技术原理分类上，检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术 原图定位

于部分线下抽样测量部分关键区域。精度比光学检测技术更高，但速度相对较慢，适用于部分晶圆的部分区域的抽检应用。