1、证券研究报告公司深度研究通用设备 东吴证券研究所东吴证券研究所 1/27 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 精测电子（300567）半导体量半导体量/检测检测设备龙头，设备龙头，受益于受益于国产替代国产替代加速加速 2023 年年 03 月月 10 日日 证券分析师证券分析师 周尔双周尔双 执业证书：S0600515110002 证券分析师证券分析师 黄瑞连黄瑞连 执业证书：S0600520080001 股价走势股价走势 市场数据市场数据 收盘价(元)66.82 一年最低/最高价 31.77/68.34 市净率(倍)5.95 流通 A

2、股市值(百万元)13,819.65 总市值(百万元)18,585.61 基础数据基础数据 每股净资产(元,LF)11.23 资产负债率(%,LF)51.25 总股本(百万股)278.14 流通 A股(百万股)206.82 相关研究相关研究 精测电子(300567)：Q3 单季度利润-14.6%，看好公司转型后成长空间 2019-10-29 精 测 电 子(300567)：2019H1业绩预增+32.10%-40.62%，充分受益 OLED 国产化加速 2019-07-07 增持（首次）Table_EPS 盈利预测与估值盈利预测与估值 2021A 2022E 2023E 2024E 营业总收入（

3、百万元）2,409 2,739 3,413 4,299 同比 16%14%25%26%归属母公司净利润（百万元）192 273 385 534 同比-21%42%41%39%每股收 益-最新股本摊薄（元/股）0.69 0.98 1.38 1.92 P/E（现价&最新股本摊薄）96.65 68.06 48.26 34.80 Table_Tag 关键词：关键词：#进口替代进口替代 Table_Summary 投资要点投资要点 面板检测龙头拓展面板检测龙头拓展半导体、新能源半导体、新能源业务业务，业绩拐点，业绩拐点有望有望出现出现 公司为国内领先的平板显示检测设备龙头，拓展半导体量/检测、新能源设备

4、领域，半导体设备成功供货长江存储、中芯国际等龙头客户。面板行业下行周期，毛利端&研发费用端双向承压，2019年以来公司利润端有所下滑：1）收入端：）收入端：2021年营收24.09亿元，2013-2021年CAGR达到 42%，稳健增长。2）利润端：）利润端：2018 年归母净利润达 2.89 亿元，2019-2022Q1-Q3 持续下滑。2018-2022Q1-Q3 销售净利率分别为 21.81%、13.33%、10.38%、5.81%和 5.63%，整体呈下滑趋势。2022 年公司实现年公司实现扣扣非后非后归母净利润归母净利润 1.05-1.25 亿元，同比亿元，同比-9.67%-7.54

5、%。受益于半导体、新受益于半导体、新能源业务放量，能源业务放量，我们判断我们判断公司公司业绩有望业绩有望重回重回快速增长快速增长。半导体量半导体量/检测设备检测设备国产替代有望加速国产替代有望加速，公司，公司相关产品将相关产品将进入放量阶段进入放量阶段 量/检测设备在半导体设备中价值量占比 11%，仅次于薄膜沉积、光刻和刻蚀设备，我们预计我们预计 2022 和和 2023 年中国大陆半导体量年中国大陆半导体量/检测设备市检测设备市场规模分别为场规模分别为 290 和和 326 亿元亿元。KLA 在量在量/检测设备领域一家独大，全球检测设备领域一家独大，全球市占率市占率 50%以上，以上，202

6、2 年国产化率仍不足年国产化率仍不足 3%，是前道国产化率最低的，是前道国产化率最低的环节之一。环节之一。短期来看，美国制裁升级影响 KLA 业务开展，行业将迎来国产替代最佳窗口期。从产品布局来看，从产品布局来看，公司量/检测设备全面覆盖光学和电子束检测，是国内产品布局最为齐全的企业之一。从产业化进展来从产业化进展来看，看，公司膜厚量测已较为成熟，OCD&电子束设备具备国产稀缺性，并积极布局明场缺陷检测&形貌量测领域。从订单表现来看从订单表现来看，2021.12.1 至至2022.11.11 上海精测与同一客户销售合同累计达到上海精测与同一客户销售合同累计达到 3.38 亿元，约是亿元，约是

7、2018-2021 年营业收入之和的年营业收入之和的 2 倍，标志着公司正式进入重复订单放量阶段。倍，标志着公司正式进入重复订单放量阶段。展望展望 2023 年，看好公司设备在下游客户加速导入，订单加速放量。年，看好公司设备在下游客户加速导入，订单加速放量。新显示技术新显示技术将将驱动主业稳步增长，驱动主业稳步增长，新新能源能源设备设备受益受益中创新航中创新航扩产浪潮扩产浪潮 2022 年面板行业经历了史上最长的 15 个月跌价周期，面板行业已处于底部。我们认为我们认为 OLED、Mini、Micro LED 等新技术路线以及由等新技术路线以及由Module、Cell 拓展至前段拓展至前段 A

8、rray 将是公司面板检测设备业务主要增长逻将是公司面板检测设备业务主要增长逻辑辑，相关业务仍有望实现平稳增长，相关业务仍有望实现平稳增长。作为二线锂电龙头，中创新航持续加大产能扩张力度，作为二线锂电龙头，中创新航持续加大产能扩张力度，2025 年目标年目标产能产能 500GWh，约是，约是 2022年装机量的年装机量的 25倍。公司与中创新航签署战略倍。公司与中创新航签署战略合作伙伴协议，将充分受益于其大规模扩产。合作伙伴协议，将充分受益于其大规模扩产。公司聚焦中后道工序，其中化成分容已批量出货，切叠一体机已获认证通过，同时布局锂电池视觉检测系统、电芯装配线和激光模切机等新品。2021 年公

9、司新能源设备实现收入 0.52 亿元，2022Q3 末在手订单 4.23 亿元（含税），快速放量。2022年募投项目达产年收入 14.65亿元，打开成长瓶颈。盈利预测与投资评级：盈利预测与投资评级：我们预计 2022-2024 年公司归母净利润分别为2.73、3.85和5.34亿元，当前市值对应动态PE分别为68、48和35倍。考虑到公司成长性突出，首次覆盖，给予“增持”评级。风险提示：风险提示：美国制裁风险、下游资本开支不及预期、毛利率下滑等。-30%-23%-16%-9%-2%5%12%19%26%33%2022/3/102022/7/92022/11/72023/3/8精测电子沪深300

10、 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 2/27 内容目录内容目录 1.精测电子：面板检测龙头拓展半导体设备，业绩拐点向上精测电子：面板检测龙头拓展半导体设备，业绩拐点向上.5 1.1.平板显示检测设备龙头，横向扩张至半导体、新能源领域.5 1.2.持续加大研发投入，研发人员占比 50%+.7 1.3.2019年以来利润端持续承压，业绩拐点有望出现.9 2.半导体量半导体量/检测设备：前道弹性最大赛道，公司进入放量阶段检测设备：前道弹性最大赛道，公司进入放量阶段.11 2.1.量/检测设备价值量占比排第四，2023 年本土

11、市场规模 326 亿元.11 2.2.前道国产化率最低环节之一，看好美国制裁升级加速国产替代.12 2.3.公司量/检测设备优势明显，有望进入加速放量阶段.14 3.面板检测设备：静待下游回暖，新技术驱动主业稳步增长面板检测设备：静待下游回暖，新技术驱动主业稳步增长.16 3.1.面板行业仍处于下行周期，看好新技术路线贡献设备需求增量.16 3.2.由 Module、Cell 拓展至 Array，募投项目打开公司成长空间.19 4.新能源设备：聚焦中后道工序，受益中创新航扩产浪潮新能源设备：聚焦中后道工序，受益中创新航扩产浪潮.21 5.盈利预测与投资建议盈利预测与投资建议.23 6.风险提示

12、风险提示.25 rRpO3Z9YbZeUvZfWNA8O9R6MmOnNtRsRjMpPnOfQmNmQaQmMxOMYpNrONZoOqQ 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 3/27 图表目录图表目录 图 1：公司成立十七年来，立足平板显示检测不断扩张至半导体、新能源检测领域.5 图 2：公司各子公司分工明确.5 图 3：公司主营产品主要覆盖平板显示、半导体、新能源三大领域.6 图 4：2022Q1-Q3公司半导体检测设备收入占比 6.2%.6 图 5：公司平板显示检测以 AOI和 OLED调测为主.6 图 6：20

13、19-2022Q1-Q3 公司前五大客户收入占比快速降低.7 图 7：2018-2021年公司研发费用 CAGR 达到 36%.7 图 8：2018-2022Q1-Q3 公司研发费用率持续上升.7 图 9：2022Q1-Q3公司研发人员占比达到 50%.8 图 10：2022年公司再次颁布股权激励计划.8 图 11：公司掌握多项平板显示、半导体、新能源检测核心技术.9 图 12：2013-2021年公司营业收入 CAGR 达 42%.9 图 13：2019年以来公司归母净利润明显下滑.9 图 14：2018年以来公司销售净利率明显下降.10 图 15：2018年以来公司期间费用率明显上提.10

