能,通过测试晶圆的电参数检查晶圆上晶粒的有效性。以封
69、测为界,检验分为晶圆检测(CP、Circuit Probing)和成品检测(FT、Final Test)。公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 20|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 设备方面,后道测试设备主要包括探针台、ATE 测试机、分选机等。在晶圆检测环节,测试机需要和探针台配合使用;在成品检测环节,测试机需要和分选机配合使用。探针台(探针台(Prober):主要负责输送定位任务,使晶圆与探头成功接触完成测试,实现晶圆的自动上下片、寻中心、对准及定位,能够按照设置步骤使晶圆移动,从而使探针卡上的探针对准硅晶圆的相应位置,根据不同的功能
70、划分为高温探针台、低温探针台、RF 探针台、LCD 探针台等;ATE 测试机测试机:通过计算机自动化测试系统的自动控制,自动完成半导体的测试,主要测试内容包括功能测试、直流与交流参数测试等。根据下游厂商的需求,测试机分为模拟/混合模式测试机、SoC 测试机、存储测试机等。分选机分选机:分选机和探针台是将芯片的引脚与测试机的功能模块连接起来并实现批量自动化测试的专用设备。图 20:测试机、分选机与探针台的应用 图 21:晶圆测试系统 资料来源:金海通招股说明书,西部证券研发中心 资料来源:海力士官网,西部证券研发中心 老化老化设备设备:晶圆测试中的晶圆测试中的“老化”可以提前发现产品的早期失效,
71、分为晶圆老化与老化测“老化”可以提前发现产品的早期失效,分为晶圆老化与老化测试试。老化(Burn in)是在晶圆产品上施加温度、电压等外界刺激,剔除可能发生早期失效的产品的过程。在产品生命周期中的不良率曲线中,老化可以识别由缺陷引起的早期失效。这一工序既可在晶圆测试中进行,也可在封装测试阶段进行,其中在晶圆测试中的“老化”称为晶圆老化(Wafer Burn in),封装后实施的“老化”被称为老化测试(Test During Burn In,TDBI)。公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 21|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 22:晶
72、圆老化可以识别由缺陷引起的早期失效 资料来源:海力士官网,西部证券研发中心 2022 年中国大陆半导体测试设备市场规模年中国大陆半导体测试设备市场规模约约 19.78 亿美元亿美元。全球市场方面全球市场方面,根据 SEMI数据,受宏观经济和半导体产业周期影响,2023 年全球半导体测试设备市场销售额将下降 16%至 63 亿美元,预计 2024 年测试设备将增长 13.9%。国内市场方面,根据矽电股份公司公告中援引的 SEMI 数据,2022 年中国大陆半导体测试设备市场规模为 19.78 亿美元。图 23:全球半导体测试设备市场规模 图 24:中国大陆半导体测试设备市场规模 资料来源:SEM
73、I,西部证券研发中心 资料来源:SEMI,矽电股份公司公告,西部证券研发中心 细分市场方面,细分市场方面,测试机占半导体测试设备测试机占半导体测试设备市场市场的的 60%以上以上,其中其中 2022 年存储测试机市场年存储测试机市场规模约规模约 10 亿美元亿美元。根据 SEMI,2021 年全球半导体测试设备中测试机、分选机、探针台市场份额分别约为 63%、17%和 15%,其中全球测试机市场中 SoC 测试机、存储测试机、模拟混合测试机、RF 测试机分别占比 60%、21%、15%、4%,推算 2022 年全球存储测试机市场规模约 10 亿美元。6.017.83 7.52 6.32 7.2
74、0-20%-10%0%10%20%30%40%020202120222023F2024F全球半导体测试设备市场规模(单位:十亿美元)YoY-20%-10%0%10%20%30%40%50%05820022中国大陆半导体测试设备市场规模(亿美元)YoY 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 22|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 25:2021 年全球半导体测试设备市场结构 图 26:2020 年全球半导体测试机市场结构 资料来源:SEMI,华经产业研究院,西部证券研发中心
75、 资料来源:SEMI,华经产业研究院,西部证券研发中心 竞争格局竞争格局:泰瑞达、爱德万两家垄断泰瑞达、爱德万两家垄断,国内国内本土本土企业企业近年来成长迅速近年来成长迅速,国产化空间广阔国产化空间广阔。目前,中国集成电路测试专用设备市场主要被国外企业占据,根据华经产业研究院数据,2021 年国内半导体测试设备市场中泰瑞达、爱德万与科林等国际巨头占据主要市场份额,CR3 的占比达 84%,市场呈现高度集中的格局。近年来,国内本土厂商逐步实现突破,市场份额持续提升,半导体测试设备国产化需求广阔。根据 MIR DATABANK,2021 年测试机、分选机与探针台的国产化率分别为 15%、21%、9
76、%,预计 2025 年国产化率有望提升至 25%、35%、20%。图 27:2021 年全球半导体测试设备竞争格局 图 28:2021 年中国半导体测试机竞争格局 资料来源:SEMI,华经产业研究院,西部证券研发中心 资料来源:SEMI,华经产业研究院,西部证券研发中心 表 10:后道测试设备国产化率与主要厂商 设备类型设备类型 国产化率国产化率 外资厂商外资厂商 国产厂商国产厂商 2017 2021 2025E 测试机 5%15%25%爱德万、泰瑞达、科休 长川科技、华峰测控、联动科技、精测电子 分选机 10%21%35%爱德万、科休 长川科技、金海通 探针台 4%9%20%东京电子、东京精
77、密 深圳矽电 资料来源:MIR DATABANK,西部证券研发中心 63.10%17.40%15.20%4.30%测试机分选机探针台其他60%21%15%4%SoC测试机存储测试机模拟混合测试机RF测试机51%33%11%3%2%泰瑞达爱德万科休华峰测控其他39%37%8%8%5%3%泰瑞达爱德万科休华峰测控长川科技其他 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 23|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 2.3 公司:公司:国产替代国产替代快速推进快速推进,半导体半导体业务业务成长成长加速加速 在半导体领域,公司自主研发的明场检测设备等多种半导体
