全球各地区半导体材料收入(亿美元) 原图定位 电子特气的应用贯穿于半导体工业的各个工艺流程。电子特气是集成电路制造的第二大制造材料,仅次于硅片,占晶圆制造成本的 13%左右。电子特气在半导体制程中广泛应用于刻蚀、清洗、成膜、光刻、掺杂等工艺段,其中沉积气体、刻蚀和清洗气体是半导体制造中用量最大的几类气体,以硅类和卤化物为主,掺杂工艺以硼、磷、砷等 III、V 族气体为主,而光刻气则以氖、氩、氪、氙等稀有气体为主。