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【公司研究】晶瑞股份-功能性化学品大壁垒通用化学品高增长-20200714[22页].pdf

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【公司研究】晶瑞股份-功能性化学品大壁垒通用化学品高增长-20200714[22页].pdf

1、晶瑞股份(300655) 证券研究报告公司研究化学原料 1/22 东吴证券研究所东吴证券研究所 功能性化学品大壁垒,通用化学品高增长功能性化学品大壁垒,通用化学品高增长 买入(首次) 盈利预测盈利预测与与估值估值 2019A 2020E 2021E 2022E 营业收入(百万元) 756 1,466 2,004 2,384 同比(%) -6.8% 94.1% 36.6% 19.0% 归母净利润(百万元) 31 95 165 230 同比(%) -37.6% 204.7% 72.9% 39.5% 每股收益(元/股) 0.17 0.51 0.88 1.22 P/E(倍) 291.33 95.62

2、55.30 39.63 投投资要点资要点 内生外延并举,打造电子化学品平台。内生外延并举,打造电子化学品平台。公司主要生产超净高纯试剂、功 能性材料、光刻胶和锂电池粘结剂四大类微电子化学品,对应下游半导 体、光伏太阳能电池、LED、平板显示和锂电池等五大新兴行业。上市 后,公司通过技术引进、外延收购等方式逐步丰富公司产品线,先后发 展了电子级硫酸、电子级氨水、电子级 NMP 等产品。初步构建起一个 体系相对完善,有一定产业系统的湿电子化学品产业体系。 公司的光刻胶主要包括紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分线、公司的光刻胶主要包括紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分线、i 线正线正 胶等高端产品。胶等高端

3、产品。 公司的产品具有较高的市占率, LCD 触摸屏用光刻胶约 占国内 40%左右的市场份额,4-5 英寸分立器件用光刻胶的市占率已达 60%。并且,在提供光刻胶的同时,公司也提供对应的配套试剂业务。 其次,公司的部分光刻胶已经实现了原材料的国产化。最后,公司完成 了 248nm 深紫外光刻胶成膜树脂和配胶的中试技术研究。 公司的负极用锂电池粘接剂具有一定的行业影响力。公司的负极用锂电池粘接剂具有一定的行业影响力。 依托瑞翁的原料和 公司技术的技术储备,公司的锂电池粘接剂可以较好满足笔记本、手机 等消费电子产品的需求,也被用于锰酸锂和磷酸铁锂等动力锂电池。顺 应锂电池产业的快速发展,公司计划在

4、成眉石化园区进行产能扩张。不 仅如此,公司还对下一代锂电池粘接剂进行了技术储备。 体量较大、国内空白的半导体用通用湿电子化学品体量较大、国内空白的半导体用通用湿电子化学品是公司的业务重点。是公司的业务重点。 首先,通用湿电子化学品的核心是超净、高纯,不涉及批次一致性和功 能性材料特有的配方微调整等问题,难度相对较低。其次,通用湿电子 化学品用量较大,能够产生稳定的现金流。最后,公司在超纯通用电子 化学品领域有一定的积累,也和日韩一线企业有长期的业务合作。公司 目前拥有超净高纯试剂产能约 4 万吨/年, 主要包括酸类、 碱类和有机溶 剂类等产品。 公司的双氧水、 氨水已经达到10ppt级别水平

5、(相当于SEMI G5 等级) ,硝酸、氢氟酸、盐酸、异丙醇等产品也已经达到 0.1ppb 水平 (相当于 SEMI G4 等级) 。我们相对看好公司的高纯双氧水、氨水以及 硫酸业务的产业前景。 盈利预测与投资评级:盈利预测与投资评级:我们预计公司 2020-2022 年归母净利润分别为 0.95 亿元、1.65 亿元和 2.30 亿元,EPS 分别为 0.51 元、0.88 元和 1.22 元,当前股价对应 PE 为 96X、55X 和 40X。考虑到公司的高纯电子级 双氧水、氨水业务以及拟发展的高纯电子级硫酸业务市场容量较大,本 土尚无对手涉足其间。 同时, 公司的光刻胶业务也有一定的业务

