钙钛矿电池制备涂布湿法和蒸镀干法共存 原图定位 钙钛矿电池由于其结构并未完全确定,对应设备与工艺尚未定型,但其核心设备离不开激光设备、真空镀膜设备和涂布机,钙钛矿电池的产业化将给设备投资带来新的增量。1)激光工艺贯穿整个环节,精度提升促使设备升级。目前国内各激光设备厂商已前瞻布局,包括大族激光、德龙激光、杰普特、迈为股份、帝尔激光等;2)钙钛矿层以涂布湿法为主流,其次是CVD法,新增涂布机需求。目前协鑫光电、纤纳光电和极电光能等均以狭缝涂布法为主,其中主要供应商为上海沪德,其次是日本东丽;而CVD法代表企业为众能光电,CVD设备市场被应用材料、泛林半导体、东京电子等国外厂商占领。3)真空镀膜多层通用,设备投资占比提升。PVD设备供应商较多,包括京山轻机、迈为股份、捷佳伟创、奥来德、众能光电等;CVD设备国内厂商以捷佳伟创为主。4)对标OLEDs封装,薄膜封装或成为主流。工艺流程概况:导电透明玻璃制备→激光P1刻蚀→制备第一传输层薄膜(电子/空穴传输层)→退火/干燥→制备钙钛矿层薄膜→退火烘干→制备第二传输层薄膜(空穴/电子传输层)→退火/干燥→激光P2刻蚀→底电极(背电极)制备→激光P3刻蚀→激光清边→测试分拣和封装。