长江存储中标信息统计（截止至2021.06）-Lam中标机台类别 原图定位

以 Lam Research 为例，在长江存储的 Nand Flash 产线上，仅仅刻蚀机一个品类，供应的设备量多达 40 种不同工艺环节，其中多数工艺环节设备具有独占性，尤其是刻蚀高深宽比的深孔、深沟等环节工艺。排除没有做分类的中标机台，长江存储已经公告中标机台涉及的刻蚀工艺类别多达 80~90 种。