6、延展性, 首次覆盖,给予“买入”评级。 风险提示:风险提示:原材料价格上涨。原材料价格上涨。高纯电子级硫酸质量不能满足需求。新建 产能投产不及预期。其他高纯电子材料业务的推进不及预期。 股价走势股价走势 市场数据市场数据 收盘价(元) 48.50 一年最低/最高价 15.99/59.94 市净率(倍) 9.52 流通 A 股市值(百 万元) 7020.07 基础数据基础数据 每股净资产(元) 5.30 资产负债率(%) 43.38 总股本(百万股) 188.11 流通 A 股(百万 股) 144.74 相关研究相关研究 2020 年年 07 月月 14 日日 证券分析师证券分析师 柴沁虎柴沁虎

7、 执业证号:S0600517110006 证券分析师证券分析师 陈元君陈元君 执业证号:S0600520020001 -46% 0% 46% 91% 137% 183% 228% 274% 320% -112020-03 晶瑞股份沪深300 2/22 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 内容目录内容目录 1. 公司简介公司简介 . 4 1.1. 股权结构相对稳定. 4 1.2. 功能化学品业务发展稳健,通用湿电子化学品是发展重点. 5 1.3. 公司的业务拐点隐现. 6 2. 半导体产业向中国转移是发展趋势半导体

8、产业向中国转移是发展趋势 . 6 2.1. 公司的 i 线光刻胶主要用于 LCD 产业 . 7 2.2. 半导体战略意义重大,但是市场空间相对有限. 8 3. 通用湿电子化学品是公司短期发展重点通用湿电子化学品是公司短期发展重点 . 10 3.1. 公司优先发展通用湿电子化学品. 10 3.1.1. G5 类产品是集成电路用化学品的基本要求 . 11 3.1.2. 湿电子化学品国产化正当其时. 11 3.2. 大体量品种是通用湿电子化学品的重点. 11 3.2.1. 公司选择优先发展通用湿电子化学品有一定的合理性. 12 3.2.2. 公司的双氧水业务已可满足先进制程的需求. 12 3.2.3

9、. 电子级硫酸的产品规格主要是 G5 等级 . 12 4. 公司的光刻胶业务主要为公司的光刻胶业务主要为 i 线产品线产品 . 13 4.1. 公司的光刻胶主要应用在平板显示和半导体分立器件领域. 13 4.1.1. LCD 光刻胶是份额最大的光刻胶品种. 14 4.1.2. 半导体光刻胶门槛最高,难度最大. 15 4.2. 公司在半导体光刻胶领域有一定的布局. 16 4.3. 功能性材料业务主要服务公司自己的光刻胶业务. 17 5. 锂电池协同性逐步显现锂电池协同性逐步显现 . 17 5.1. 锂电池用粘接剂主要为负极水性粘接剂. 17 5.2. 载元派尔森的业务主要为 NMP 以及电解液

10、. 18 6. 盈利预测与盈利预测与估值估值 . 18 6.1. 基本假设. 18 6.2. 盈利预测与估值. 19 7. 风险提示风险提示 . 19 oPsNnNrOpQmOvNrOmQtMmPbRdNbRmOmMmOnNlOqQoRjMoPoQaQrRzQNZrRnOuOsRqM 3/22 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 图表目录图表目录 图 1:公司产品种类介绍. 4 图 2:公司股权结构(截至 2020 年 5 月 25 日). 5 图 3:公司主要板块的营收构成(亿元). 6 图 4:公司主要板块的毛利率(%) . 6 图 5:2019 年大尺寸面板出货面积比例对比. 7

