根据2021年国内半导体设备上市公司业务营收情况，当前我国半导体设备上市公司排名依次是：北方华创、中微公司、盛美上海、长川科技、新益昌、华峰测控、芯源微、华海清科、拓荆科技和至纯科技。

1.北方华创

北方华创科技集团股份有限公司(以下简称“北方华创”)是由北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称“北方微电子”)战略重组而成，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。2021年半导体设备营收71.2亿元，同比增长71%，稳居中国大陆榜首。

2.中微公司

中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称“中微公司”，证券代码“688012”)是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。专注于半导体刻蚀设备和沉积设备，2021年营收31.1亿元，同比增长37%。

3.盛美上海

盛美半导体设备(上海)股份有限公司成立于2005年，是一家注册在上海浦东新区张江高科技园区、具备世界领先技术的半导体设备制造商。公司集研发、设计、制造、销售于一体，主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。2021年半导体装备业务营收15.5亿元，同比增长59%。

4.长川科技

杭州长川科技股份有限公司成立于2008年4月，是一家致力于提升我国集成电路专用装备技术水平、积极推动集成电路装备业升级的高新技术企业。主营产品包括测试机、分选机、探针台、AOI设备和自动化设备，行业深耕多年，技术水平领先，备受行业认可。公司已于2017年4月17日，在深交所创业板挂牌上市(股票代码300604)，2021年营收15.1亿元，同比增长88%。

5.新益昌

深圳新益昌科技股份有限公司，创于2006年，总部位于深圳福永，从事自动化设备制造行业，是一家集LED设备、半导体设备、电容器设备及锂电池设备的研发、生产、销售和服务为一体的国家级高新技术企业。主营业务为封装用固晶机、电容老化测试设备等，其在中国大陆LED固晶机领域有领先地位，2021年其固晶机业务营收9.1亿元，同比增长71%。

6.华峰测控

北京华峰测控技术股份有限公司(简称华峰测控)，作为国内最早进入半导体测试设备行业的企业之一，公司在行业内深耕二十余年，聚焦于模拟和混合信号测试设备领域。 国内最早进入半导体测试设备行业的本土设备商之一，2021年设备业务营收8.8亿元，同比增长121%。

7.芯源微

沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。主营半导体晶圆制造中的湿制程设备，包括涂胶显影、刻蚀、清洗设备等，2021年营收8.3亿元，同比增长152%。

8.华海清科

华海清科股份有限公司是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商。公司主要从事化学机械抛光(CMP)、研磨等设备和配套耗材的研发、生产、销售，以及晶圆再生代工服务，适用于晶圆制造及先进封装的关键制程，2021年营收8.0亿元，同比增长109%。

9.拓荆科技

拓荆科技股份有限公司成立于2010年4月，是国家高新技术企业，主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。公司多次承担国家重大专项。多次获评中国半导体行业协会授予的“中国半导体设备五强企业”称号。2021年营收7.6亿元，同比增长74%。

10.至纯科技

上海至纯洁净系统科技股份有限公司，成立于2000年，是一家在上交所上市的高新技术企业，证券代码603690.SH。主营业务包括高纯工艺集成系统、半导体湿制程设备、光传感及光器件等，2021年半导体设备业务营收7.0亿元，同比增长222%。

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