78、前道量检测设备打破国外厂商的长期垄断,助力半导体前道量检测设备国产替代。相比国外厂商相比国外厂商,公司在半导体领域,公司在半导体领域的的竞争优势主要竞争优势主要体现在:体现在:产品产品覆盖度不断提升覆盖度不断提升:公司目前已基本形成在半导体检测前道、后道全领域布局,膜厚系列产品、OCD 设备、电子束设备已经取得批量订单,半导体硅片应力测量设备也取得客户重复订单;明场光学缺陷检测设备已完成首台套交付,且已取得更先进制程订单;有图形暗场缺陷检测设备等其余储备的产品目前正处于研发。交期交期更短更短:目前设备交付周期普遍在 6 个月以上,国外广商的交付周期一般长达 12个月以上。本地化本地化服务服务优
79、势优势:在半导体检测领域,相比国际知名厂商,公司设计研发、生产、销售及售后技术团队均位于国内,公司生产基地位于上海、武汉,具备规模化生产的净化间及配套生产人员,专属的服务团队通过提供及时的驻厂技术服务支持能够更迅速地响应下游客户需求。价格价格优势优势:与国外竞争对手提供的高昂设备相比,在保证性能一致的基础上,公司产品较低的人工成本和加工成本可保证集成电路检测及量测设备的定价比国外对手低30%左右。表 11:公司在半导体领域产品进展 2018 年年 2019 年年 2020 年年 2021 年年 2022 年年 23 前三季度前三季度 膜厚膜厚 产品开发 小批量订单 国内一线客户批量重复订单 国
80、内多家客户批量订单,并取得先进制程订单 OCD 产品开发 取得订单并交付 获得多家一线客户验证通过,取得部分订单 国内多家客户批量订单,并取得先进制程订单 电子束电子束 首台交付国内客户 取得国内一线客户批量订单 国内多家客户批量订单,并取得先进制程订单 硅片应力硅片应力 取得客户订单并完成交付 取得客户重复订单 明场光学缺陷检测设备明场光学缺陷检测设备 取得突破性订单,并完成首台交付 取得更先进制程订单 老化产品老化产品 小批量订单 取得国内一线客户批量重复订单 CP/FT 产品产品 送样 取得订单并完成交付,批量订单争取中 资料来源:精测电子 2018-2022 年报、2023 年半年报、
81、2023 年三季报,西部证券研发中心 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 24|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 半导体领域半导体领域销售收入销售收入、订单快速、订单快速增长增长。目前公司核心产品已覆盖 2xnm 及以上制程,膜厚产品、OCD 设备以及电子束缺陷复查设备已取得先进制程订单。截至 2023 年三季报披露日(2023 年 10 月底),公司半导体领域在手订单为 14.89 亿元,占公司在手订单总额的比例提升到 46%。随着研发投入进入收获期,公司半导体收入也快速增长,2023 年前三季度公司在半导体板块实现收入 2.09 亿元
82、,同比增长 86.10%。表 12:公司半导体在手订单不断增长 2023 年年 4 月月 23 日日 2023 年年 8 月月 28 日日 2023 年年 10 月月 24 日日 半导体领域在手订单半导体领域在手订单(亿元)(亿元)8.91 13.65 14.89 占比 31.9%43.6%46.4%在手订单总计(亿元)27.97 31.30 32.07 资料来源:精测电子 2022 年报、2023 年半年报、2023 年三季报,西部证券研发中心 表 13:公司 2023 年与单一客户签订多份半导体前道量检测设备合同 公告日公告日 签订公司签订公司 合同标的合同标的 合同金额合同金额(亿元)(
83、亿元)2023.8.12 深圳精积微 半导体前道检测设备 1.73 2023.4.14 上海精测 半导体前道量测、检测设备 1.16 2023.3.5-2023.10.8期间 上海精测及其子公司 半导体前道量检测设备 3.08 资料来源:精测电子关于签订日常经营性重大合同的公告,西部证券研发中心(2023 年 3 月 5 日至 2023 年 10 月 8 日期间与同一客户签订合同金额累计为 3.08 亿元,其中包括两次披露的重大合同金额合计 2.89 亿元)图 29:公司半导体板块收入快速增长 资料来源:wind,精测电子 2023 年三季报,西部证券研发中心 0.05 0.65 1.36 1
84、.83 2.09 110.54%34.12%86.10%0%20%40%60%80%100%120%00.511.522.52002223Q1-Q3半导体领域销售收入(亿元)同比 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 25|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 三、三、平板平板显示显示检测:检测:公司传统优势领域公司传统优势领域,新型显示,新型显示领域领域有有望迎来新一轮发展机遇望迎来新一轮发展机遇 3.1 检测贯穿检测贯穿面板制造面板制造三大制程三大制程 检测是半导体显示器件生产中保证良率的关键环节,检测是半导体显示器件
85、生产中保证良率的关键环节,贯穿贯穿 Array、Cell、Module 三大制三大制程程。平板显示检测是平板显示器件生产各制程中的必备环节,主要在 LCD、OLED 等各类显示器件生产过程中进行显示、触控、光学、信号电性能等各种功能检测,从而保证各段生产制程的可靠性和稳定性。Array 和和 Cell 制程所需设备价值量更大,相应的技术壁垒也制程所需设备价值量更大,相应的技术壁垒也较高,目前市场主要被国外企业占据,国产化率较低。较高,目前市场主要被国外企业占据,国产化率较低。Module 制程国内设备厂商已切入制程国内设备厂商已切入部分设备,模组段检测设备国产化水平较高。部分设备,模组段检测设