11、 图 6:全球大尺寸液晶面板分地区产能面积趋势. 7 图 7:全球 LCD 高世代产线在建产线一览. 7 图 8:国内各公司产线情况一览表. 9 图 10:2017 年全球光刻胶的需求格局. 14 图 11:2015 年国内的光刻胶的供给格局 . 14 图 12:中国的 LCD 光刻胶需求明细. 15 图 13:半导体光刻胶的曝光波长分类. 15 图 14:中国的晶圆光刻胶的市场规模(亿元). 16 图 15:全球 KrF 光刻胶的供给格局 . 16 表 1:湿电子化学品的分类. 10 表 1:超净高纯湿电子化学品的品控要求. 11 表 2:盈利预测拆分(单位:亿元). 19 表 3:可比公司

12、估值表(参考 2020 年 7 月 14 日收盘价). 19 4/22 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 1. 公司简介公司简介 晶瑞股份(300655)总部位于苏州。公司前身为苏州晶瑞化学有限公司,成立于 11 年 11 月,15 年 6 月变更为股份公司,17 年 5 月在深交所上市。 晶瑞有限成立以来,公司一直从事微电子化学品的产品研发、生产和销售。主要生 产超净高纯试剂、功能性材料、光刻胶和锂电池粘结剂四大类微电子化学品,对应下游 半导体、光伏太阳能电池、LED、平板显示和锂电池等五大新兴行业,具体应用到下游 电子信息产品的清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、浆料制备等工艺环节。

13、图图 1:公司产品种类介绍公司产品种类介绍 产品类别产品类别 类别类别 用途用途 超净高纯试剂 酸类、碱类、有机溶剂类(醇类、 酮类、脂类、烃类、卤代烃类、其 他类) 主要用于半导体、光伏太阳能 电池、LED和平板显示等电子 信息产品的清洗、蚀刻等工艺 环节 光刻胶 半导体、平板显示用光刻胶 广泛应用于光电信息产业的微 细图形线路的加工制作,是微 细加工技术的关键性材料 功能性材料 显影液、 剥离液、 蚀刻液、 稀释液、 清洗液 满足制造中特殊工艺需求的配 方类或复配类化学品 锂电池粘合剂 一种将锂电池电极活性物质粘 附在集流体上的高分子化合物 数据来源:招股书,东吴证券研究所 公司自成立以来

14、,一方面充分发挥公司在超净高纯试剂领域的先发优势,不断提高 高纯度级别微电子化学品的质量等级,目前公司的电子级双氧水、氨水已经满足 SEMI G5 的标准,可以满足国内微电子产业 14nm 制程的需求。 另一方面,公司也在不断通过技术引进、外延收购等方式逐步丰富公司产品线,先 后发展了电子级硫酸、电子级氨水、电子级 NMP 等产品。初步构建起一个体系相对完 善,有一定产业系统的湿电子化学品产业体系。 1.1. 股权结构相对稳定股权结构相对稳定 公司的控股股东为罗培楠女士,其通过新银国际持有公司 18.62%股权。 5/22 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 图图 2:公司股权结构(截

15、至:公司股权结构(截至 2020 年年 5 月月 25 日)日) 新银国际 晶瑞股份 李 虎 林 罗培楠 苏 州 瑞 红 苏 钢 徐 萍 许 宁 章 志 坚 徐 成 中 姚 晓 华 吴 天 舒 眉 山 晶 瑞 瑞 红 锂 电 湖 北 晶 瑞 江 苏 阳 恒 安 徽 晶 瑞 载 元 派 尔 森 18.62%6.23%4.67%4.43%4.08%4.01%2.25%2.13%1.90% 35%51%100%100%100%100%100% 100% 数据来源:Wind,东吴证券研究所 公司的股权结构相对稳定。李虎林、徐萍为原载元派尔森的实际控制人,苏钢、许 宁、徐成中均为原始股东,吴天舒为公司董

