大面积钙钛矿薄膜制备技术 原图定位 干法均匀性高,设备为主要瓶颈。常见的干法工艺为气相沉积法,在真空的环境下通过蒸镀的方式制备钙钛矿薄膜。相比于湿法工艺,气相沉积法可以通过控制蒸发源精确调控钙钛矿中各组分的化学计量比,从而保证薄膜的均匀性。但是干法工艺对真空环境要求极高,需要较长的抽真空时间,这也使得干法工艺成本上升,单台产能下降(制备时间长)。