14、 图 16：2022Q3末公司合同负债达到 2.3亿元，同比+262.2%.10 图 17：量/检测设备主要包括检测和量测设备两大类.11 图 18：2020年检测设备在量/检测设备中占 63%.11 图 19：量/检测设备在半导体设备中价值量约占 11%.12 图 20：2020年缺陷检测设备在量/检测设备中占比 58%.12 图 21：2022和 2023 年中国大陆半导体量/检测设备市场规模分别达到 290和 326亿元.12 图 22：2020年 KLA在全球半导体检测市场占比达 51%.13 图 23：KLA在部分检测设备领域全球市占率超过 70%.13 图 24：2020年 KLA

15、在本土量/检测设备市占率达 55%.13 图 25：2022年华虹无锡量/检测设备国产化率仅为 2%.13 图 26：2021年三大量/检测设备企业在本土市场份额合计不足 3%.14 图 27：2022财年 KLA 在中国大陆收入达 26.6 亿美元.14 图 28：2022财年 KLA 对中国大陆收入占比达到 29%.14 图 29：公司在量/检测设备领域的产品布局较为全面.15 图 30：公司量/检测设备产业化进程在本土企业中保持领先地位.15 图 31：2018-2021年上海精测营业收入 CAGR 达到 250%.16 图 32：2022年全球显示面板出货量同比下降 9%.16 图 3

16、3：2020年以来全球面板行业设备投资持续承压.16 图 34：2019-2022年全球 Mini LED出货量 CAGR 601%.17 图 35：2022年国内 Mini/Micro LED 产业化快速推进.17 图 36：检测系统应用贯穿面板生产 Array、Cell 和 Module三大制程.18 图 37：我们预估 2022 年全球显示面板检测设备市场规模约 167亿元.18 图 38：新显示技术对于检测设备的需求量和精度要求更高.19 图 39：公司在 AMOLED行业 Cell/Module 制程检测设备领域布局完善.19 图 40：2021年公司在中国大陆 AMOLED Cel

17、l/Module 检测设备领域市场占比 23%.20 图 41：2021年公司在中国大陆 AMOLED Array检测设备领域市场占比 3%.20 图 42：2025年全球锂电设备需求将达到 2690 亿元.21 图 43：2022年中创新航动力电池装机量全球占比 3.9%.22 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 4/27 图 44：中创新航已有产能规划达到 410GWh.22 图 45：公司在锂电设备领域聚焦中后道核心设备环节.22 图 46：2022年公司新能源设备募投项目达产产值约 14.65亿元.23 图 47

18、：可比公司估值（PE，截至 2023/03/09收盘股价）.25 表 1：公司分业务收入预测（百万元）.24 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 5/27 1.精测电子：精测电子：面板检测龙头面板检测龙头拓展拓展半导体设备半导体设备，业绩拐点向上，业绩拐点向上 1.1.平板显示检测平板显示检测设备设备龙头，龙头，横向扩张至半导体、新能源领域横向扩张至半导体、新能源领域 精测电子成立于精测电子成立于 2006 年年，专注于专注于平板平板显示、半导体及新能源检测系统业务显示、半导体及新能源检测系统业务。经过多年的技术积累和自

19、主创新，公司成功研发多项平板显示测试系统，集合“光、机、电、软、算”一体化系统优势，在平板显示测试领域处于行业领先水平。在平板显示领域的业务基础上，2018 年公司先后成立武汉精鸿、武汉精能、上海精测等子公司，正式切入新能源、半导体量/检测领域，形成“平板显示+半导体+新能源”的业务布局。图图1：公司成立十七年来，立足平板显示检测不断扩张至半导体、新能源检测领域公司成立十七年来，立足平板显示检测不断扩张至半导体、新能源检测领域 数据来源：公司官网，东吴证券研究所 截至截至 2022Q3 末末，彭骞先生直接，彭骞先生直接&间接持有公司间接持有公司 26.08%股份，担任公司董事长兼股份，担任公司

20、董事长兼总经理，为实际控制人。总经理，为实际控制人。公司各子公司分工明确，分业务来看：平板显示检测主要依托武汉精立、苏州精濑等开展；新能源业务主要依托常州精测等开展；半导体量/检测设备主要依托上海精测开展，半导体后道 ATE 测试设备主要依托武汉精鸿开展。图图2：公司各子公司分工明确公司各子公司分工明确 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 6/27 公司主营产品包括平板显示检测、半导体检测公司主营产品包括平板显示检测、半导体检测和新能源检测和新能源检测设备设备三大三大类类，其中半其中半

21、导体导体领域领域覆盖覆盖前道量前道量/检测和后道测试设备检测和后道测试设备：1）前道量前道量/检测检测设备：设备：覆盖膜厚量测、光学关键尺寸检测（OCD）、电子束缺陷复查和检测设备、明场光学缺陷检测设备等，尤其在膜厚量测和 OCD 领域具备较强市场竞争力。2）后道测试后道测试设备设备：主攻存储领域，包括老化（Burn-In）测试设备、晶圆探测设备（CP ATE）和终测设备（FT ATE）等。图图3：公司公司主营产品主营产品主要覆盖平板显示、半导体、新能源三大领域主要覆盖平板显示、半导体、新能源三大领域 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 平板显示检测平板显示检测设备设备仍为主要收入来源，半导体

22、仍为主要收入来源，半导体领域领域收入占比快速提升。收入占比快速提升。1）2019-2022Q1-Q3 公司平板显示检测设备收入占比分别为 97.2%、91.2%、90.8%、78.9%，虽然逐步降低，但仍为主要收入来源。与此形成对比的是，公司公司半导体半导体和新能源业务快和新能源业务快速放量，速放量，2022Q1-Q3 收入占比收入占比分别达到分别达到 6.2%和和 12.2%。2）在平板显示检测业务中，AOI和 OLED 调测系统构成收入主体，2022Q1-Q3收入占比分别为 44.1%和 24.0%。图图4：2022Q1-Q3 公司半导体公司半导体检测设备收入占比检测设备收入占比 6.2%

23、图图5：公司公司平板显示检测以平板显示检测以 AOI 和和 OLED 调测为主调测为主 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 公司公司成功成功供货供货平板显示、半导体、新能源龙头客户平板显示、半导体、新能源龙头客户，客户集中度逐年降低，客户集中度逐年降低。1）平）平97.2%91.2%90.8%78.9%0.2%3.1%5.7%6.2%12.2%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%20022 Q1-Q3其他新能源设备半导体检测设备平板显示检测设备16.7%10.6%13.5%28.2%40.5%36.4%40

24、.8%44.1%35.9%38.8%37.0%24.0%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%20022 Q1-Q3平板显示自动化设备OLED调测系统AOI光学检测系统信号检测系统 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 7/27 板显示检测：板显示检测：公司覆盖京东方、华星光电、惠科股份、天马微等龙头面板厂商。2）半）半导体前道导体前道量量/检测检测：公司成功供货广州粤芯、长江存储、中芯国际等龙头客户，彰显公司在前道量/检测设备领域的市场竞争力。3）新能源设备：）新能源设备

25、：公司深度绑定中创新航，二者签署战略合作伙伴协议，常州精测参与中创新航港股发行。2019-2022Q1-Q3公司前五大客户收入占比分别为 86.1%、75.5%、71.7%、62.4%，客户集中度明显下降。图图6：2019-2022Q1-Q3 公司前五大客户收入占比快速降低公司前五大客户收入占比快速降低 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 1.2.持续加大研发投入，研发人员占比持续加大研发投入，研发人员占比 50%+公司持续加大研发投入力度，公司持续加大研发投入力度，研发费用率持续提升。研发费用率持续提升。2021 年公司研发费用约 4.26亿元，2018-2021 年 CAGR 达到 36%

26、，2022Q1-Q3 研发费用为 3.77 亿元，同比+42%。2018-2022Q1-Q3 公司研发费用率分别为 12.40%、13.63%、15.51%、17.70%和 20.72%，公司持续加大研发投入力度，为产业扩张和技术进步打下坚实基础。图图7：2018-2021 年公司年公司研发费用研发费用 CAGR 达到达到 36%图图8：2018-2022Q1-Q3 公司研发费用率持续上升公司研发费用率持续上升 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 序号序号客户名称客户名称 销售金额（万元）销售金额（万元）占营业收入比例占营业收入比例序号序号客户名称客户名称