16、事长。章志坚的持股则是通过协议转让承接 许宁的股份。 1.2. 功能化学品业务发展稳健,通用湿电子化学品是发展重点功能化学品业务发展稳健,通用湿电子化学品是发展重点 公司目前在苏州吴中、四川眉山、湖北潜江、南通如皋、安徽和县、陕西渭南设有 生产基地。拥有苏州瑞红、瑞红锂电池、眉山晶瑞、湖北晶瑞、江苏阳恒、安徽晶瑞、 载元派尔森、善丰投资、阳阳物质等子公司。 其中,苏州瑞红成立于 93 年 10 月,由苏电公司、日本瑞翁和日本丸红合资设立, 公司 12 年 5 月取得苏州瑞红的控股权,17 年 12 月完成对苏州瑞红少数股东权益收购。 公司是国内最早规模化生产光刻胶的企业之一,公司的 I 线正胶

17、产品在国内有较高的市 占率。 眉山晶瑞成立于 17 年 9 月,计划在成眉石化园区投资 3.87 亿元,新建年产 8.7 万 吨光电显示、半导体用新材料项目。产品一次规划,分期实施。 湖北晶瑞成立于 19 年 11 月,公司持股比例 35%,潜江投资基金持股 65%。计划投 资 15.2 亿元,建设 18.5 万吨光刻胶及其相关配套的功能性材料、电子级双氧水、电子 级氨水等半导体及面板显示用电子材料。项目分两期实施,一期投资额约为 6.5 亿元人 民币。 江苏阳恒化工位于南通如皋,是公司于 18 年 2 月收购的子公司。江苏阳恒的业务 主要为工业级硫酸的生产销售,计划投资 3.52 亿元,实施

18、 9 万吨电子级硫酸项目。 安徽晶瑞微电子材料有限公司成立于 19 年 7 月,公司持股 51%,马鞍山基石智能 持股 34%,森松新能源持股 15%。计划在和县投资 2 亿元,建设年产 5.4 万吨微电子材 料及循环再利用项目,一期投资 1 亿元。 6/22 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 载元派尔森位于陕西渭南,公司 20 年 2 月通过发行股份及支付现金方式收购,主 要从事电子级 NMP 的生产,NMP 是锂电池、半导体湿电子化学品生产过程中重要的有 机溶剂。 整体而言, 公司的发展思路可以归纳为三点。 首先, 巩固住有技术优势的传统业务, 比如锂电池粘接剂,i 线光刻胶。其

19、次,重点发展体量较大、国内空白的半导体用通用 湿电子化学品。最后,根据国内的产业环境的变化和市场的变化,逐步布局一些市场亟 需的产品,比如高端电子光刻胶。 1.3. 公司的业务拐点隐现公司的业务拐点隐现 公司的主营业务收入主要来自超净高纯试剂、锂电池粘合剂,其次为光刻胶、功能 性材料等产品的销售收入。 近年来公司营业收入总体上升趋势,2018 年公司实现营收 8.10 亿元,同比增长 51.69%;实现归母净利润 0.50 亿元,同比增长 38.81%,业绩上升主要原因为公司原有 产品销售的增长以及公司新收购的江苏阳恒纳入合并报表范围, 同时收购苏州瑞红股权 也增厚了母公司业绩。 图图 3:公

20、司主要板块的营收构成(亿元):公司主要板块的营收构成(亿元) 图图 4:公司主要板块的毛利率(:公司主要板块的毛利率(%) 数据来源:Wind,东吴证券研究所 数据来源:Wind,东吴证券研究所 2. 半导体产业向中国转移是发展趋势半导体产业向中国转移是发展趋势 广义的半导体材料包括晶硅、PCB 以及面板用半导体材料,狭义的半导体材料主要 为集成电路用半导体材料。 公司现有的产品覆盖晶硅、LCD 面板以及半导体产业。不过如前所述,在公司的发 展体系中, LCD 面板用电子化学品是公司电子化学品的重要性组成股份, 半导体用电子 材料可能是公司的业务发展重点。 本章节重点介绍这两部分内容, 其他枝

