高温高压法与化学气相沉积法技术原理及特点对比 原图定位 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制造高品质金刚石、培育钻石的首选方法。常用的 CVD 法合成单晶金刚石,主要包括微波等离子体 CVD 法(MPCVD)、热丝CVD 法、火焰燃烧 CVD 法和直流弧光等离子 CVD 法等。其中微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)单晶金刚石生长技术一般采用金属作腔体,由于其微波能量无污染、气体原料纯净、没有催化剂和杂质的掺入等优势,使得金刚石的质量大为改善,成为制备大尺寸、高品质单晶金刚石、培育钻石的首选方法。