27、销售金额（万元）销售金额（万元）占营业收入比例占营业收入比例1京东方54,451.5229.91%1惠科股份71,463.0529.67%2TCL20,436.0111.23%2京东方54,451.5522.60%3致茂电子17,002.659.34%3TCL26,683.2011.08%4Apple12,482.336.86%4天马微10,186.074.23%5和辉光电9,136.335.02%5Apple9,922.314.12%113,508.84113,508.8462.36%62.36%172,706.17172,706.1771.69%71.69%序号序号客户名称客户名称 销售金

28、额（万元）销售金额（万元）占营业收入比例占营业收入比例序号序号客户名称客户名称 销售金额（万元）销售金额（万元）占营业收入比例占营业收入比例1京东方63,498.4530.58%1京东方86,970.0444.58%2惠科股份37,227.5817.93%2TCL31,189.5515.99%3TCL35,522.5817.11%3惠科股份26,707.3013.69%4维信诺10,518.795.07%4中国电子12,498.116.41%5Apple10,036.844.83%5天马微10,581.595.42%156,804.24156,804.2475.51%75.51%167,946

29、.58167,946.5886.09%86.09%合计合计2019年2019年合计合计2022年1-9月2022年1-9月合计合计2021年2021年合计合计2020年2020年0%10%20%30%40%50%60%0500300350400450研发费用（百万元）同比（%）0%5%10%15%20%25%200212022Q1-Q3精测电子华兴源创凌云光华峰测控 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 8/27 公司高度重视研发团队建设，公司高度重视研发团队建设，研发人员占比达

30、到研发人员占比达到 50%。截至 2022 年 9 月，公司研发人员达到 1,597 人，人员占比上升至 50%。此外，公司分别于 2017 年和 2022 年两次实施授予限制性股票激励计划，有利于稳定核心技术团队，并调动研发人员积极性。图图9：2022Q1-Q3 公司研发人员占比达到公司研发人员占比达到 50%图图10：2022 年公司再次颁布年公司再次颁布股权激励股权激励计划计划 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 长期高研发投入下，公司长期高研发投入下，公司已已掌握平板显示、半导体、新能源领域多项核心技术。掌握平板显示、半导体、新能源领域多项核心技术。

31、截至 2022Q3，公司专利达到 1,799项，其中发明专利 708项，实用新型专利 769项，在平板显示检测、半导体检测、新能源领域合计掌握 25 项核心技术。在半导体前道检测在半导体前道检测设备领域，公司是国内少有的同时掌握光学检测技术和电子束检测技术的企业。设备领域，公司是国内少有的同时掌握光学检测技术和电子束检测技术的企业。8191,0081,0751,3931,59742%43%44%45%46%47%48%49%50%51%02004006008000820022Q3研发人员（人）占比（%）序号序号姓名姓名职务职务获

32、授权益数获授权益数量（万股）量（万股）占授予权益总占授予权益总数的比例数的比例（%）占本次激励计占本次激励计划公告时股本划公告时股本总额比例总额比例（%）1刘荣华 董事、副总经理10.0031.740.042孙胜董事5.000.870.023杨慎东副总经理5.000.870.024刘炳华副总经理、董事会秘书5.000.870.025游丽娟财务负责人5.000.870.0230.0035.220.12545.0094.781.96575.0031002.07一、董事、高级管理人员小计二、其他激励对象核心管理、核心技术（业务）人员（共计 321 人）合计 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读

33、正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 9/27 图图11：公司掌握公司掌握多项多项平板显示、半导体、新能源平板显示、半导体、新能源检测检测核心核心技术技术 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 1.3.2019 年以来年以来利润端利润端持续承压持续承压，业绩拐点，业绩拐点有望有望出现出现 公司收入端稳健增长，利润端短期承压。公司收入端稳健增长，利润端短期承压。1）收入端：）收入端：2013 年公司营业收入仅为1.44 亿元，2021 年达到 24.09 亿元，期间 CAGR 达到 42%。2022Q1-Q3 公司实现营业收入 18.20 亿元，同比+3%，增速有所放

34、缓，主要系面板行业景气下行影响，但半导体、新能源业务放量对面板业务实现有效对冲。2）利润端：）利润端：2018 年公司归母净利润为 2.89亿元，达到历史新高。2019-2022Q1-Q3 公司归母净利润持续下滑，利润端有所承压。图图12：2013-2021 年公司营业收入年公司营业收入 CAGR 达达 42%图图13：2019 年以来公司归母净利润明显下滑年以来公司归母净利润明显下滑 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 核心技术核心技术技术来源技术来源具体应用产品类别具体应用产品类别DP解码及分辨率自适应技术自主研发模组自动化检测系统；多路信号老化检测系统

35、；信号扩展检测设备高清静态图像信号编解码技术自主研发模组自动化检测系统；多路信号老化检测系统；辅助功能设备ShortingBar探针短接式信号检测技术自主研发面板自动化检测系统LVDS-to-V-BY-ONE信号扩展检测电路自主研发模组自动化检测系统；多路信号老化检测系统；信号扩展检测设备精密数字可编程恒流、恒压电源自主研发OLED调测系统基于机器视觉的LCD屏缺陷自动光学检测（AOI）技术引进、自主研发AOI检测系统OPEN/SHORT检测技术自主研发TouchPanel检测系统In-line/Off-line自动化设备自主研发平板显示自动化设备双模式MIPI超高分辨率显示检测技术自主研发模

36、组自动化检测系统；多路信号老化检测系统；信号扩展检测设备MIPI图像信号压缩与传输技术自主研发模组自动化检测系统；信号扩展检测设备显示模组动态显示检测技术自主研发模组自动化检测系统；多路信号老化检测系统；辅助功能检测系统DeMura修复技术自主研发AOI检测系统基于CPU+GPU+FPGA架构的自动光学检测技术自主研发模组自动化检测系统；面板自动化检测系统；AOI检测系统Mini/MicroLED检修与调校技术自主研发MicroLED缺陷检测系统Opencell/OLED全自动老化测试技术自主研发电子产品运送技术领域；电子产品测试技术领域多类型图像信号接收技术自主研发图像传感器信号采集系统、图

37、像传感器老化系统工业质检AI云服务技术平台自主研发泛外观检测领域基于光谱成像的高精度面阵亮色度检测技术自主研发Mini/MicroLED缺陷检测系统，显示屏亮色度/光谱检测系统，显微成像与光谱测量系统薄膜椭偏测量技术自主研发高性能膜厚量测设备光学关键尺寸测量技术自主研发高精度光学关键尺寸量测设备高分辨率电子束检测技术自主研发先进的晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备双目视觉对位与纠偏技术自主研发柔性OLEDArray段、切叠一体机卷材收/放卷张力控制技术自主研发切叠一体机基于网络的分布式存储与分布式事件处理系统自主研发切叠一体机、电芯装配线等双向大电流电源充放电技术自主研发化成分容测试系统平板显示

38、检平板显示检测设备测设备半导体检测半导体检测设备设备新能源设备新能源设备0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%051015202530营业收入（亿元）同比（%）-40%-20%0%20%40%60%80%00.511.522.533.5归母净利润（亿元）同比（%）请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 10/27 反映到盈利水平上，反映到盈利水平上，2018-2022Q1-Q3 公司销售净利率分别为公司销售净利率分别为 21.81%、13.33%、10.38%、5.81%和和 5.63%，整体呈下滑趋势。

39、，整体呈下滑趋势。1）毛利端：）毛利端：受产品结构变化及部分原材料价格上升、行业景气度下降等影响，2018 年以来明显下降。然而，公司半导体检测公司半导体检测设备毛利率快速提升，设备毛利率快速提升，2019-2022Q1-Q3 分别为分别为 30%、38%、37%和和 52%。2）费用端：）费用端：2018 年以来期间费用率持续提升，进一步压制利润端表现，主要系加大半导体和新能源研发投入，2018-2022Q1-Q3 研发费用率分别达到 12%、14%、16%、18%和 21%。图图14：2018 年以来公司销售净利率明显下降年以来公司销售净利率明显下降 图图15：2018 年以来公司期间费用

40、率年以来公司期间费用率明显上提明显上提 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：Wind，东吴证券研究所 半导体、新能源业务半导体、新能源业务进入进入放量放量阶段阶段，公司业绩拐点，公司业绩拐点有望有望出现。出现。根据 2022 年业绩预告，2022 年公司实现归母净利润 2.65-2.85 亿元，同比+37.81%-48.21%；实现扣非后净利润 1.05-1.25 亿元，同比下降 9.67%-7.54%。截至 2022Q3 末，公司合同负债与存货分别为 2.3 和 13.6 亿元，分别同比增长 262.2%和 46.4%，在手订单达到 21.9 亿元。展望2023年，随着新能源和半导