86、备国产化水平较高。图 30:LCD 和 OLED 工艺流程 图 31:不同制程所对应的面板显示检测设备 资料来源:华兴源创招股说明书,西部证券研发中心 资料来源:精智达招股说明书,西部证券研发中心 表 14:Array、Cell 和 Module 制程三大制程所对应检测情况 项目项目 Array(阵列)制程(阵列)制程 Cell(成盒)制程(成盒)制程 Module(模组)制程(模组)制程 制程内容 液膜晶体管制作于玻璃上,完成玻璃基板的生产 以前端 TFT-Array 玻璃为基板,与彩色滤光片玻璃基板集合,并在两片玻璃基板间滴上液晶后贴合,再将大片玻璃切割成平板,检查后即成为 LCD 面板。
87、将 Cell 贴合并切割后的面板玻璃与其他组件如背光板、电路、外框等多种零组件模组组装成 LCD 模组 检测内容 阵列基板检测 屏体检测 模组检测,校正修复,成品检测 检测目的 检出缺陷、不良,修补 检出缺陷、不良,老化稳定 检出缺陷、不良,校正修复 检测方法 光学、电学性能检测 光学、电学性能检测 光学、电学性能检测及校正修复 主要参数 过检率、漏检率、检测精度、检测速度、缺陷分类、图像处理准确度等 主要供应商 HB Technology、Yang Electronic、DIT、Orbotech、V Technology、精测电子 精智达、华兴源创、精测电子、凌云光、深科达、YWDSP、AN
88、I 应用情况 单次投入相对较大,更新换代相对较慢 单次投入相对较小,更新换代相对较快 发展趋势 向光学检测高效率、高准确度,电性检测高兼容性、高可靠性,算法高准确度,软件高延展性,设备系统多功能、高集成度、易操作的自动化检测方向发展 资料来源:精智达招股说明书问询回复函,精测电子可转债信用评级报告,西部证券研发中心 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 26|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 3.2 市场空间:市场空间:检测设备检测设备约约占面板产线设备投资额占面板产线设备投资额20%,24年年面板厂面板厂资本开支资本开支有望恢复有望恢复
89、目前平板显示检测领域市场增长的驱动因素主要有两目前平板显示检测领域市场增长的驱动因素主要有两方面方面:1)全球面板产业持续向中国大陆转移,我国平板显示行业产能持续扩张;2)OLED 及 Mini/Micro-LED 产业化加速推进,为平板显示检测行业迎来新一轮发展机遇。1)全球面板产业持续向中国大陆转移,我国平板显示行业产能持续扩张。)全球面板产业持续向中国大陆转移,我国平板显示行业产能持续扩张。我国平板显示产业起步晚于日本、韩国和中国台湾地区,近年来随着京东方、华星光电等国内企业以及友达、富士康、三星、LG 等境外企业在大陆大规模投资面板及模组生产线,我国平板显示产能产能持续扩张。以 AMO
90、LED 为例,根据 CINNO Research 报告,全球 AMOLED产能预计将从 2020 年的 2980 万平方米增长至 2025 年的 11710 万平方米,年平均复合增长率达 31.5%,2021 年韩国厂商仍然占据全球 AMOLED 面板一半以上的产能,随着国内厂商的 AMOLED 产能不断扩张,2025 年中国大陆 AMOLED 产能占比预计将会达到56.2%。图 32:全球 AMOLED 产能及区域占比 资料来源:CINNO Research,精智达招股说明书,西部证券研发中心 2)中大尺寸中大尺寸 OLED、Mini/Micro-LED 优势明显,优势明显,平板显示行业从平
91、板显示行业从 LCD 向向 OLED 及及 Mini/Micro-LED 发展的趋势确立发展的趋势确立。OLED 相较于 LCD 技术具有自发光、厚度薄、响应速度快、对比度更高、易弯曲及视角广等优势,而 Mini/Micro-LED 作为新一代的核心显示技术,具备高显示效果、低功耗、高集成、高技术寿命等优良特性,成为了全球显示产业厂商的共识和争相布局的重点领域。表 15:主要新型显示器件性能对比 显示技术显示技术 TFT-LCD AMOLED Mini LED+LCD Mini LED/RGB Micro LED 发光源 背光模组 自发光 背光模组 自发光 自发光 发光材料 无机 有机 无机
92、无机 无机 亮度(cd/m2)500 1000 1000 3000 107 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 27|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 显示技术显示技术 TFT-LCD AMOLED Mini LED+LCD Mini LED/RGB Micro LED 响应时间 ms s ms ms ns 分辨率 8K 4K 8K 8K 8K 像素密度 300 300 300 40 1000 柔性 差 好 差 中 好 透明性 低 中 低 低 高 图像残留 低 高 低 无 无 能耗 高 中 中 低 低 适应尺寸 小中大 小中 小中大 大、
93、超大 无限制 寿命 中 短 中 长 长 成本 低 中 中 高 高 资料来源:电子产品世界,液晶与显示,精智达招股说明书,西部证券研发中心 新一代显示技术应用新一代显示技术应用领域广泛,领域广泛,产业化产业化持续持续推进推进。目前 OLED 在 LCD 的传统领域(如电视、笔记本电脑等)加速渗透;Mini-LED 主要面向 Mini-LED 背光与 RGB 直显领域,在3C 和商用市场的应用已进入量产初期;Micro-LED 目前行业集中应用于 VR/AR、智能手表等小显示模块领域,预计市场规模与应用领域将快速扩大。根据 CINNO Research,2021 年中国大陆新型显示器件产线设备投资
94、约 1100 亿元,AMOLED 占比 55%,约 600 亿元,Mini LED/Micro LED 约 271 亿元,占比 24%,TFT-LCD约 228 亿元,占比 21%。TFT-LCD 预计投资规模小幅增加;AMOLED 随着高世代技术成熟,预计设备投资规模将在 2024 年到达新高约 866 亿元;MiniLED/Micro LED 凭借高对比度、高亮度、高动态范围、寿命长等性能,预估到 2025 年设备投资将达 270 亿元。图 33:Micro-LED 等新一代显示技术应用前景广阔 图 34:中国大陆新型显示器件产线设备市场规模 资料来源:Micro-LED 技术路线图,西部