21、节, 不予赘叙。 0.00 1.00 2.00 3.00 4.00 5.00 6.00 7.00 8.00 9.00 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 其他功能性材料光刻胶 超净高纯试剂锂电池粘结剂 0% 10% 20% 30% 40% 50% 60% 70% 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 锂电池粘结剂超净高纯试剂 光刻胶功能性材料 7/22 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 2.1. 公司的公司的 i 线光刻胶主要用于线光刻胶主要用于 LCD 产业产业 平板显示广泛应用于智能手机、数码设

22、备、个人电脑和电视等产品,其主流技术包 括液晶显示(LCD) 、有机电致发光显示(OLED) 、等离子显示(PDP)和真空荧光显示 (VFD)等。 LCD 凭借其量产技术成熟、 适用范围广和显示性能优良等特点, 已成为应用范围最 广的显示技术。 很长一段时间,全球 LCD 产业一直是“日韩台”三足鼎立。2011 年,京东方北京 8.5 代线和华星光电 8.5 代线陆续投产,标志着中国大陆 TFT-LCD 面板产业实现了高世代 线的技术突破。 2014 年开始, 随着大陆多条 8.5 代线以及 10.5 代线的投产, 中国大陆面板市占率快 速提升。 2019 年京东方已成功超越 LGD,成为全球

23、最大的 TFT-LCD 面板制造商,且我国面 板市占率还有望进一步提升。 图图 5:2019 年大尺寸面板出货面积比例对比年大尺寸面板出货面积比例对比 图图 6:全球大尺寸液晶面板分地区产能面积趋势全球大尺寸液晶面板分地区产能面积趋势 数据来源:中国产业信息,东吴证券研究所 数据来源:中国产业信息,东吴证券研究所 展望未来,全球 LCD 的产线扩张计划主要在国内,随着相关产线的投产,预计未 来高端面板供货权将进一步向国内厂商转移。 图图 7:全球全球 LCD 高世代产线在建产线一览高世代产线在建产线一览 41% 47% 54% 63% 75% 81%81% 35% 31% 26% 18% 6%

24、 19%19% 24% 22% 20%19%19% 20020E2021E2022E2023E 中国大陆韩国其他 19.8% 18.5% 12.7% 12.5% 11.4% 10.4% 4.6%3.3% 3.3%3.0%0.5% 京东方LGD群创三星 友达华星光电中电熊猫惠科 彩虹光电夏普其他 8/22 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 地区地区 厂商厂商 产线产线 世代世代 地点地点 设计产能(设计产能(K/月)月) 投产时间投产时间 扩产扩产 大陆 京东方 B9 10.5 合肥 120 2018Q2 2020 年计划建设 Phase4 产线, 再扩 15K

25、产能 B17 10.5 武汉 120 2020Q1 产能爬坡中,受疫情影响有所 延后 华星光电 T7 10.5 深圳 105 2020Q4 2020 年 Q4 计划投产,预计在 2021 年 1H 逐步释放产能 汇科 滁州 H2 8.6 滁州 150 2019Q3 一期达产 90K,原计划今年扩 至 120K, 但跟踪设备商未见其 订单,大概率维持 90K 产能 绵阳 H4 8.6 绵阳 150 2020Q3 原计划在年内爬坡至 70K,现 下修至 60K 台湾地区 AUO L8B 8 Taichung 105 2016Q1 计划在 2021 年建设 Phase4, 增 加 60K 产能 数据

