传感器与执行器系统示意 原图定位 MEMS 具有小尺寸、低功耗、高集成度和多功能的特点。其通过微纳加工技术,将机械结构和电子元件集成在微米至纳米尺度的芯片上。它结合了微电子技术、微纳加工技术和机械工程原理。