41、体业务持续放量，公司业绩有望重回高速增长通道。图图16：2022Q3 末公司末公司合同负债合同负债达到达到 2.3 亿元，同比亿元，同比+262.2%数据来源：Wind，东吴证券研究所 0%5%10%15%20%25%30%35%40%销售净利率（%）扣非销售净利率（%)0%10%20%30%40%50%60%70%销售毛利率（%）期间费用率（%）2.1 0.8 2.3 6.4 8.8 9.4 13.6 024689202020212022Q3合同负债（亿元）存货（亿元）请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深

42、度研究 11/27 2.半导体量半导体量/检测检测设备设备：前道弹性最大赛道，公司：前道弹性最大赛道，公司进入放量阶段进入放量阶段 2.1.量量/检测设备检测设备价值量占比排第四价值量占比排第四，2023 年本土市场规模年本土市场规模 326 亿元亿元 量量/检测是半导体制造重要的质量检查工艺，检测是半导体制造重要的质量检查工艺，包括量测和检测设备两大类。包括量测和检测设备两大类。量/检测设备在硅片和晶圆制造中广泛应用，涉及膜厚、折射率等参数测量、各类缺陷检测等需求，对硅片厂/晶圆厂保障产品良率、产品一致性、降低成本等至关重要。根据应用场景不同，量/检测设备主要分为量测、检测两大类，其中检测设

43、备占比高达63%。1）检测设备：检测设备：主要用于检测晶圆结构中是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等特征性结构缺陷；2）量测设备：）量测设备：指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理参数的测量。图图17：量量/检测设备主要包括检测和量测设备两大类检测设备主要包括检测和量测设备两大类 图图18：2020 年检测设备在量年检测设备在量/检测设备中占检测设备中占 63%数据来源：中科飞测招股说明书，东吴证券研究所 数据来源：中科飞测招股说明书，东吴证券研究所 量量/检测设备在半导体设备中价值量占比检测设备在半导体设备中价值量占

44、比排第四排第四，2019年销售额占比达到年销售额占比达到 11%，仅次于三大核心设备（薄膜沉积、光刻和刻蚀），明显高于清洗、涂胶显影、CMP等环节。细分设备类别来看，2020 年各类缺陷检测类设备占据量/检测设备近六成市场份额，其中纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩模版缺陷检测设备、无图形缺陷检测设备、图形缺陷检测设备价值量占比分别达到 24.7%、11.3%、9.7%和 6.3%。此外，关键尺寸量测设备也是前道量/检测设备重要组成部分，2020年价值量占比达到 10.2%。检测设备62.6%量测设备33.5%其他设备3.9%请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券

45、研究所东吴证券研究所 公司深度研究 12/27 图图19：量量/检测设备在半导体设备中价值量约占检测设备在半导体设备中价值量约占 11%图图20：2020 年缺陷检测设备在量年缺陷检测设备在量/检测设备中占比检测设备中占比 58%数据来源：SEMI，东吴证券研究所（注：2019年）数据来源：中科飞测招股书，东吴证券研究所 受益中国大陆晶圆厂逆周期扩产需求，我们预计受益中国大陆晶圆厂逆周期扩产需求，我们预计 2023 年中国大陆量年中国大陆量/检测设备市检测设备市场规模将达到场规模将达到 326 亿元，其中纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩模版缺陷检测设备、关亿元，其中纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩模版

46、缺陷检测设备、关键尺寸量测设备、无图形晶圆缺陷检测设备市场规模将分别达到键尺寸量测设备、无图形晶圆缺陷检测设备市场规模将分别达到 80、37、33、32 亿元。亿元。图图21：2022 和和 2023 年中国大陆半导体量年中国大陆半导体量/检测设备市场规模分别达到检测设备市场规模分别达到 290 和和 326 亿元亿元 数据来源：SEMI，VLSI Research，QY Research，东吴证券研究所测算（注：人民币：美元取 7.0：1）2.2.前道国产化率最低环节之一，看好美国制裁升级加速国产替代前道国产化率最低环节之一，看好美国制裁升级加速国产替代 全球范围内来看，全球范围内来看，KL

47、A 在半导体量在半导体量/检测设备领域一家独大检测设备领域一家独大。前道晶圆量/检测设备技术壁垒较高，全球市场长期由 KLA、AMAT、Hitachi 等海外龙头主导，其中 KLA一家独大，2020 年全球市场份额高达 51%，尤其是在晶圆形貌检测、无图形晶圆检测、有图形晶圆检测领域，KLA 在全球的市场份额更是分别高达 85%、78%、72%。薄膜沉积22%光刻21%刻蚀21%量/检测11%清洗5%涂胶显影4%CMP3%氧化扩散退火2%离子注入2%其他9%类别类别技术技术设备类型设备类型2020年全球销售额占比年全球销售额占比（%）检测光学纳米图形晶圆缺陷检测设备24.7%检测光学掩膜版缺陷

48、检测设备11.3%量测光学关键尺寸量测设备10.2%检测光学无图形晶圆缺陷检测设备9.7%量测电子束电子束关键尺寸量测设备8.1%量测光学套刻精度量测设备7.3%检测光学图形晶圆缺陷检测设备6.3%检测电子束电子束缺陷检测设备5.7%检测电子束电子束缺陷复查设备4.9%量测光学晶圆介质薄膜量测设备3.0%量测X光X光量测设备2.2%量测光学掩膜版关键尺寸量测设备1.3%量测光学三维形貌量测设备0.9%量测光学晶圆金属薄膜量测设备0.5%3.9%其他200022E2023E412.4566.2645.3597.57121026.41175120964.

49、682.3128134.5316%15%20%23%26%29%32%35%7.08.412.516.921.032.641.446.5495988032620%49%35%24%55%27%13%10.8%10.2%9.8%12.6%11.2%11.0%11.0%11.0%纳米图形晶圆缺陷检测设备（亿元）（24.7%）67280掩膜版缺陷检测设备（亿元）（11.3%）677关键尺寸量测设备（亿元）（10.2%）5691215233033无图形晶圆缺陷检测设备（亿元）（9.7%）5681114222832电

50、子束关键尺寸量测设备（亿元）（8.1%）4571012182326套刻精度量测设备（亿元）（7.3%）446911172124其他设备（亿元）（28.7%）58394同比（%）检测和量测设备价值量占比（%）其中中国大陆半导体检测和量测设备市场规模（亿元）中国大陆半导体检测和量测设备市场规模（亿元）中国大陆半导体检测和量测设备市场规模（亿美元）全球半导体设备销售额（亿美元）中国大陆半导体设备销售额（亿美元）中国大陆半导体设备销售额全球占比（%）请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 13/27 图图22：

51、2020年年KLA在全球半导体检测市场占比达在全球半导体检测市场占比达51%图图23：KLA 在部分检测设备领域全球市占率超过在部分检测设备领域全球市占率超过 70%数据来源：中科飞测招股说明书，东吴证券研究所（注：按销售额）数据来源：Gartner，东吴证券研究所（注：按销售额）量量/检测设备是前道国产化率最低的环节之一，检测设备是前道国产化率最低的环节之一，2022年国产化率仍不足年国产化率仍不足 3%。1）从收入口径来看，中科飞测、上海精测、上海睿励三家企业 2021 年销售收入合计约为5.13 亿元，对应市场份额不足 3%。2）若以批量公开招标的华虹无锡为统计标本，据我们不完全统计，2

52、022年华虹无锡完成量/检测设备招标 47台，国产设备中标 1台，对应国产化率仅为 2%，远低于去胶机、刻蚀设备、CMP 设备、清洗设备等环节。图图24：2020 年年 KLA 在本土量在本土量/检测设备检测设备市占率达市占率达 55%图图25：2022 年年华虹无锡华虹无锡量量/检测设备国产化率仅为检测设备国产化率仅为 2%数据来源：中科飞测招股说明书，东吴证券研究所 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所（注：仅考虑公开招投标，没有考虑二手、翻新&外贸厂商）KLA51%AMAT11%Hitachi9%雷泰光电6%创新科技6%ASML5%其他12%85%78%72%66%65%50%45%

53、0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%KLA55%AMAT9%Hitachi7%雷泰光学4%ASML3%其他22%80%33%23%15%11%10%6%2%0%0%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%2022年国产化率 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 14/27 图图26：2021 年三大量年三大量/检测设备企业在本土市场份额合计不足检测设备企业在本土市场份额合计不足 3%数据来源：中科飞测招股说明书，SEMI，东吴证券研究所测算（注：按销售额）美国美国制裁升级影响

