目前市场主流的清洗设备 原图定位 目前,市场上最主要的清洗设备有单晶圆清洗设备、自动清洗台和洗刷机三种。因为 Screen占清洗市场份额 60%,我们以其数据估算三种清洗设备的市场份额。其中单晶圆清洗设备大概占据 65%左右的市场份额,自动清洗台和洗刷机的市场份额分别为 25%和 5%。总体而言,单晶圆清洗设备的优势在于清洗精度高,背面、斜面及边缘都能得到有效的清洗,同时避免了晶圆片之间的交叉污染。在未来工艺节点不断减小的情况下,单晶圆清洗设备将会是半导体清洗设备的主流。