1、 1/59 请务必阅读正文之后的免责条款部分 专 题 半导体行业半导体行业 报告日期：2020 年 3 月 24 日 半导体材料电子半导体材料电子气体气体投资宝典投资宝典 电子气体深度报告 行 业 公 司 研 究 半 导 体 行 业 ：孙芳芳 执业证书编号： S01 ： ： 行业行业评级评级 半导体 看好 Table_relateTable_relate 相关报告相关报告 1半导体设备/材料迎来国产代替窗口 期2020.03.12 2 【浙商电子行业点评】GaN（氮化镓） 市场的爆发前夜2020.02.16 3 智能医疗： 疫情过后的物联网新机会

2、2020.02.05 4半导体行业处于上升轨道，各环节国 产替代有序进行2018.02.06 5 一 周 行 业 要 闻 及 观 点 传 递 8.21-8.272017.08.28 报告撰写人： 孙芳芳 数据支持人： 蒋鹏、胡硕秋 报告导读报告导读 疫情放大供需矛盾+晶圆厂密集投产=电子特气国产代替速度超预期。 投资要点投资要点 疫情是催化剂，放大电子特气供需矛盾疫情是催化剂，放大电子特气供需矛盾 1、 国内供给端减少：国内供给端减少：疫情导致国外电子特气制造、物流、运输等等环节受限。 造成电子气体在供给端减少。 2、 国内需求端复苏：国内需求端复苏：国内疫情控制效果明显，各个晶圆厂已经进入全

3、面复工 复产期，需求端全面复苏。 3、 供需矛盾被放大：供需矛盾被放大：疫情是催化剂，放大国内电子特气供需矛盾。国内需求 增加，国外供给减少，电子特气迎来代替窗口期. 新工厂是新工厂是机会，电子特气迎来代替窗口机会，电子特气迎来代替窗口 1、 新建晶圆厂投产：新建晶圆厂投产：2020 年2022 年是中国大陆晶圆厂投产高峰期，以长江 存储，长鑫存储等新星晶圆厂和以中芯国际，华虹为代表的老牌晶圆厂正 处于产能扩张期，未来 3 年将迎来密集投产。 2、 特气代替窗口期：特气代替窗口期：根据电子特气的特性来推断，新建晶圆厂将是电子特气 国产代替的主要发展企业。国内新建晶圆厂的密集投产为电子特气打开了

4、 最佳代替窗口。 部分完成代替，将迎来三百亿市场空间部分完成代替，将迎来三百亿市场空间 1、 部分产品完成代替：部分产品完成代替： 国内少数电子气体已经完成突破， 业绩爆发即将到来。 国内电子特气代替主要有四种方式。第一，产能优势来降低成本进入国际 主流晶圆厂。第二，通过收购国际知名公司直接打入核心供应链。第三， 通过特定气体进入核心供应商。第四，业务扩展进入供应商名单。 2、 三三百亿空间已百亿空间已到来到来：根据国内晶圆厂的建设速度和规划，预计 2022 年国 内电子气体市场是 2019 年的两倍，电子气体市场迎来高速发展期。根据 2019 年的 20 亿美元的市场空间，预计 2022 年

5、，中国大陆电子气体市场空 间将会接近 300 亿元大关。 关注电子气体标的关注电子气体标的 部分实现国产替代代表厂商有华特气体（ASML 供应商） ，雅克科技（科美特） 、昊华 科技（黎明院、光明院） 、南大光电（飞源气体） ；以空分气体或者大化工进入半导体领 域，代表企业有巨化股份（中巨芯） 、三孚股份、金宏气体、凯美特气、和远气体等。 风险提示：风险提示：1）客户进展较慢；）客户进展较慢；2）价格下降；）价格下降；3）景气度下行）景气度下行 行业催化剂：行业催化剂： 1）晶圆厂建设超预期；）晶圆厂建设超预期；2）国产替代率超预期）国产替代率超预期 证 券 研 究 报 告 table 半导体

6、行业专题半导体行业专题 2/59 请务必阅读正文之后的免责条款部分 正文目录正文目录 1. 电子气体是半导体制造的电子气体是半导体制造的“血液血液” . 7 1.1. 集成电路是电子气体主要应用领域 . 7 1.2. 电子气体是电子制造的“血液” . 9 1.2.1. 刻蚀电子气体 . 11 1.2.2. 化学沉积气体 . 12 1.2.3. 离子注入气体 . 12 1.2.4. 外延沉积气体 . 13 1.2.5. 光刻镭射气体 . 13 1.2.6. 惰性保护气体 . 14 2. 半导体材料市场空间广泛半导体材料市场空间广泛 . 15 2.1. 中国半导体材料市场稳步增长 . 15 2.2