54、制裁升级影响 KLA 业务开展，量业务开展，量/检测设备将迎来国产替代最佳窗口期。检测设备将迎来国产替代最佳窗口期。2022 年 10 月 7 日美国对中国大陆半导体制裁升级，尤其对 128 层及以上 3D NAND、18nm 及以下 DRAM、14nm 及以下逻辑芯片相关设备进一步管控。据路透社消息，KLA 自 2022 年 10 月 12 日起停止向中国大陆客户提供销售和服务。我们看好在制裁升级背景下，本土晶圆厂加速国产设备导入，二者协同合作解决先进制程工艺产业化瓶颈，量/检测设备作为前道国产化率最低的环节之一，有望迎来国产替代最佳机遇。图图27：2022 财年财年 KLA 在中国大陆收入

55、达在中国大陆收入达 26.6 亿美元亿美元 图图28：2022 财年财年 KLA 对中国大陆收入占比达到对中国大陆收入占比达到 29%数据来源：Wind，东吴证券研究所（横轴为财年）数据来源：Wind，东吴证券研究所（横轴为财年）2.3.公司公司量量/检测设备检测设备优势明显优势明显，有望进入加速放量阶段有望进入加速放量阶段 从从产品布局来看，产品布局来看，公司公司量量/检测检测设备全面覆盖光学和电子束检测，设备全面覆盖光学和电子束检测，是国内是国内量量/检测设检测设备备产品产品布局布局最为最为齐全齐全的企业之一的企业之一。1）光学检测）光学检测：包括膜厚量测、光学关键尺寸测量（OCD）、有图

56、形晶圆缺陷检测、晶圆外观缺陷检测、硅片形貌及应力测试设备等。2）电子束检测：电子束检测：包括电子束晶圆缺陷复查（Review SEM）设备、FIB-SEM 双束系统等。销售收入销售收入 市场占有率市场占有率 销售收入销售收入 市场占有率市场占有率 销售收入销售收入 市场占有率市场占有率 销售收入销售收入 市场占有率市场占有率上海睿励0.270.31%0.120.10%0.200.15%0.410.18%上海精测0.030.03%0.040.03%0.570.42%1.110.49%中科飞测0.300.35%0.560.47%2.381.74%3.611.58%合计合计0.600.600.69%

57、0.69%0.720.720.60%0.60%3.153.152.31%2.31%5.135.132.25%2.25%2000212021单位：亿元单位：亿元4.3 4.1 6.4 12.2 14.6 18.3 26.6-20%0%20%40%60%80%100%0500022KLA中国大陆收入（亿美元）同比（%）14%12%16%27%25%26%29%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%200022其他亚洲国

58、家欧洲和以色列中国大陆韩国日本北美中国台湾 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 15/27 图图29：公司在量公司在量/检测设备领域的产品布局较为全面检测设备领域的产品布局较为全面 数据来源：各公司官网，中科飞测招股说明书，东吴证券研究所（注：公开信息搜集梳理，可能存在误差）从产业化进展来看从产业化进展来看，公司公司膜厚膜厚量测量测已已较为成熟较为成熟，OCD&电子束设备具备国产稀缺电子束设备具备国产稀缺性性，并积极布局明场缺陷检测，并积极布局明场缺陷检测&形貌量测领域形貌量测领域。膜厚量测设备为公司基本盘，2020年

59、1月即中标长江存储膜厚量测设备批量订单，现已获得多家一线客户批量订单，市场竞争力较强。公司 OCD 设备已通过多家一线客户验证，电子束量测设备已取得国内一线客户批量订单，均是国内稀缺供应商。此外，公司明场光学缺陷检测设备也已取得突破性订单，半导体硅片应力测量设备也取得客户订单，多品类产业化快速突破。图图30：公司公司量量/检测设备检测设备产业化进程在产业化进程在本土本土企业中保持领先地位企业中保持领先地位 数据来源：各公司官网、各公司公告，东吴证券研究所（注：公开信息搜集梳理，可能存在误差）公司量公司量/检测设备检测设备业务快速增长业务快速增长，看好，看好 2023 年加速放量年加速放量。20

60、21 年上海精测实现营公司公司关键尺寸关键尺寸（OCD）（OCD）电子束电子束膜厚膜厚形貌形貌应力应力无图形晶圆无图形晶圆缺陷检测缺陷检测有图形晶圆有图形晶圆缺陷检测缺陷检测套刻误差套刻误差上海精测上海精测中科飞测中科飞测睿励科学睿励科学东方晶源东方晶源上海微电子上海微电子埃芯半导体埃芯半导体南京中安南京中安企业企业设备种类设备种类制程制程进度进度膜厚测量设备（EFILM）28nm FEOL，14nm BEOL取得一线客户批量订单关键尺寸测量设备（OCD）28nm多家客户验证通过，并成功交付光学形貌量测设备（TG 300IF）2022年9月成功交付大客户电子束缺陷复检设备（Review-SEM

61、）1Xnm取得一线客户批量订单有图形光学缺陷检测设备（BFI 100）65-180nm2022年12月成功交付客户晶圆外观缺陷光学检查设备2021年8月成功交付客户半导体硅片应力测试设备获得客户订单多台设备28nm通过验收十八型号设备1Xnm正在研发十七型号设备2Xnm以下生产线验证并取得订单光学薄膜测量设备65/55/40/28nm逻辑；64L3D NAND已应用在65/55/40/28nm逻辑产线，并在进行14nm工艺验证；存储产线支持64层3DNAND，正在验证96层3D NAND关键尺寸测量设备（OCD）研发中有图形/无图形外观缺陷检测设备100nm取得一线客户批量订单关键尺寸量测设备

62、（CD-SEM）2022年6月成功交付上海客户电子束缺陷检测设备（EBI）28nm2022年6月成功交付上海客户电子束复检设备（DR-SEM）28nmAlpha机通过验证，已取得订单上海睿励上海睿励中科飞测中科飞测东方晶源东方晶源上海精测上海精测 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 16/27 收 1.11 亿元，2018-2021 年收入 CAGR 高达 250%。2021.12.1 至 2022.11.11 上海精测与同一客户销售合同累计达到 3.38 亿元，约是 2018-2021 年上海精测营业收入之和的 2倍，

63、标志着公司正式进入重复订单放量阶段。展望 2023 年，在美国制裁升级、KLA 中国大陆业务受阻的背景下，看好公司设备在下游客户加速导入，订单加速放量。图图31：2018-2021 年上海精测营业收入年上海精测营业收入 CAGR 达到达到 250%数据来源：Wind，东吴证券研究所 3.面板检测设备：面板检测设备：静待下游回暖，静待下游回暖，新技术驱动主业稳步增长新技术驱动主业稳步增长 3.1.面板行业面板行业仍处于下行周期仍处于下行周期，看好新技术路线贡献设备，看好新技术路线贡献设备需求需求增量增量 整体来看，整体来看，面板行业面板行业仍处在下行周期仍处在下行周期，静待需求回暖释放弹性空间，

64、静待需求回暖释放弹性空间。1）从出货量）从出货量来看来看：2022 年面板行业经历了史上最长的 15 个月跌价周期，面板厂商被迫控产稳价。据奥维睿沃数据，2022年全球显示器面板出货1.6亿片，同比下降9%。2）从从设备投资设备投资来看来看：行业下行周期背景下，面板厂投资趋于谨慎。据 DSCC 数据，2022 年全球面板设备投资额约 119 亿美元，同比-10%。展望未来，随着展望未来，随着疫情放开后消费需求快速复苏，疫情放开后消费需求快速复苏，我们我们看好面板终端需求看好面板终端需求逐步逐步回暖回暖，进而带动设备投资上行，进而带动设备投资上行。图图32：2022 年全球显示面板出货量同比下降

65、年全球显示面板出货量同比下降 9%图图33：2020 年以来全球面板行业设备投资持续承压年以来全球面板行业设备投资持续承压 数据来源：奥维睿沃，东吴证券研究所 数据来源：DSCC，东吴证券研究所 2.594.1356.74110.6251.170%200%400%600%800%1000%1200%1400%0204060800022H1营业收入（百万元）同比（%）11%-5%13%6%-9%-1%-15%-10%-5%0%5%10%15%002120222023E显示面板出货（百万片

66、）同比（%）-30%-20%-10%0%10%20%30%05002001920202021 2022E全球面板设备投资（亿美元）同比（%）请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 17/27 细分技术路线来看，细分技术路线来看，LCD 具备具备大型化、大型化、产能向中国大陆转移趋势产能向中国大陆转移趋势，进入存量调整进入存量调整阶段，阶段，OLED、Mini、Micro LED 等等新新技术技术路线路线贡献增量需求贡献增量需求。1）LCD：三星于 2022 年 6 月彻底退出 LC

