图64.半导体集成电路用溅射靶材市场规模 原图定位 3.3.3.溅射靶材:封装测试用需求大,海外厂商主导 溅射靶材是半导体、显示面板、光伏领域等行业的关键核心材料。先进封装工艺流程中,靶材主要用于 Bumping工艺中凸点下金属层(UBM)及 TSV工艺中电镀种子层的溅射。根据中商情报网数据,2022年国内溅射靶材市场规模达到 395亿元,2018-2022近五年年均复合增长率为 12.91%。半导体集成电路用溅射靶材品种繁多,需求量较大。根据 SEMI 统计,溅射靶材在全球半导体制造材料和封装测试材料市场的占比均接近 3%。根据前瞻产业研究院的统计,2013-2020 年中国半导体集成电路用溅射靶材市场规模从 9.34 亿元增长至 17 亿元,年复合增长率为 8.9%,预计 2026 年将达到 33 亿元。其中,2022 年晶圆制造用溅射靶材市场规模为 5.6亿元,封装测试用靶材市场规模为 11.4亿元,占比 67.06%。