TCS流化床法工艺流程示意图 原图定位

TCS流化床技术直接使用 TCS还原，但还原工艺难度增加。相较于硅烷流化床法，TCS流化床法直接以 TCS为原料，省去了将 TCS歧化为硅烷的工艺流程，前段制气工艺得到简化，但后端还原工艺的难度有所增加，同时能耗和尾气处理的难度也相应增加。因此目前以美国MEMC、挪威 REC、协鑫科技、陕西天宏瑞科为代表的成功实现颗粒硅量产的企业使用的都是硅烷流化床技术。