HMI多电子束系统结构 原图定位 品全球领先,根据the information network,2022年ASLM电子束检测设备全球市占率达50%。2016年,ASML通过收购HMI(全球最大电子束检测供应商)进入电子束检测市场,此后相继推出HMI eP5(OCD)、HMI eScan 600(多类缺陷)等电子束检测设备。2020年,ASML推出全球首个多电子束晶圆缺陷检测设备HMI eScan 1000(9电子束),定位3nm研发应用,吞吐量相比单电子束提升600%。ASML目前垄断EUV光刻机市场,通过将其量检测设备与EUV系统配套,电子束检测设备竞争优势显著。