2020年量检测设备细分市场份额 原图定位 全球半导体量检测设备 2022 年市场规模预计为 92.1 亿美元,2016 至 2022 年 CAGR 达11.6%,2022 年同比增长 9.1%。随着集成电路工艺节点不断提升,晶圆投产量的提高和高精度工序将增加量检测设备的市场需求。VLSI 预测 2022 年全球半导体量检测市场规模同比增加 9.1%,高于 SEMI 预计全球半导体设备市场规模 2022 年同比增速的 5.9%,达 92.1亿美元。2020 年全球量检测市场中,检测设备市场规模占 62.6%,量测设备占 33.5%,细分市场中纳米图形晶圆缺陷检测设备规模最大。据 VLSI、QY Research,2020 年,检测设备可细分为纳米图形晶圆缺陷检测设备(25%)、掩膜版缺陷检测设备(11%)和无图形晶圆缺陷检测设备(10%)等,量测设备可细分为关键尺寸量测设备(10%)、电子束关键尺寸量测设备(8%)和套刻精度量测设备(7%)等。