磁记录用靶材可分为记录介质、磁头及MRAM用 原图定位 而磁头则采用合金类靶材,例如 Mn、Ni 系合金靶。随着存储技术发展,新一代非易失性半导体存储器 MRAM 具备较大产业化前景,该存储也是一种磁性存储器,其制备过程也会用到合金类的溅射靶材。