真空泵分类 原图定位 • 真空是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态,是一种物理现象。• 真空环境在半导体制造过程中的重要性:在常温和常压下环境中包含着大量不纯净的物质,如果进行芯片制造,芯片容易受到氧化和 污染,严重影响芯片品质和生产效率。因此,制造半导体芯片必须在真空环境下进行,这样可以避免氧化和污染,保证芯片品质和性能。• 真空泵:指利用机械、物理或化学方法在某一封闭空间中产生真空环境的装置。按照真空度和气压范围划分,可分为低真空、中真空、 高真空及超高真空四类,按照真空原理划分,可分为气体传输泵和气体捕集泵两类,其中气体传输泵占市场规模65%左右。