半导体设备零组件位于产业链最上游年产值上百亿美金 原图定位 (1)半导体设备结构复杂,零部件种类繁多位于产业链最上游 半导体设备是延续行业“摩尔定律”的瓶颈和关键。半导体设备精密零部件具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力和耐击穿电压等特性,生产工艺设计精密机械加工、材料、表面处理和工程设计等多个领域和学科,是半导体设备的核心技术保障。