67、D 市场，LGD 也于 2022 年底前结束坡州 P7产线的生产，LCD面板面板产能具备向产能具备向中国中国大陆转移的趋势大陆转移的趋势。此外，为应对更大尺寸电视需求，2021 年京东方、TCL 华星和广州超视界相继宣布 10.5 代产线扩产计划，三家合计产能扩充可达 15.5万片。面板大型化趋势下，面板大型化趋势下，LCD 扩产需求有望放大。扩产需求有望放大。2）新型显示：）新型显示：（1）OLED：Frost&Sullivan 预计 OLED 面板全球出货量将由 2020年 970 万平方米增长至 2025 年 2,510 万平方米，年均复合增速 16%；（2）Mini LED：已进入量产

68、初期，Million Insights预计 2025年全球 Mini LED市场规模将达 59亿美元，2019-2025 年均复合增长率达 87%；（3）Micro LED：尚处于产业化初期，DSCC 预计2027 年在可穿戴应用市场出货有望突破 1000 万片，在 VR/AR 市场出货将达到 670 万片，成长空间较大。根据高工根据高工 LED 不完全统计，不完全统计，2021 年国内年国内 Mini/Micro-LED 等领域等领域新增投资超过新增投资超过 750 亿元，已成为面板行业重要增长点。亿元，已成为面板行业重要增长点。图图34：2019-2022 年全球年全球 Mini LED

69、出货量出货量 CAGR 601%图图35：2022 年国内年国内 Mini/Micro LED 产业化快速推进产业化快速推进 数据来源：Display，东吴证券研究所 数据来源：OFweek，东吴证券研究所 平板显示检测贯穿面板生产平板显示检测贯穿面板生产 Array、Cell 和和 Module 三大三大制程制程。1）Array：检测系统主要包括 Array 测试机、CF 测试机、PS 检测系统、CF 阶差系统、Total Pitch 检测系统、AOI 光学检测系统等；2）Cell：检测系统主要包括亮点检测系统、AOI 光学检测系统、配向检测系统等；3）Module：主要包括点灯检测系统、老

70、化检测系统等。0.050.19.3517.250502020212022Mini LED出货（百万台）Mini LED出货（百万台）时间时间企业企业金额金额项目项目2022年1月华灿光电15亿元新型全色 Mini/Micro LED 高性能外延与芯片的研发及生产化项目2022年2月沃格光电16.5亿元玻璃基材的Mini/Micro LED基板生产项目2022年3月乾兆光电15亿元Mini/Micro、高光效 LED 芯片研发及制造项目2022年4月雷曼光电6.89亿元对现有基于 COB的 Micro LED 显示产品产能扩产，提高供货能力2022年5月瑞丰光电15亿元瑞丰

71、光电 Mini/Micro LED 湖北生产基地项目2022年6月聚灿光电12亿元Mini/Micro LED 芯片研发及制造扩建项目2022年12月 三安光电79亿元Mini/Micro 显示产业化项目 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 18/27 图图36：检测系统应用检测系统应用贯穿贯穿面板生产面板生产 Array、Cell 和和 Module 三大制程三大制程 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 我们我们预估预估检测设备在面板设备投资中约占检测设备在面板设备投资中约占 20%，对应对应 2016-2022 年全

72、球显示面板年全球显示面板检测设备市场规模检测设备市场规模分别约分别约 259、325、279、204、218、185 和和 167 亿元亿元。图图37：我们预估我们预估 2022 年全球显示面板检测设备市场规模约年全球显示面板检测设备市场规模约 167 亿元亿元 数据来源：DSCC，东吴证券研究所测算 展望未来，展望未来，新显示技术路线新显示技术路线对于对于检测设备检测设备的需求度的需求度明显提升明显提升。核心体现在：1）新显示技术解析度、刷新率和信号传输速度更高，对于检测系统的性能、集成度和检测效率要求更高。2）Mini/Micro LED 采用硅基工艺，需要显示晶圆及芯片段等中后道检测产品

73、。3）新型显示器件对产线良率的要求更为严苛。面板工艺标准逐渐向晶圆级靠面板工艺标准逐渐向晶圆级靠拢，对检测设备的需求量和精度要求更高拢，对检测设备的需求量和精度要求更高，将为检测设备市场需求贡献新增量。，将为检测设备市场需求贡献新增量。200022E6%-14%-27%7%-15%-10%383320%20%20%20%20%20%20%259325279204218185167全球面板设备投资（亿美元）同比（%）全球面板设备投资（亿元）全球面板检测设备投资（亿元

74、）全球面板检测设备投资（亿元）检测设备价值量占比（%）请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 19/27 图图38：新显示技术新显示技术对对于于检测设备的需求量和精度要求更高检测设备的需求量和精度要求更高 数据来源：京东方公告，和辉光电公告，华兴源创公告，东吴证券研究所 3.2.由由 Module、Cell 拓展至拓展至 Array，募投项目打开，募投项目打开公司公司成长成长空间空间 细分制程来看，细分制程来看，Cell和和 Module检测设备已基本实现国产化，公司产品覆盖面行业检测设备已基本实现国产化，公司产品覆盖面行业

75、领先领先。2021 年中国大陆 AMOLED Cell/Module 检测设备销售额前三名分别为华兴源创、精测电子和精智达，市场占比分别达到32%、23%、13%，Cell/Module检测设备国产化率高达 86%。公司全面覆盖 AVI、API、Demura 等核心工序，产品覆盖度行业领先。图图39：公司在公司在 AMOLED 行业行业 Cell/Module 制程检测设备领域布局完善制程检测设备领域布局完善 数据来源：CINNO Research，东吴证券研究所 AVIAPIDemuraOTPAgingPG精测电子精测电子华兴源创华兴源创精智达精智达凌云光凌云光Young WooANI设备商

76、设备商韩国中国 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 20/27 图图40：2021 年年公司在公司在中国大陆中国大陆 AMOLED Cell/Module 检测设备领域市场占比检测设备领域市场占比 23%数据来源：CINNO Research，东吴证券研究所 在在 Array 检测领域，检测领域，公司公司是本土稀缺是本土稀缺国产国产供应商，供应商，具备较大国产替代空间具备较大国产替代空间。在稳固 Cell/Module 段市场竞争力的同时，公司不断向前段 Array 领域扩展，是国内少数能全面覆盖平板显示三大制程检测系统

77、的企业之一。2021 年中国大陆 AMOLED 行业Array 检测设备国产化率仅为 8%，公司市场占比约 3%，排名第一，国产替代空间较大。图图41：2021 年公司在中国大陆年公司在中国大陆 AMOLED Array 检测设备领域市场占比检测设备领域市场占比 3%数据来源：CINNO Research，东吴证券研究所 2021-2022 年两次募投加码高端平板显示检测业务，公司主业仍有较大成长空间年两次募投加码高端平板显示检测业务，公司主业仍有较大成长空间。1）2021 年公司拟募集 3.0 亿元用于“Micro-LED 显示全制程检测设备的研发及产业化项目”，聚焦 Mini/Micro-

78、LED 光学检测领域；2）2022年公司拟募集 4.85亿元用于“高端显示用电子检测系统研发及产业化项目”，主要应用于中大尺寸 OLED和 Mini/Micro-LED 领域，聚焦电子检测领域，达产年收入 10.5亿元。华兴源创32%精测电子23%精智达13%凌云光10%ANI4%其他（境内）8%其他（境外）10%HB Technology21%Yang Electronic15%DIT10%Orbotech6%V-tech4%Thermo Fisher4%Keysight4%精测电子3%其他（境内）5%其他（境外）28%请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证

79、券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 21/27 4.新能源设备：新能源设备：聚焦中后道工序聚焦中后道工序，受益，受益中创新航中创新航扩产浪潮扩产浪潮 新能源汽车需求新能源汽车需求高增长高增长&储能需求快速放量储能需求快速放量，锂电锂电设备设备行业景气度行业景气度拉长拉长。据乘联会数据，2022 年我国新能源汽车产销量分别达到 705.8 和 688.7 万辆，同比增长 96.9%和 93.4%。在新能源汽车产销两旺的背景下，动力电池需求快速放量，据 GGII 数据，2021 年我国动力电池出货量达到 226GWh，同比+183%，2030 年有望达到 2230GWh，潜在扩产空间广阔，带动锂

80、电设备需求持续增长。此外，叠加储能需求快速放量，我们预估 2025年全球锂电设备市场规模将达到 2690 亿元，2022-2025 年 CAGR约为 26%。图图42：2025 年全球锂电设备需求将达到年全球锂电设备需求将达到 2690 亿元亿元 数据来源：EV Sales，Wind，东吴证券研究所测算 公司公司紧密绑定中创新航，将充分受益其大规模扩产紧密绑定中创新航，将充分受益其大规模扩产需求需求。据 SNE Research 数据，2022 年中创新航动力电池装机量达到 20.0GWh，同比+151.6%，全球市场份额达到3.9%。展望未来，中创新航持续加大产能扩张力度，2025 年动力电