95、证券研发中心 资料来源:CINNO Research,精智达招股说明书,西部证券研发中心 京东方等国内面板厂对京东方等国内面板厂对高世代线高世代线投入增加投入增加,平板显示检测行业迎来新一轮发展机遇平板显示检测行业迎来新一轮发展机遇。随着全球经济的波动、终端消费电子产品市场景气度等因素影响,新型显示器件厂商对TFT-LCD 新线投资步伐放缓,但对 AMOLED 的投资依然保持积极态势,并由低世代(6代线)向中高世代(8.5 代线以上)发展。以京东方为例,2023 年 11 月 28 日,京东方发布公告宣布拟在成都投建总投资规模达到 630 亿元的国内首条第 8.6 代 AMOLED 生产线 公
96、司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 28|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 项目,设计产能每月 3.2 万片玻璃基板(尺寸 2290mm2620mm),主要生产笔记本电脑、平板电脑等高端触控显示屏领域,中尺寸中尺寸 OLED 开始加速渗透开始加速渗透,面板厂等对高世代线的持续投入也为平板显示检测行业带来新一轮发展机遇。2024 年年平板平板显示资本开支有望恢复显示资本开支有望恢复。根据 DSCC,2023 年全球显示设备资本开支预计下降 68%到 38 亿美元,2024 年预计回到 76 亿美元,同比增长 98%。图 35:全球面板显示设备
97、资本开支(十亿美元)资料来源:DSCC,西部证券研发中心 检测设备占面板产线检测设备占面板产线设备设备总投资额的总投资额的 20%,中国大陆中国大陆 2024 年检测设备市场空间有望达到年检测设备市场空间有望达到92 亿元亿元。在显示面板生产线的投资中,对设备的投资占产线总投资的 60%-80%,其中设备投资总额中约 20%来自检测设备。以光学检测设备为例,AMOLED 产线每 15 千片大板/月产能约配置13-15台Cell光学检测设备、16-24台Module光学检测设备。根据CINNO Research,2021 年中国大陆新型显示器件检测设备市场规模约为 59 亿元,其中Cell/Mo
98、dule 制程检测设备约为 34 亿元,预计 2024 年检测设备市场规模将达到 92 亿元,其中 Cell/Module 制程检测设备市场规模将达到 46 亿元。表 16:部分检测设备需求量与产能对应情况 设备类别设备类别 产线所需全自动设备数量产线所需全自动设备数量 Cell 光学检测设备 AMOLED 产线每 15 千片大板/月产能约配置 13-15 台 Module 光学检测设备 AMOLED 产线每 15 千片大板/月产能约配置 16-24 台 Gamma 调节设备 AMOLED 产线每 15 千片大板/月产能约配置 8-12 台 Mura 补偿设备 AMOLED 产线每 15 千片
99、大板/月产能约配置 8-12 台 Cell 老化设备 AMOLED 产线每 15 千片大板/月产能约配置 8-12 台 Module 老化设备 AMOLED 产线每 15 千片大板/月产能约配置 28-32 台 资料来源:精智达招股说明书问询回复函,西部证券研发中心 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 29|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 36:中国大陆新型显示器件检测设备市场规模(亿元)资料来源:CINNO Research,西部证券研发中心 3.3 竞争格局:竞争格局:Array制程制程市场由国外厂商垄断,市场由国外厂商垄断,C
100、ell/Module制程制程国产化国产化逐步逐步取得取得突破突破 国产面板检测设备在国产面板检测设备在 Cell/Module 制程中应用已较为广泛,但制程中应用已较为广泛,但 Array 制程国产化率仍然制程国产化率仍然较低。较低。新型显示器件 Array 制程的检测系统市场仍然由韩国 HB Technology、韩国 Yang Electronic、韩国 DIT、以色列 Orbotech、日本 V Technology 等境外供应商占据主要份额。在 Cell 制程和 Module 制程,韩国 YWDSP、韩国 ANI 等境外企业曾是新型显示器件厂商主要设备供应商,近年来以精测电子、华兴源创
101、、凌云光等为代表的中国大陆新型显示器件检测系统生产企业凭借技术自主可控取得快速发展,下游行业的认可度逐渐提升,市场影响力不断增强,在国内市场逐步取得优势地位。精测电子早期专注于面板检测 Module 段检测,后不断向面板中、前道制程扩展,成为行业内少数几家能够提供平板显示三大制程检测系统的企业。公司在 Module 制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平,技术优势明显;目前公司产品已完全覆盖 Cell 制程,该制程检测系统的收入规模快速增长;Array 制程领域公司已通过技术积累开始涉足,部分产品亦已完成开发并实现了批量销售。根据根据 CINNO Research,2021 年精测电子在中国
102、年精测电子在中国大陆大陆 Cell/Module 制程制程 AMOLED 检测设备市场份额为检测设备市场份额为 23%,位列大陆市场第二。,位列大陆市场第二。公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 30|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 37:2021 年中国大陆 Array 制程 AMOLED 检测设备市场份额 图 38:2021 年中国大陆 Cell/Module 制程 AMOLED 检测设备市场份额 资料来源:CINNO Research,精智达招股说明书,西部证券研发中心 资料来源:CINNO Research,精智达招股说明书,
103、西部证券研发中心 表 17:新型显示器件检测设备行业主要企业简介 公司名称公司名称 注册地点注册地点 成立时间成立时间 主营业务主营业务 主要产品主要产品 HB Technology 韩国 1997 主要从事显示检测设备及材料的研发、生产与销售 显示检测设备主要包括 AMOLED及 TFT-LCD的 Array制程与 Cell制程检测设备 DIT 韩国 2005 主要从事自动光学检测设备及激光设备的研发、生产与销售 自动光学检测设备主要包括显示器件检测设备、二次电池检测设备、汽车表面检测设备、半导体量测检测设备,激光设备主要包括切割设备、修复设备、退火设备等。V Technology 日本 1
