ALD技术发展历程 原图定位 4 其他新兴领域:积极探索,聚沙成塔 4.1 ALD在柔性电子、MEMS、催化及光学器件等高精尖领域有良好产业化前景 ALD最早被用于开发电致发光薄膜器件,目前用途广泛。1974 年,Tuomo Suntola发现 ALD 这种先进的薄膜沉积技术,并将它命名为原子层外延(ALE),通过这种方法制备了Al2O3层以及ZnS层并将其运用到平板显示器中。往后,ALD 技术不断推进,半导体行业的发展成为 ALD 技术突破的一大助力。目前已被广泛地应用到微电子、新能源、电子和光电材料,催化等各个领域中。