81、池目标产能达到500GWh，约是 2022 年装机量的 25 倍，2030 年预计产能达 1TWh。公司公司与中创新航签与中创新航签署战略合作伙伴协议，确定公司为其锂电设备优选合作商署战略合作伙伴协议，确定公司为其锂电设备优选合作商，并作为基石投资者参与并作为基石投资者参与2020A2021A2022E2023E2024E2025E国内2538828712957全球7797826898700785国内5%13%25%30%35%40%全球4%8%12%18%24%30%国内610051183全球330251

82、332365562407788650%50%50%50%50%50%3448047573203136816851.81.71.61.51.41.4220%52%35%16%25%530800402243850%150%150%155%155%155%3365453%54%54%55%55%56%626028041

83、41.71.61.51.31.10.893171%89%3%7%224%54%42%14%22%合计合计同比增速（%）全球锂电设备需求（亿元）全球锂电设备需求（亿元）假设单GWh设备投资额（亿元）全球储能锂电设备需求（亿元）全球储能锂电设备需求（亿元）同比增速(%)动力电池动力电池储能电池储能电池放大比例全球储能锂电出货量（全球储能锂电出货量（GWh）产能利用率实际产能（GWh）新增产能测算（GWh）光伏新增储能（GWh）风电新能储能（GWh）电网侧储能（GWh）基站服务等其它储能（GWh）全球储能装机需求（全球储能装机需求（G

84、Wh）全球动力锂电设备需求（亿元）全球动力锂电设备需求（亿元）同比增速(%)平均单车带电量（KWh）全球动力电池需求量合计（全球动力电池需求量合计（GWh）产能利用率实际产能（GWh）新增产能测算（GWh）假设单GWh设备投资额（亿元）汽车销量（万辆）汽车销量（万辆）新能源车渗透率新能源车渗透率新能源车销量（万辆）新能源车销量（万辆）请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 22/27 认购中创新航在联交所的首次公开发行股份，认购中创新航在联交所的首次公开发行股份，将充分将充分受益于中创新航大规模扩产受益于中创新航大规模扩产。

85、图图43：2022 年中创新航动力电池装机量全球占比年中创新航动力电池装机量全球占比 3.9%图图44：中创新航已有产能规划达到中创新航已有产能规划达到 410GWh 数据来源：SNE Research，东吴证券研究所 数据来源：中商产业研究院，东吴证券研究所 产品布局方面，产品布局方面，公司聚焦中后道工序核心设备。公司聚焦中后道工序核心设备。公司现有产品布局主要包括切叠一体机、化成分容测试系统、锂电池视觉检测系统、电芯装配线和激光模切机，其中化成分容测试系统已形成批量出货，切叠一体机已获中创新航认证通过，锂电池视觉检测系统、电芯装配线和激光模切机属于新产品，尚未进行客户认证。图图45：公司在

86、锂电设备领域聚焦中后道核心设备环节公司在锂电设备领域聚焦中后道核心设备环节 数据来源：OFWeek，东吴证券研究所 公司公司新能源新能源业务业务快速快速放量放量，募投项目打开成长瓶颈募投项目打开成长瓶颈。1）从收入端来看：）从收入端来看：2022Q1-Q3 公司新能源业务实现收入 2.23 亿元，同比+502%，其中化成分容电源柜实现收入1.70 亿元，构成收入主体；2）从在手订单来看：）从在手订单来看：截至 2022Q3 末，公司新能源领域在手订单 4.23 亿元（含税），其中化成分容在手订单 2.36 亿元（含税），主要应用于中创新航武汉、成都和厦门项目；切叠一体机在手订单2900万元（含

87、税），主要应用于中创新航合肥项目。2022 年公司年公司募投项目加码募投项目加码新能源新能源设备设备，选址常州（中创新航、蜂巢能选址常州（中创新航、蜂巢能源、江苏时代和时代上汽等头部动力电池厂商总部所在地），源、江苏时代和时代上汽等头部动力电池厂商总部所在地），达产年收入达产年收入 14.65 亿元，亿元，打开成长瓶颈。打开成长瓶颈。排名排名电池企业电池企业 2022年装机量（GWh）2022年装机量（GWh）同比同比2022年市占率2022年市占率1宁德时代191.692.5%37.0%2比亚迪70.4167.1%13.6%3LG新能源70.418.5%13.6%4松下电池384.6%7.3

88、%5SK On27.861.1%5.4%6三星SDI24.368.5%4.7%7 7中创新航中创新航2020151.6%151.6%3.9%3.9%8国轩高科14.1112.2%2.7%9欣旺达9.2253.2%1.8%10孚能科技7.4215.1%1.4%44.555.9%8.6%517.971.8%100.0%其他合计基地位置基地位置产能规划产能规划（GWh）（GWh）项目状态项目状态福建厦门60已投产安徽合肥50一期投产，二期设备安装，三期在建湖北武汉50一期投产，二期预计2023年年底投产广东广州50签约广东江门502022Q1投产四川成都50一期投产，二期签约四川眉山20在建江苏常州

89、70一期二期投产河南洛阳10投产合计合计410410-请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 23/27 图图46：2022 年公司新能源设备募投项目达产产年公司新能源设备募投项目达产产值约值约 14.65 亿元亿元 数据来源：公司公告，东吴证券研究所 5.盈利预测盈利预测与投资建议与投资建议 核心假设：核心假设：1）平板显示检测设备：）平板显示检测设备：我们预计 2022-2024 年收入分别同比+2%、+15%和+17%。毛利率分别为 45.00%、45.59%和 45.98%。具体来看：（1）AOI 光学检测系统：光学

90、检测系统：OLED、Mini/Micro LED 对于光学检测的需求明显增加，受益于新显示技术渗透率提升，假设 2022-2024 年收入分别同比+5%、+15%和+20%。随着显示行业景气回暖，假设 2022-2024年毛利率分别为 40.00%、41.00%和 42.00%。（2）信号检测系统：）信号检测系统：主要应用于 LCD领域，假设 2022-2024年收入分别同比-15%、10%和 5%，毛利率稳定在 56.00%。（3）OLED 检测系统：检测系统：受益于 OLED 渗透率快速提升，有望稳健增长，假设2022-2024年收入同比增速分别为 10%、20%、20%，毛利率稳定在 4

91、9.00%。（4）平板显示自动化设备：）平板显示自动化设备：主要应用于 LCD 领域，假设 2022-2024年收入分别同比-15%、-10%和 0%，毛利率稳定在 35.00%。2）新能源设备：）新能源设备：受益于中创新航等锂电龙头大规模扩产需求，叠加公司募投产能释放，我们预计 2022-2024 年收入分别同比+400%、+70%和+50%。随着成本端规模效应显现，我们预计 2022-2024 年毛利率分别为 32.00%、33.50%和 35.00%。3）半导体设备：）半导体设备：美国制裁升级背景下晶圆厂加速国产设备商导入，公司作为本土量/检测设备稀缺龙头之一，有望深度受益。我们预计 2

92、022-2024 年公司半导体设备收入分别同比+50%、+80%和+60%。随着产品结构改善&规模化降本，公司半导体设备毛利率有望快速提升，假设 2022-2024 年毛利率分别为 40.00%、42.50%和 45.00%。主要目标客户主要目标客户产品认证进展情况产品认证进展情况化成分容测试系统化成分容测试系统1045004.5中创新航、武汉中原电子已通过认证并实现量产销售切叠一体机切叠一体机1305006.5中创新航 已获得认证通过，2022 年 9 月取得中航锂电合肥项目切叠一体机订单电芯装配线电芯装配线1030003某头部锂电池厂商产品预研完成，处于技术方案对接阶段，预计2023 年上

93、半年通过产品认证并实现量产锂电池视觉检测系统锂电池视觉检测系统351000.35中创新航、新海宜等产品样机开发阶段，预计 2022 年底通过产品认证并实现量产激光模切机激光模切机103000.3中创新航等产品预研阶段，预计 2023 年上半年通过产品认证并实现量产合计合计14.65客户认证情况客户认证情况募投项目产品募投项目产品达产销量达产销量（台）（台）单价单价（万元）（万元）达产年收入达产年收入（亿元）（亿元）请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 24/27 盈利预测：盈利预测：基于以上假设，我们预计公司 2022-2

94、024 年营业收入分别为 27.39、34.13 和 42.99亿元，分别同比+14%、+25%和+26%；2022-2024 年归母净利润分别为 2.73、3.85 和5.34亿元，分别同比+42%、+41%和+39%。表表1：公司分业务收入预测（百万元）公司分业务收入预测（百万元）2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 平板显示检测设备平板显示检测设备 1,894 2,188 2240 2568 3011 yoy（%）0%15%2%15%17%毛利率（毛利率（%）49.57%43.77%45.00%45.59%45.98%AOI光学检测系统 689 893 938 10

95、79 1294 yoy（%）-10%30%5%15%20%毛利率（%）45.43%37.74%40.00%41.00%42.00%信号检测系统 200 295 251 276 289 yoy（%）-37%47%-15%10%5%毛利率（%）56.78%56.19%56.00%56.00%56.00%OLED检测系统 736 809 889 1067 1281 yoy（%）8%10%10%20%20%毛利率（%）53.95%48.46%49.00%49.00%49.00%平板显示自动化设备 269 191 162 146 146 yoy（%）107%-29%-15%-10%0%毛利率（%）42.

