2021年万业企业技术优势与离子注入机市场研究报告（17页）.pdf

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1、截至 2020 年末，北京凯世通共取得 4 个集成电路离子注入机设备订单。同时，上海凯世通超越 7 纳米离子注入平台已通过客户验证并取得验收。（1）凯世通集成电路离子注入机进入产线验证。2020 年 9 月，凯世通的集成电路离子注入机产品搬入 12 英寸主流集成电路晶圆厂客户，并进入产线验证阶段，预计首台设备有望在 2021 年二季度完成客户端的验证工作。（2）子公司北京凯世通与同芯成科技签署 3 个订单。2020 年 12 月，凯世通子公司北京凯世通半导体有限公司同芯成科技（绍兴）有限公司签署了 3 个 12 英寸集成电路设备订单，目前正在依据交付目标制订生产计划并积极推进，其中低能大束流重

2、金属离子注入机组装目前完成95%，其余两台设备为低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机，长交期零部件采购订单已发出，公司将按照客户订单约定时间交付。（3）上海凯世通超越 7 纳米离子注入平台已通过客户验证并取得验收。随着集成电路工艺技术的持续提升，晶体管不断缩小，集成电路制程进一步向尖端工艺发展，这对相关生产制造设备也提出了更高的要求。凯世通采取“领先一步”的策略、采用有国际竞争力的设计理念，产品不仅可覆盖含 28 纳米的主流成熟半导体工艺制程，同时着力研制超越 14 纳米制程的 FinFET 集成电路离子注入机，并针对研制低能大束流离子注入机所需要解决的关键技术和技术难点，建立起相应的研

3、发平台、相关核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。 2，太阳能离子注入机：凯世通市占率曾经全球第一目前全球只有 3 家公司从事太阳能离子注入机业务，且凯世通的市场占有率曾经全球第一。随着全球光伏产业的快速发展，光伏产业对能提升太阳能电池光电转换效率和提高生产效率的光伏设备需求越来越大，光伏行业对太阳能离子注入机的需求将不断提升。2020 年光伏离子注入机销售有所减少，主要因公司扎实推动快速向集成单路产业领域转型。光伏离子注入机是制备 N 型 TOPCON 电池的关键设备。凯世通光伏离子注入机已开发出四代系列产品。iPV-6000 第四代光伏离子注入设备 2019 年上市，除了具备 iPV-3000 的特性外，优化了真空系统效率和传送稳定性，提升了离子源引出束流密度，是目前市场上极高产能的光伏离子注入机设备。iPV-6000 沿用 IPV-3000的双源系统，并可兼容磷烷和固态磷作为掺杂源。能量 5-15KeV,均匀性<4cm2/ma，产能 6000WPH。

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