7、. 电子气体是半导体制造材料的第二大耗材 . 16 2.3. 政策引导，半导体材料将重点发展 . 17 2.4. 中国电子气体市场空间巨大 . 18 2.4.1. 中国大陆晶圆厂产能持续扩张 . 18 2.4.2. 产能扩张推动气体市场规模增长 . 20 3. 电子气体制备壁垒高电子气体制备壁垒高 . 21 3.1. 技术壁垒 . 21 3.1.1. 气体纯度壁垒 . 21 3.1.2. 气体精度壁垒 . 22 3.2. 黏性壁垒 . 22 3.3. 资质壁垒 . 22 4. 电子气体国产替代势在必行电子气体国产替代势在必行 . 23 4.1. 国内企业奋起直追 . 23 4.2. 欧美企业寡

8、头垄断 . 24 4.2.1. 美国空气化工产品 . 24 4.2.2. 林德集团 . 26 4.2.3. 法国液空集团 . 27 4.3. 日本电子特气. 28 4.3.1. 昭和电工 . 28 4.3.2. 太阳日酸 . 30 4.3.3. 关东电化工 . 32 4.3.4. 艾迪科 . 33 mNtMrRmQsPpRsQnMpQzQpM7NaO7NtRoOsQrRkPnNnOeRoMnQaQnNzRMYnRrRuOpOsR table 半导体行业专题半导体行业专题 3/59 请务必阅读正文之后的免责条款部分 4.4. 中国电子特气公司 . 35 4.4.1. 中航重工（718 所） .

9、37 4.4.2. 昊华科技 . 37 4.4.3. 华特气体 . 40 4.4.4. 雅克科技 . 44 4.4.5. 南大光电 . 47 4.4.6. 金宏气体 . 49 4.4.7. 巨化股份 . 52 4.4.8. 凯美特气 . 53 4.4.9. 三孚股份 . 54 4.4.10. 和远气体 . 56 A 股相关电子气体上市公司股相关电子气体上市公司 . 58 图表目录图表目录 图 1：2018 年中国特种气体下游细分领域占比 . 8 图 2：2017 年中国高纯电子气体下游细分领域占比 . 8 图 3：特种气体分类 . 8 图 4：各种电子气体在半导体制造种的作用 . 11 图 5

10、：刻蚀气体的在刻蚀中的作用 . 11 图 6：化学沉积气体的反应过程。 . 12 图 7：离子注入气体的反应过程。 . 12 图 8：外延气体的反应过程。 . 13 图 9：光刻气体反应过程 . 14 图 10：氮气作为清洗气体和保护气体 . 14 图 11：全球半导体材料销售额及增速（单位：十亿美元） . 15 图 12：各个国家和地区历年半导体材料销售额（单位：十亿美元） . 15 图 13：2018 年各个国家和地区的销售占比 . 15 图 14：半导体材料销售额和中国大陆占比(单位:十亿美元) . 15 图 15：2018 年半导体材料消耗占比 . 16 图 16：2018 年半导体制

11、造和封装材料占比 . 16 图 17：2018 年全球半导体前道各材料市场比重 . 16 图 18：全球半导体前道材料市场预测 . 16 图 19：20102024 年全球晶圆厂产能增加量（单位：百万片/年，等效 8 寸晶圆） . 18 图 20：2010-2020 中国半导体晶圆厂投资额（单位：亿美元） . 18 图 21：国家大基金一期投资比例 . 18 图 22：集成电路用电子特体市场规模 . 20 图 23：中国电子气体市场规模和增速 . 20 table 半导体行业专题半导体行业专题 4/59 请务必阅读正文之后的免责条款部分 图 34：气体合成流程 . 21 图 25：气体混配流程 . 21 图 26：中国大陆电子气体市场占比 . 23 图 27：公司营收持续增长 . 25 图 28：公司净利润情况 . 25 图 29：法国液空集团销售毛利率及净利率情况 . 26 图 30：公司营收持续增长 . 27 图 31：公司净利润情况 . 27 图 32：法国液空集团销售毛利率及净利率情况 . 28 图 33：公司营收持续增长 . 29 图 34：公司净利润情况 . 29 图 35：昭和电工销售毛利率及净利率情况 .