104、997 主要从事显示器件设备与半导体设备的研发、生产与销售 显示器件设备主要包括生产设备、检测设备、光罩设备等 YWDSP 韩国 2004 主要从事显示检测设备与半导体设备的研发、生产与销售 显示检测设备主要包括 AMOLED 及 TFT-LCD 的 Cell 制程与 Module 制程检测设备 ANI 韩国 2000 主要从事显示设备、半导体设备、光学仪器的研发、生产和销售 显示设备主要包括 AOI 检测机、涂胶机、清洗机等,半导体设备主要包括晶圆外缘检查机、缺陷检查机等,光学仪器主要包括比色计等 华兴源创 江苏苏州 2005 主要从事工业自动化测试设备与整线系统解决方案业务 平板显示检测设
105、备包括光学检测设备、老化检测设备、触控检测设备、信号检测设备、自动化检测设备等 凌云光 北京 2002 主要从事机器视觉及光通信业务 新型显示智能视觉装备主要包括点灯检测设备、外观检测设备、DEMURA设备等;深科达 广东深圳 2004 主要从事平板显示模组设备、半导体设备及摄像头模组设备的研发、生产和销售 主要产品分为平板显示模组设备(贴合、检测、辅助)、半导体设备(分选机、固晶机)、摄像模组类设备及直线电机、直线模组等关键零部件 精测电子 湖北武汉 2006 主要从事显示、半导体、新能源检测系统的研发、生产与销售 在显示领域的主营产品包括信号检测系统、OLED 调测系统、AOI 光学检测系
106、统和平板显示自动化设备等 资料来源:精智达招股说明书,西部证券研发中心 21%15%10%6%4%4%4%3%5%28%HB TechologyYang ElectronicDITOrbotectV-TectThermo FisherKeysight精测电子其他(境内)其他(境外)32%23%13%10%4%8%10%华兴源创精测电子精智达凌云光ANI其他(境内)其他(境外)公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 31|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 四、四、新能源:新能源:与与中创新航中创新航深度合作深度合作,近几年近几年业务规模发展业务
107、规模发展迅速迅速 锂电池生产流程分为前段、中段和后段三个环节,电池化成分容系统等主要用于后段生产锂电池生产流程分为前段、中段和后段三个环节,电池化成分容系统等主要用于后段生产环节环节。锂电池设备是指锂电池生产制造过程中所使用的生产设备,在锂电池生产流程中,前段为极片制片环节,将原材料加工成为极片,以涂布机为核心设备;中段为电芯装配环节,将极片加工成为未激活电芯,以卷绕机(圆柱和方壳电池)或叠片机(方壳及软包电池)为核心设备;后段为电芯检测和组装环节,目的在于激活电芯使之成为成品电池包,通过 PACK 集成系统最终进入电池厂,以化成分容系统为核心设备。化成的主要作用在于激活电池,使电池具备储电能
108、力;分容是将化成好的电池按容量梯度分类,将性能相近的电池分组,降低电池组内各个电池的单体差异性,提高电池组的整体性能。化成、分容环节直接决定电芯产品的合格率和批次的一致性,是锂电池后端生产线中的关键工序。图 39:锂电池生产工艺与所对应设备 资料来源:精测电子官网,西部证券研发中心 市场空间方面市场空间方面,根据研究机构 EVTank 统计数据,2021 年全球锂电生产设备市场规模为952 亿元,其中中国锂离子电池生产设备的市场规模占比 66.6%,达到 634.03 亿元。根据华经产业研究院数据,2020 年中国锂电设备中化成分容设备占比约为 25%。随着全球电池企业规划的新增产能逐步释放,
109、EVTank 预估 2026 年全球锂电设备市场规模 2104.6亿元。公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 32|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 图 40:2020 年中国锂电设备价值占比 图 41:2018-2023 年中国锂电设备市场规模 资料来源:华经产业研究院,西部证券研发中心 资料来源:GGII,中商产业研究院,西部证券研发中心 公司设备覆盖锂电池电芯装配与检测环节公司设备覆盖锂电池电芯装配与检测环节。公司在新能源领域的主要产品为锂电池生产及检测设备,主要用于锂电池电芯装配和检测环节等,包括锂电池化成分容系统、切叠一体机和 B
110、MS 检测系统等。目前公司化成分容自动测试系统核心部件电源柜已实现量产并批量销售,切叠一体机已获得客户(中创新航)认证通过;电芯装配线处于产品技术方案对接阶段,锂电池视觉检测系统处于产品样机开发阶段,激光模切机处于产品预研阶段。2023年前三季度公司在新能源领域实现销售收入 2.53 亿元,同比增长 13.55%。图 42:公司新能源业务收入及增速 资料来源:wind,西部证券研发中心 与与战略客户中创新航战略客户中创新航深度合作深度合作。公司于 2017 年开始与中航锂电(现更名为中创新航)进行业务接触和交流,初期主要向中创新航销售电池托盘、BMS 检测系统和化成分容设备等产品。2021 年
111、,子公司常州精测首次获得中航锂电厦门项目化成分容产品订单,并逐渐拓展至中创新航武汉、成都和合肥基地等项目,主要订单(含中标)产品由化成分容电源柜延展至切叠一体机等。常州精测与中创新航于2022年3月签署 战略合作伙伴协议,确定公司为其锂电设备的优选合作商,在锂电设备领域开展深度合作,共同研发迭代产品。18%9%6%3%25%8%13%9%9%涂布机辊压机搅拌机模切化成分容检测卷绕机注液机激光焊接0%20%40%60%80%100%120%02004006008008200222023E市场规模(亿元)YoY-100%0%100%200%300%400
112、%500%600%00.511.522.533.542002223Q1-Q3新能源业务收入(亿元)同比 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 33|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 五、五、盈利预测与投资建议盈利预测与投资建议 5.1 盈利预测盈利预测 半导体:半导体:膜厚系列产品、OCD 设备、电子束设备已取得国内多家客户的批量订单,半导体硅片应力测量设备也取得客户重复订单;明场光学缺陷检测设备已完成首台套交付,且已取得更先进制程订单;有图形暗场缺陷检测设备等其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。后道测
