MEMS行业发展历程 原图定位 MEMS 产品主要包括 MEMS 传感器和 MEMS 执行器。MEMS 传感器用于探测和检测物理、化学、生物等现象,按照产品特点可分为惯性、压力、声学、环境、光学传感器;MEMS 执行器用于实现机械运动、力和扭矩等行为,按照产品特点可分为光学 MEMS、微流控、射频 MEMS、微结构、微型扬声器、超声指纹识别等。