26、来源:中国产业信息,东吴证券研究所 据智研咨询的统计, 公司子公司苏州瑞红的 LCD 触摸屏用光刻胶约占国内 30%40% 的市场份额,其他份额由台湾新应材及台湾凯阳占据。 2.2. 半导体半导体战略意义重大,但是市场空间相对有限战略意义重大,但是市场空间相对有限 半导体产业支撑着通信、计算机、信息家电与网络技术等电子信息产业的发展,具 有重要的战略价值。 我国已成为全球半导体最大的市场, 全球半导体协会 SIA 的统计数据表明, 2019 年 全球半导体市场规模 4121 亿美元。根据 CSIA 统计,2019 年我国集成电路产业规模达 到 7562.3 亿元。 但是我国半导体产业仍处于初级

27、发展阶段, 发展程度显著低于国际先进 水平。根据中国海关统计数据,2019 年中国集成电路进口金额 3040 亿美元,出口金额 1015 亿美元。 综合 SEMI 和中国半导体行业协会数据,可以发现,中国虽然已经是全球最大的半 导体市场,但中国半导体行业仍面临由大到强的压力。 中国自 2016 年便开始积极扩建晶圆厂,除英特尔、三星与 SK 海力士已经在中国 投资设立 12 寸晶圆厂外, 台积电、 中芯国际、 武汉新芯等也都在内地建设 12 寸晶圆厂。 SEMI 预计 2017-2020 年间投产的半导体晶圆厂为 62 座,其中 26 座设于中国,占全球 总数 42%。 9/22 东吴证券研究

28、所东吴证券研究所 公司深度研究 图图 8:国内各公司产线情况一览表国内各公司产线情况一览表 公司产线公司产线 地点地点 投资额投资额 规划产能(万片规划产能(万片/月)月) 制程制程/产品产品 状态状态 中芯国际 北京 5 0.8um-55um 运行中 中芯国际(多数控股) 北京 N/A 3.5 65-28um HKMG 运行中 中芯国际 S2A 上海 1 FinFET 研发用 中芯国际 SN1 上海 SN1 和 SN2 3.5 14-10umFinFET 布置产能 中芯国际 SN2 上海 合计 102 美元 3.5 28-14nmCMOS 设备已搬入 中芯国际 深圳 106 亿元 0.5 9

29、0-40nmCMOS 运行中 华虹宏力(华虹 Fab7) 无锡 100 亿美元 4 90-65/55nm 特色工艺 试生产 华虹微电子华虹 Fab5) 上海 219 亿元 3.5 55-40-28nmCMOS 运行中 华虹微电子华虹 Fab6) 上海 387 亿元 4 28-20-14nmCMOS 开工 紫光集团 南京 300 亿美元 10 Dram/NAND 建设中 紫光集团 成都 300 亿美元 10 Dram/NAND 建设中 武汉新芯 武汉 67 NOR Flash 扩产中 长江存储 武汉 240 亿美元 12 14-20nm 运行中 晋华集成 泉州 370 亿元 6 32-20nmD

30、RAM 建设中 合肥长鑫 合肥 72 亿美元 12.5 19nmDRAM 良率提升及量产准备中 晶合集成 合肥 128 亿元 6 66-65nmLCD 驱动 运行中 联芯集成 厦门 62 亿美元 5 40-28nmCMOS 运行中 台积电 南京 70 亿美元 12 16nmFinFET 运行中 三星(一期) 西安 100 亿美元 10 20-10nmNAND 运行中 三星(二期) 西安 70 亿美元 10 20-10nmNAND 在建 格芯 成都 2+6 0.18-0.13um 及 22nmFD-SOI 停工 海力士 无锡 10 90-40nmDRAM 运行中 海力士 无锡 45-25nmDR

