MEMS压力传感器供应商
MEMS压力传感器的用途是检测压力,是一种薄膜元件,受到压力时变形。可以利用应变仪(压阻型感测)来测量这种形变,也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。当前国内外MEMS气压传感器主要有GE
Sensing、欧姆龙、飞思卡尔、菲尔斯特、香港HKST、北京青鸟元芯、深圳华美澳通等
(1)GE
Sensing:目前有数十种MEMS气压传感器。GE在2001年进军传感与测量领域后,陆续并购了多个业界知名的品牌——Druck、NovaSensor、Panametrics、Kaye、General
Eastern、Thermometrics、Ruska。博世(Bosch)MEMS压力传感器已经用于汽车侧面气囊等应用中
(2)欧姆龙:MEMS绝对压力传感器25MPB-02、2SMPB-02系列,能在37cm高低差范围内准确检测气压变化,实现高精度感知,有助于实现室内导航;部分型号还内含温度传感器。尺寸仅为2.5mm*2.0mm*0.85mm,低功耗,适合智能手机、平板电脑、活动检测器等。
(3)飞思卡尔:计划向消费和工业市场推出大量新的MEMS压力传感器产品。Analog Devices iSensor®
MEMS惯性测量单元(IMU)传感器以多轴方式组合精密陀螺仪、加速度计、磁力计和压力传感器。
(4)菲尔斯特(Firstrate):采用MEMS技术在单晶硅上刻融惠斯登电桥组成的硅应变计,MEMS压力传感器针对基础工业、家电、汽车电子等。
(5)香港HKST:MEMS压力传感器,采用邦定™技术可实现材料、尺寸等定制化。2014年公司被TE connectivity收购。
(6)TDK-EPC:为智能手机研发了MEMS压力传感器(2.78mmx2.23mmx0.67mm)。目前也在研发针对LPG(液化石油气)及汽车电子的压力传感器。
(7)Silicon Microstructures:发布针对呼吸道压力检测的SM9541型MEMS压力传感器。
(8)Sensimed: Triggerfish型可植入MEMS眼压传感器。
(9)苏州敏芯微电子:依托自身MEMS麦克风成熟的MEMS产业链,完成了从10kPA到5MPA的压力芯片布局。高度计(气压计)芯片\数字胎压计芯片\血压计传感器\汽车MAP成品等均已经大批稳定供货,产品广泛地应用于消费电子、医疗、汽车、工业控制等众多领域。
(10)深圳华美澳通:采用美国ALLSENSORS公司专利技术,专业从事MEMS压力传感器及应用模组的研发
(11)北京青鸟元芯:YX-HP203B高度精度数字气压传感器,内置MEMS压力传感器。尺寸3.6×3.8×1.2mm。
(12)中科院上海微系统所:超低温漂MEMS压力传感器,采用MEMS技术将压力敏感结构悬浮。实现了超低成本下可满足批量直接应用,适合低成本的消费类电子产品。
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