96、84%32.95%35.00%35.00%35.00%新能源设备新能源设备 81 52 259 441 661 yoy（%）478%-36%400%70%50%毛利率（毛利率（%）4.68%30.55%32.00%33.50%35.00%半导体设备半导体设备 65 136 204 368 588 yoy（%）1277%111%50%80%60%毛利率（毛利率（%）38.16%37.02%40.00%42.50%45.00%其他业务其他业务 37 33 35 37 39 yoy（%）2%-9%5%5%5%毛利率（毛利率（%）45.46%60.75%60.00%60.00%60.00%总营业收入总

97、营业收入 2077 2409 2739 3413 4299 yoy（%）6%16%14%25%26%毛利率（毛利率（%）47.39%43.34%43.59%43.85%44.29%数据来源：Wind，东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 25/27 投资评级：投资评级：我们预计 2022-2024 年公司 EPS 分别为 0.98、1.38 和 1.92 元，当前股价对应动态PE 分别为 68、48 和 35 倍。考虑到公司在半导体量/检测设备领域的市场竞争力，以及新能源设备快速放量，成长性突出，首次覆盖，

98、给予“增持”评级。图图47：可比公司估值（可比公司估值（PE，截至，截至 2023/03/09 收盘股价）收盘股价）数据来源：Wind，东吴证券研究所（注：华兴源创、凌云光盈利预测来自 Wind 一致预期，芯源微、拓荆科技盈利预测来自东吴证券研究所）6.风险提示风险提示 1、美国制裁风险：、美国制裁风险：若美国制裁升级，公司半导体量/检测设备核心零部件供应受阻，则将会对公司半导体设备业务的产业化推进造成明显负面影响。2、下游扩产不及预期的风险：、下游扩产不及预期的风险：公司产品需求和下游资本开支直接相关，若晶圆厂、面板厂、动力电池企业扩产不及预期，将会对公司订单获取造成一定影响。3、毛利率下滑

99、：、毛利率下滑：若产品结构变化、原材料等影响毛利率下滑的因素未明显缓解且公司未能通过新产品研发及销售提升公司毛利率，公司将面临毛利率持续下滑的风险。2022E2023E2024E2022E2023E2024E688001.SH华兴源创华兴源创142.0032.233.25.57.4442619688400.SH凌云光凌云光129.2727.892.03.14.3644230688037.SH芯源微芯源微218.35235.752.02.73.772.SH拓荆科技拓荆科技372.48294.503.74.86.940300567.SZ精测电子精测电子1

100、85.8666.822.733.855.34684835PE平均平均代码代码公司名称公司名称市值市值（亿元）（亿元）股价股价（元）（元）归母净利润（亿元）归母净利润（亿元）请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 26/27 精测电子精测电子三大财务预测表三大财务预测表 Table_Finance 资产负债表（百万元）资产负债表（百万元）2021A 2022E 2023E 2024E 利润表（百万元）利润表（百万元）2021A 2022E 2023E 2024E 流动资产流动资产 3,810 4,289 4,935 5,740

101、 营业总收入营业总收入 2,409 2,739 3,413 4,299 货币资金及交易性金融资产 1,474 1,732 1,887 2,151 营业成本(含金融类)1,365 1,545 1,916 2,395 经营性应收款项 1,002 1,158 1,409 1,659 税金及附加 16 16 20 26 存货 943 972 1,127 1,311 销售费用 208 241 266 322 合同资产 249 274 341 430 管理费用 229 274 280 344 其他流动资产 142 154 171 189 研发费用 426 575 648 817 非流动资产非流动资产 2,

102、237 2,228 2,215 2,199 财务费用 48 25 26 27 长期股权投资 216 216 216 216 加:其他收益 77 68 85 107 固定资产及使用权资产 709 1,061 1,220 1,279 投资净收益 19 22 14 9 在建工程 764 382 191 96 公允价值变动-15 0 0 0 无形资产 212 232 252 272 减值损失-22-65-19-18 商誉 35 35 35 35 资产处置收益 0 151 0 0 长期待摊费用 28 27 27 27 营业利润营业利润 176 238 336 465 其他非流动资产 274 274 27

103、4 274 营业外净收支 -4 0 0 0 资产总计资产总计 6,047 6,517 7,150 7,939 利润总额利润总额 172 238 336 465 流动负债流动负债 1,672 1,936 2,281 2,673 减:所得税 33 36 50 70 短期借款及一年内到期的非流动负债 724 824 904 954 净利润净利润 140 202 285 396 经营性应付款项 665 720 892 1,115 减:少数股东损益-52-71-100-138 合同负债 76 154 192 239 归属母公司净利润归属母公司净利润 192 273 385 534 其他流动负债 207

104、238 293 365 非流动负债 833 833 833 833 每股收益-最新股本摊薄(元)0.69 0.98 1.38 1.92 长期借款 229 229 229 229 应付债券 281 281 281 281 EBIT 224 87 282 395 租赁负债 28 28 28 28 EBITDA 308 182 380 496 其他非流动负债 294 294 294 294 负债合计负债合计 2,505 2,769 3,114 3,506 毛利率(%)43.34 43.59 43.85 44.29 归属母公司股东权益 3,315 3,591 3,978 4,515 归母净利率(%)7

105、.98 9.97 11.28 12.43 少数股东权益 228 157 57-82 所有者权益合计所有者权益合计 3,542 3,748 4,035 4,433 收入增长率(%)16.01 13.69 24.61 25.95 负债和股东权益负债和股东权益 6,047 6,517 7,150 7,939 归母净利润增长率(%)-20.94 42.02 41.01 38.70 现金流量表（百万元）现金流量表（百万元）2021A 2022E 2023E 2024E 重要财务与估值指标重要财务与估值指标 2021A 2022E 2023E 2024E 经营活动现金流-182 121 200 346 每

106、股净资产(元)11.72 12.71 14.11 16.03 投资活动现金流-606 88-71-76 最新发行在外股份（百万股）278 278 278 278 筹资活动现金流 1,033 49 26-6 ROIC(%)4.43 1.50 4.52 5.89 现金净增加额 239 258 155 264 ROE-摊薄(%)5.80 7.60 9.68 11.83 折旧和摊销 84 94 98 101 资产负债率(%)41.42 42.49 43.56 44.16 资本开支-615 66-85-85 P/E（现价&最新股本摊薄）96.65 68.06 48.26 34.80 营运资本变动-476

107、-139-280-269 P/B（现价）5.70 5.26 4.74 4.17 数据来源:Wind,东吴证券研究所，全文如无特殊注明，相关数据的货币单位均为人民币，预测均为东吴证券研究所预测。免责及评级说明部分 免责声明免责声明 东吴证券股份有限公司经中国证券监督管理委员会批准，已具备证券投资咨询业务资格。本研究报告仅供东吴证券股份有限公司（以下简称“本公司”）的客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为客户。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议，本公司不对任何人因使用本报告中的内容所导致的损失负任何责任。在法律许可的情况下，东吴证券及其所属关联机构可能会持

108、有报告中提到的公司所发行的证券并进行交易，还可能为这些公司提供投资银行服务或其他服务。市场有风险，投资需谨慎。本报告是基于本公司分析师认为可靠且已公开的信息，本公司力求但不保证这些信息的准确性和完整性，也不保证文中观点或陈述不会发生任何变更，在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的报告。本报告的版权归本公司所有，未经书面许可，任何机构和个人不得以任何形式翻版、复制和发布。如引用、刊发、转载，需征得东吴证券研究所同意，并注明出处为东吴证券研究所，且不得对本报告进行有悖原意的引用、删节和修改。东吴证券投资评级标准：公司投资评级：买入：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对大盘在 15%以上；增持：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对大盘介于 5%与 15%之间；中性：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对大盘介于-5%与 5%之间；减持：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对大盘介于-15%与-5%之间；卖出：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对大盘在-15%以下。行业投资评级：增持：预期未来 6 个月内，行业指数相对强于大盘 5%以上；中性：预期未来 6 个月内，行业指数相对大盘-5%与 5%；减持：预期未来 6 个月内，行业指数相对弱于大盘 5%以上。东吴证券研究所 苏州工业园区星阳街 5号 邮政编码：215021 传真：（0512）62938527 公司网址：http:/