中微公司VOC设备产能规划 原图定位 以全资子公司中微惠创生产平板显示用 VOC 处理设备,拓展广阔环保设备领域。VOC 即有机挥发性气体(Volatile Organic Compound),VOC 废气处理方法有十余种,涵盖热破坏法、吸附法和氧化处理等方法,中微公司 VOC 设备采用的是分子筛吸附原理的化学反应器吸附废气。中微公司 VOC 设备近五年销售收入增幅较大,由 2016 年的210.26 万元增长至 2020 年的 1422.84 万元,CAGR 为 61.29%。展望未来,受益泛半导体设备国产化趋势持续及公司下游客户协同优势,公司的 VOC 设备规划产能扩增下出货有望持续提升,为业绩带来新增量。