113、试设备国内本土企业近年来成长迅速,国产化空间广阔。随着国内晶圆厂扩产推进,叠加国产化需求,公司半导体前道量检测设备业务有望保持高速增长。截至 2023 年三季报披露日,公司半导体领域在手订单为 14.89 亿元,订单饱满。预计 2023-2025 年公司半导体业务营收分别为 3.40/6.61/13.27 亿元,对应的收入增速为85.94%/94.62%/100.87%,毛利率为 55.00%/54.00%/53.00%。平板平板显示显示:公司在 Module 制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平,Cell 制程检测系统的收入规模快速增长,Array 制程领域公司已开始涉足。京东方等国内面
114、板厂对高世代线投入增加,中尺寸 OLED 开始加速渗透,平板显示检测行业迎来新一轮发展机遇。此外,公司在 AR/VR/MR 等头显设备配套检测的布局也在持续推进。2023 年由于全球经济波动、终端消费电子产品市场景气度等影响,平板显示资本开支下滑,2024 年随着主要面板厂商扩产推进,面板制造设备市场有望迎来回升。预计 2023-2025 年公司平板显示业务营收分别为 16.39/20.77/23.81 亿元,对应的收入增速为-24.42%/26.70%/14.63%,毛利率为 47.50%/47.00%/46.00%。新能源新能源:公司化成分容自动测试系统核心部件电源柜已实现量产并批量销售,
115、切叠一体机已获得中创新航认证通过。在行业周期的影响下,当前电池厂扩产节奏有所放缓,但公司在锂电设备领域与中创新航深度合作,此外公司还在积极开拓与国内外知名电池厂商的合作关系。预计 2023-2025 年公司新能源业务营收分别为 3.69/4.50/5.40 亿元,对应的收入增速为 7.57%/21.95%/20.00%,毛利率为 27.00%/26.00%/25.00%。表 18:公司收入预测 2021 2022 2023E 2024E 2025E 合计 营业收入(百万元)2,409 2,731 2,388 3,231 4,296 收入 YOY 16.01%13.35%-12.56%35.35
116、%32.95%营业成本(百万元)1,365 1,518 1,302 1,759 2,339 毛利率 43.34%44.39%45.47%45.56%45.57%半导体 收入(百万元)136 183 340 661 1,327 收入 YOY 110.54%34.12%85.94%94.62%100.87%毛利率 37.02%51.14%55.00%54.00%53.00%平板显示 收入(百万元)2,200 2,169 1,639 2,077 2,381 收入 YOY 14.85%-1.41%-24.42%26.70%14.63%毛利率 43.73%45.46%47.50%47.00%46.00%
117、新能源 收入(百万元)52 343 369 450 540 收入 YOY-35.88%561.64%7.57%21.95%20.00%毛利率 30.55%31.37%27.00%26.00%25.00%其他业务 收入(百万元)21.14 36.07 39.67 43.64 48.00 资料来源:wind,西部证券研发中心 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 34|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 5.2 相对估值相对估值 公司主营业务分为三大板块,分别是半导体检测设备、平板显示检测设备和新能源锂电设备,选取中科飞测-U(半导体前道量检测)
118、、华峰测控(后道半导体测试系统)、华兴源创(平板显示检测)、精智达(平板显示检测)作为同行业可比公司。我们预计公司 2023-2025年归母净利润分别是 1.58、2.51、4.19 亿元,当前市值对应 PE 分别为 153.86、97.27、58.18 倍。半导体量检测设备在控制芯片良率中发挥核心作用,产品技术壁垒高、国产化率极低,KLA 等国外厂商长期垄断中国市场,国产替代前景广阔。公司与中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、广州粤芯等知名客户建立了良好合作关系,目前半导体在手订单饱满,随着国内晶圆厂扩产推进,叠加国产化需求提升,公司半导体前道量检测设备业务有望保持高速增长,首次覆盖,给
119、予公司“增持”评级。表 19:可比公司估值 证券简称证券简称 当日股价当日股价(元)(元)市值(亿元)市值(亿元)归母净利润归母净利润(亿亿元)元)PE 2023/12/29 22A 23E 24E 25E 22A 23E 24E 25E 中科飞测-U 74.43 238.18 0.12 0.83 1.39 2.25-287.84 171.91 105.99 华峰测控 122.80 166.21 5.26 3.58 4.80 6.31 47.84 46.38 34.59 26.36 华兴源创 34.95 154.47 3.31 2.93 4.29 6.06 35.80 52.65 35.97
120、25.50 精智达 89.18 83.84 0.66 1.09 1.65 2.41-76.81 50.80 34.76 平均 2.34 2.11 3.03 4.26 41.82 115.92 73.32 48.15 精测电子 87.62 243.71 2.72 1.58 2.51 4.19 51.37 153.86 97.27 58.18 资料来源:wind,西部证券研发中心(中科飞测、华峰测控、华兴源创、精智达的归母净利润使用 Wind 一致预期)公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 35|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 六、六、风险提