31、AM 扩建中 AOS 重庆 10 亿美元 2+5 功率器件 试生产 粤芯 广州 70 亿元 3 0.18-0.13umCMOS 已投产 积塔半导体 上海 6 建设中 江苏时代 淮安 130 亿元 1 相变存储器 运行中 德淮半导体 淮安 25 亿美元 2 CIS 士兰徽 厦门 170 亿元 8 90-65nm 特色工艺 尚未开工 英特尔 大连 12 60-40nmNAND 扩建中 芯恩集成 青岛 150 亿元 N/A N/A 矽力杰 青岛 180 亿元 4 模拟 IC N/A 数据来源:亚化咨询,东吴证券研究所 中国的半导体材料产业起步较晚, 和西方国家的差距较大。 2018 年中美贸易摩擦逐

32、 10/22 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 渐升温,美国先后对我国中兴通讯、福建晋华、华为实施禁售,倒逼半导体材料的国产 化加速。 公司在半导体材料方面布局的高纯双氧水, 主要应用于电子行业清洗、 蚀刻封装等, 以及高纯氨水,主要应用于电子行业的清洗,以及其下游化合物的合成。而且,两种产 品的品质均达到了 SEMI 最高等级 G5 水准,可以满足半导体产业的需求。 3. 通用湿电子化学品通用湿电子化学品是是公司短期发展重点公司短期发展重点 我们观察,公司的电子材料发展思路可以归纳为三点。首先是,巩固住有技术优势 的传统业务,比如锂电池粘接剂,i 线光刻胶。其次,重点发展体量较大、

33、国内空白的半 导体用通用湿电子化学品。最后,根据国内的产业环境的变化和市场的变化,逐步布局 一些市场亟需的产品,比如高端电子光刻胶。 短期而言,通用湿电子化学品是公司的业务重点。首先,通用湿电子化学品产业的 核心是超净、高纯,不涉及批次一致性等问题,难度相对较低。其次,通用湿电子化学 品用量较大,能够产生稳定的现金流。最后,公司在超纯通用电子化学品领域有一定的 积累,也和日韩台湾等一线企业有长期的业务合作。 3.1. 公司公司优先发展优先发展通用湿电子化学通用湿电子化学品品 湿电子化学品是指主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的 化学试剂。广泛应用于半导体制造的清洗和蚀

34、刻环节。 湿电子化学品广泛应用在半导体、平板显示、太阳能电池等多个领域,其中在平板 显示领域的需求量最高,在半导体领域的技术要求最为苛刻。本报告讨论的主要是半导 体用电子化学品。 按用途,湿电子化学品可以分为通用化学品和功能性化学品两类,需求占比分别为 88%和 12%。 表表 1:湿电子化学品的分类湿电子化学品的分类 分类分类 简介简介 通用湿电子化学品 主要是指超净高纯溶剂,包括酸类、碱类、有机溶剂类和其他类 功能性湿电子化学品 主要指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的配方类 或复配类化学品,包括显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等 数据来源:CNKI,东吴证券研究所 11/2

35、2 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 3.1.1. G5 类产品是集成电路用化学品的基本要求类产品是集成电路用化学品的基本要求 湿电子化学品的质量的好坏直接影响到电子产品的成品率、电性能及可靠性,因此 电子工业对湿电子化学品的一般要求是超净和高纯。具体到不同的领域,从低端的太阳 能光伏到高端的平板显示和半导体行业,对湿电子化学品的等级要求越来越严苛。 1975 年,国际半导体设备和材料组织(SEMI)制定了国际统一的超净高纯试剂标 准。目前,国际上制备 G1 到 G4 级超净高纯试剂的技术都已经趋于成熟。随着集成电 路制作要求的提高,对工艺中所需的电子化学品纯度的要求也不断提高。 表表 2:超净高纯湿电子化学品的品控要求超净高纯湿电子化学品的品控要求 SEMI等级等级 G1 G2 G3 G4 G5 金属杂质(g/L) 100 10 1 0.1 0.01 控制粒径(m) 1.0 0.5 0.5 0.2 * 颗粒个数(个/mL) 25 25 5 * * 适应IC线宽范围(m) 1.2 0.8-1.2 0.2-0.6 0.09-0.2 0.09 主要应用下游 光伏太阳

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