图表20MEMS陀螺仪和激光、光纤陀螺仪对比 原图定位 目前,市场上大量使用的陀螺仪包括激光陀螺仪、光纤陀螺仪和MEMS陀螺仪,三者技术发展相对成熟,应用领域相对广泛。激光陀螺仪利用光程差的原理测量角速度,两束光波沿着同一个圆周路径反向而行,当光源与圆周均发生旋转时,两束光的行进路程不同,产生了相位差,通过测量该相位差可以测出激光陀螺的角速度,光纤陀螺仪基本原理与激光陀螺仪相同,但由于光纤可以进行绕制,因此光纤陀螺仪中的光回路比激光陀螺仪更长,检测灵敏度和分辨率也更高。而 MEMS陀螺仪的核心是一颗 MEMS芯片、ASIC芯片以及应力隔离封装,其工作原理为采用半导体加工技术在硅晶圆上制造出的MEMS芯片,在 ASIC芯片的驱动控制下感应外部待测信号并将其转化为电容、电阻、电荷等信号变化,ASIC芯片再将上述信号变化转化成电学信号,最终通过封装将芯片保护起来并将信号输出。