121、示风险提示 1、客户集中风险、客户集中风险。公司下游行业企业主要为规模较大的面板或模组厂商、集成电路厂商和锂电池厂商,行业产能集中度高。受此影响,公司 2020 年、2021 年、2022 年以及 2023年上半年前五大客户销售额占同期营业收入的比例分别为 75.51%、71.69%、63.52%和64.34%,客户集中情况较为明显。若公司因产品和服务质量不符合主要客户要求导致双方合作关系发生重大不利变化,或主要客户未来因经营状况恶化导致对公司的直接订单需求大幅下滑,均将可能对公司的经营业绩产生不利影响。2、下游客户资本支出波动下游客户资本支出波动风险风险。目前全球经济仍处于周期性波动当中,受
122、国际经济波动、终端消费市场需求变化等方面影响,晶圆厂、面板厂、锂电池厂商客户资本开支发展往往呈现一定的周期性波动特征,在行业景气度下降过程中,企业则可能削减资本支出,从而对相应设备的需求产生不利影响。3、客户验证客户验证风险风险。近年来,公司加大对半导体检测、新能源领域的研发投入,把半导体、新能源行业的设备规划为公司新的发展方向。在半导体检测领域,公司已开发薄膜椭偏测量技术、光学关键尺寸测量技术、高分辨率电子束检测技术等核心技术,主要产品包含膜厚量测类设备、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统以及存储芯片测试设备、驱动芯片测试设备等半导体检测前道、后道设备;在新能源设备领域,公司已开发双目
123、视觉对位与纠偏技术、卷材收/放卷张力控制技术等核心技术,主要产品包含切叠一体机、化成分容系统等锂电池中后段生产及检测设备。由于上述大部分为公司近两年新增产品或且部分产品处于送样阶段,进入市场前仍需要经历下游客户较长时间的验证过程。若公司产品未能通过客户验证,或者通过客户验证后未能实现批量出货,将对公司持续盈利能力产生不利影响。公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 36|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 财务报表预测和估值数据汇总财务报表预测和估值数据汇总 资产负债表(百万元)资产负债表(百万元)2021 2022 2023E 2024E 2
124、025E 利润表(百万元)利润表(百万元)2021 2022 2023E 2024E 2025E 现金及现金等价物 1,474 941 1,239 1,218 1,132 营业收入营业收入 2,409 2,731 2,388 3,231 4,296 应收款项 1,273 1,907 1,363 1,913 2,643 营业成本 1,365 1,518 1,302 1,759 2,339 存货净额 943 1,354 1,692 1,935 2,105 营业税金及附加 16 23 19 23 26 其他流动资产 120 80 99 100 93 销售费用 208 225 203 242 301
125、流动资产合计流动资产合计 3,810 4,282 4,393 5,166 5,974 管理费用 655 836 848 1,066 1,332 固定资产及在建工程 1,427 2,172 2,325 2,252 2,195 财务费用 48 30 58 65 28 长期股权投资 216 255 311 311 311 其他费用/(-收入)(60)(150)(166)(125)(104)无形资产 214 317 341 374 417 营业利润营业利润 176 249 124 201 375 其他非流动资产 380 449 377 390 388 营业外净收支(4)(5)0 0 0 非流动资产合计
126、非流动资产合计 2,237 3,192 3,353 3,327 3,311 利润总额利润总额 172 244 124 201 375 资产总计资产总计 6,047 7,474 7,746 8,493 9,284 所得税费用 33 36 18 28 52 短期借款 630 1,266 1,759 2,021 2,072 净利润净利润 140 208 106 173 322 应付款项 1,032 1,783 1,289 1,598 2,008 少数股东损益(52)(64)(53)(78)(97)其他流动负债 10 24 15 17 19 归属于母公司净利润归属于母公司净利润 192 272 158
127、 251 419 流动负债合计流动负债合计 1,672 3,073 3,064 3,636 4,098 长期借款及应付债券 511 523 511 515 516 财务指标财务指标 2021 2022 2023E 2024E 2025E 其他长期负债 322 352 340 338 343 盈利能力盈利能力 长期负债合计长期负债合计 833 874 851 853 859 ROE 7.6%8.3%4.7%6.8%10.4%负债合计负债合计 2,505 3,948 3,914 4,488 4,958 毛利率 43.3%44.4%45.5%45.6%45.6%股本 278 278 278 278
128、278 营业利润率 7.3%9.1%5.2%6.2%8.7%股东权益 3,542 3,526 3,831 4,004 4,326 销售净利率 5.8%7.6%4.4%5.3%7.5%负债和股东权益总计负债和股东权益总计 6,047 7,474 7,746 8,493 9,284 成长能力成长能力 营业收入增长率 16.0%13.4%-12.6%35.3%33.0%现金流量表(百万元)现金流量表(百万元)2021 2022 2023E 2024E 2025E 营业利润增长率-29.6%41.5%-50.5%62.7%86.5%净利润 140 208 106 173 322 归母净利润增长率-20
129、.9%41.4%-41.7%58.2%67.2%折旧摊销 64 101 138 153 165 偿债能力偿债能力 利息费用 48 30 58 65 28 资产负债率 41.4%52.8%50.5%52.9%53.4%其他(434)(346)(317)(523)(474)流动比 2.28 1.39 1.43 1.42 1.46 经营活动现金流经营活动现金流(182)(8)(15)(132)41 速动比 1.71 0.95 0.88 0.89 0.94 资本支出(616)(825)(308)(105)(142)其他 10(131)27(4)(5)每股指标与估值每股指标与估值 2021 2022 2
