1、测试、沉积、炉管、刻蚀、清洗设备招标台数居前。从中标数量来看,2017-2021Q1测试设备(前道+后道超 2000 台)、沉积设备(937 台)、炉管设备(869 台)、刻蚀设备(677 台)、清洗设备(601 台)中标量较多,主要原因系:1)随着制程精度提升,刻蚀、沉积加工次数增加,且刻蚀设备、沉积设备可配合光刻机的多重掩膜技术提升制程精度;2)制程精度提升强化良率控制要求,对检测测试设备和清洗设备的需求增多,促使相关设备采购数量提升。但从设备价值占比角度考虑,由于光刻机、刻蚀设备、沉积设备等单价较高,在晶圆厂设备投资中占比较高。干法去胶、清洗、刻蚀设备国产率分别达 45.5%、30.6%
2、、22.2%。从国产化率角度来看,自 2017 年以来,干法去胶设备国产率最高,达 45.5%,清洗设备、刻蚀设备紧随其后,国产率分别为 30.6%和22.2%。十大晶圆厂分设备国产率分别为:干法去胶设备(45.5%)、清洗设备(30.6%)、刻蚀设备(22.2%)、抛光设备(21.6%)、炉管设备(14.7%)、涂胶显影机(10.0%)、沉积设备(8.5%)、前道检测设备(5.2%)、离子注入机(2.4%)、后道测试设备(1.9%)、光刻机(1.6%)。其中前道检测设备包含电子显微镜、膜厚测量设备、缺陷检查设备、光学外观检测设备等应用于晶圆前道制程的所有检测设备,后道测试设备包含分选机、测试
3、机、探针台,清洗设备包含单片、槽式及用于清洗的湿法刻蚀、去除设备。2020 年后,全部工艺环节国产率全面提升,抛光、刻蚀、炉管、涂胶显影、离子注入等设备国产率提升速度较快。2020-2021Q1,十家晶圆制造企业合计开标 1862台设备,其中国产设备达315 台,国产率达 16.9%,较 2017-2019 年增长6.6pp。其中抛光、刻蚀、炉管、涂胶显影、离子注入等设备国产率提升较快。各工艺环节国产率均有明显提升,具体如下:抛光设备(2020-2021Q1 国产率为 36.4%,较 2017-2019 年+26.0pp)、刻蚀设备(32.2%,+14.6pp)、炉管设备(22.5%,+11.6pp)、涂胶显影设备(18.2%,+11.6pp)、离子注入机(7.4%,+6.7pp)、干法去胶机(49.2%,+6.3pp)、沉积设备(12.5%,+5.9pp)、光刻机(5.4%,+5.4pp,增量主要系上海微电子贡献)、前道检测设备(7.0%,+2.4pp)、后道测试设备(3.1%,+1.8pp)、清洗设备(31.7%,+1.4pp)。
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