图表68公司单片化学清洗机和单片物理清洗机情况 原图定位 公司优化已有产品并积极布局前道单片化学清洗设备,逐步扩大清洗设备市场覆盖率。根据公司在研项目情况,公司未来还将继续优化设备单元和整机设计,提升产品的技术等级和应用范围,以缩小和国外厂商产品在可靠性和稳定性等方面的差距。除此之外,公司还通过定增募集资金以布局前道单片式化学清洗机,相比于物理清洗机,化学清洗机能适用多种清洗液类型,覆盖的工艺环节更为广泛,可应用于更高工艺等级的前道晶圆制造领域,对未来公司单片清洗机的市场覆盖率和成长空间均有积极作用。