130、023E 2024E 2025E 投资活动现金流投资活动现金流(606)(956)(280)(109)(147)每股指标每股指标 债务融资(348)621 394 220 20 EPS 0.69 0.98 0.57 0.90 1.51 权益融资 1,369(257)200 0 0 BVPS 11.92 11.59 12.88 13.78 15.29 其它 12 39 0 0 0 估值估值 筹资活动现金流筹资活动现金流 1,033 404 594 220 20 P/E 126.7 89.7 153.9 97.3 58.2 汇率变动 P/B 7.4 7.6 6.8 6.4 5.7 现金净增加额现金
131、净增加额 245(560)298(21)(85)P/S 10.1 8.9 10.2 7.5 5.7 数据来源:公司财务报表,西部证券研发中心 公司深度研究|精测电子 西部证券西部证券 2023 年年 12 月月 29 日日 37|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 西部证券西部证券投资评级说明投资评级说明 超配:超配:行业预期未来 6-12 个月内的涨幅超过市场基准指数 10%以上 行业评级行业评级 中配:中配:行业预期未来 6-12 个月内的波动幅度介于市场基准指数-10%到 10%之间 低配:低配:行业预期未来 6-12 个月内的跌幅超过市场基准指数 10%以上 买入:买入:公司未
132、来 6-12 个月的投资收益率领先市场基准指数 20%以上 公司评级公司评级 增持:增持:公司未来 6-12 个月的投资收益率领先市场基准指数 5%到 20%之间 中性:中性:公司未来 6-12 个月的投资收益率与市场基准指数变动幅度相差-5%到 5%卖出:卖出:公司未来 6-12 个月的投资收益率落后市场基准指数大于 5%报告中所涉及的投资评级采用相对评级体系,基于报告发布日后 6-12 个月内公司股价(或行业指数)相对同期当地市场基准指数的市场表现预期。其中,A 股市场以沪深 300 指数为基准;香港市场以恒生指数为基准;美国市场以标普 500 指数为基准。分析师声明分析师声明 本人具有中
133、国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师,以勤勉的职业态度、专业审慎的研究方法,使用合法合规的信息,独立、客观地出具本报告。本报告清晰准确地反映了本人的研究观点。本人不曾因,不因,也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收到任何形式的补偿。联系地址联系地址 联系地址:联系地址:上海市浦东新区耀体路 276 号 12 层 北京市西城区丰盛胡同 28 号太平洋保险大厦 513 室 深圳市福田区深南大道 6008 号深圳特区报业大厦 10C 联系电话:联系电话: 免责声明免责声明 本报告由西部证券股份有限公司(已具备中国证监会批复的证券投资咨询业务资
134、格)制作。本报告仅供西部证券股份有限公司(以下简称“本公司”)机构客户使用。本报告在未经本公司公开披露或者同意披露前,系本公司机密材料,如非收件人(或收到的电子邮件含错误信息),请立即通知发件人,及时删除该邮件及所附报告并予以保密。发送本报告的电子邮件可能含有保密信息、版权专有信息或私人信息,未经授权者请勿针对邮件内容进行任何更改或以任何方式传播、复制、转发或以其他任何形式使用,发件人保留与该邮件相关的一切权利。同时本公司无法保证互联网传送本报告的及时、安全、无遗漏、无错误或无病毒,敬请谅解。本报告基于已公开的信息编制,但本公司对该等信息的真实性、准确性及完整性不作任何保证。本报告所载的意见、
135、评估及预测仅为本报告出具日的观点和判断,该等意见、评估及预测在出具日外无需通知即可随时更改。在不同时期,本公司可能会发出与本报告所载意见、评估及预测不一致的研究报告。同时,本报告所指的证券或投资标的的价格、价值及投资收入可能会波动。本公司不保证本报告所含信息保持在最新状态。对于本公司其他专业人士(包括但不限于销售人员、交易人员)根据不同假设、研究方法、即时动态信息及市场表现,发表的与本报告不一致的分析评论或交易观点,本公司没有义务向本报告所有接收者进行更新。本公司对本报告所含信息可在不发出通知的情形下做出修改,投资者应当自行关注相应的更新或修改。本公司力求报告内容客观、公正,但本报告所载的观点
136、、结论和建议仅供投资者参考之用,并非作为购买或出售证券或其他投资标的的邀请或保证。客户不应以本报告取代其独立判断或根据本报告做出决策。该等观点、建议并未考虑到获取本报告人员的具体投资目的、财务状况以及特定需求,在任何时候均不构成对客户私人投资建议。投资者应当充分考虑自身特定状况,并完整理解和使用本报告内容,不应视本报告为做出投资决策的唯一因素,必要时应就法律、商业、财务、税收等方面咨询专业财务顾问的意见。本公司以往相关研究报告预测与分析的准确,不预示与担保本报告及本公司今后相关研究报告的表现。对依据或者使用本报告及本公司其他相关研究报告所造成的一切后果,本公司及作者不承担任何法律责任。在法律许
137、可的情况下,本公司可能与本报告中提及公司正在建立或争取建立业务关系或服务关系。因此,投资者应当考虑到本公司及/或其相关人员可能存在影响本报告观点客观性的潜在利益冲突。对于本报告可能附带的其它网站地址或超级链接,本公司不对其内容负责,链接内容不构成本报告的任何部分,仅为方便客户查阅所用,浏览这些网站可能产生的费用和风险由使用者自行承担。本公司关于本报告的提示(包括但不限于本公司工作人员通过电话、短信、邮件、微信、微博、博客、QQ、视频网站、百度官方贴吧、论坛、BBS)仅为研究观点的简要沟通,投资者对本报告的参考使用须以本报告的完整版本为准。本报告版权仅为本公司所有。未经本公司书面许可,任何机构或个人不得以翻版、复制、发表、引用或再次分发他人等任何形式侵犯本公司版权。如征得本公司同意进行引用、刊发的,需在允许的范围内使用,并注明出处为“西部证券研究发展中心”,且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。如未经西部证券授权,私自转载或者转发本报告,所引起的一切后果及法律责任由私自转载或转发者承担。本公司保留追究相关责任的权力。所有本报告中使用的商标、服务标记及标记均为本公司的商标、服务标记及标记。本公司具有中国证监会核准的“证券投资咨询”业务资格,经营许可证编号为:982242D。